Halfgeleiervervaardiging vereis uiterste presisie, en die kamer – die hart van kritieke toerusting soos CVD-reaktors en etsmasjiene – speel 'n sentrale rol. Hierdie gids ondersoek die noodsaaklikhede van kamerontwerp en hoe hoë-suiwerheid aluminiumlegerings belangrike uitdagings in die bedryf oplos.

5 Kritieke Faktore wat Kamerprestasie Bevorder (En Hoe Aluminium Uitblink)

1. Ultrahoë vakuum (UHV) verenigbaarheid en lekvoorkoming

Probleem: Mikroskopiese lekkasies verwoes prosesintegriteit.

Aluminium Voordeel:Naatlose CNC-bewerkte liggamevan aluminiumstapels elimineer sweispunte. Ons 6061-T6-legering bereik heliumlekspoed van < 10⁻⁹ mbar·L/sek.

2. Termiese Bestuur: Stabiliteit Onder Ekstreme Siklusse

Probleem: Termiese kromtrekking veroorsaak deeltjiekontaminasie.

Oplossing: Aluminium se superieure termiese geleidingsvermoë (≈150 W/m·K) oortref vlekvrye staal. Ons pasgemaakte aluminiumplate integreer verkoelingskanale vir ±0.5°C eenvormigheid.

3. Plasmakorrosiebestandheid in strawwe omgewings

Datapunt: Geanodiseerde aluminium (25μm+ dikte) weerstaan ​​10x langer CF₄/O₂ plasmablootstelling teenoor onbehandelde oppervlaktes.

4. Magnetiese deurlaatbaarheid: RF/Plasma-prosesintegriteit

Waarom aluminium? Magnetiese deurlaatbaarheid van byna nul voorkom veldvervorming in etsers/implanteerders.

5. Koste teenoor prestasie-optimalisering

Gevallestudie: Vervanging van bewerkte vlekvrye staalkamers met aluminiumverminder materiaalkoste met 40% en bewerkingstyd met 35% (gebaseer op 2024-bedryfsmaatstawwe).

Ons Aluminium Oplossings vir Presisiekamers

Kamerliggame en deksels

Materiaal: 5083/6061 Aluminiumplate (tot 150 mm dik)

Proses: Vakuumversoenbare CNC-bewerking met Ra ≤ 0.8μm oppervlakafwerking

Belangrike spesifikasies: AMS 2772 hittebehandeling, 100% ultrasoniese toetsing

Gasverspreidingskomponente

Produkte: Presisie-aluminiumbuise (OD 3mm-200mm) met interne mikroborings

Tegnologie: Diepgatboorwerk (L/D-verhouding 30:1), elektropolering

Strukturele Ondersteunings en Bevestigingsmiddels

Materiaal: 7075-T651 Aluminiumstawe (hoë sterkte-tot-gewig-verhouding)

Nakoming: SEMI F72 standaarde vir uitgassingsbeheer

Waarom met ons saamwerk vir u halfgeleierkamerprojek?

1. Toegewyde Skoonkamerbewerking: Klas 1000-fasiliteit voorkom partikelkontaminasie.

2. Materiaalnaspeurbaarheid: Meultoetsverslae virelke aluminiumplaat/staaf/buis.

3. Plasma-geoptimaliseerde afwerking: Gepatenteerde passivering vir korrosiebestandheid.

4. Vinnige prototipering: 15-dae levertyd vir komplekse kamergeometrieë.