Framleiðsla hálfleiðara krefst mikillar nákvæmni og hólfið – hjarta mikilvægs búnaðar eins og CVD hvarfefna og etsvéla – gegnir lykilhlutverki. Þessi handbók fjallar um grunnatriði hönnunar hólfa og hvernig hágæða ál málmblöndur leysa helstu áskoranir í greininni.

5 mikilvægir þættir sem knýja frammistöðu hólfsins (og hvernig ál skara fram úr)

1. Samhæfni við ofurháa lofttæmingu (UHV) og lekavörn

Vandamál: Smásjár lekar spilla heilindum ferlisins.

Kostur áls:Óaðfinnanlegir CNC-fræsaðir líkamarúr álstöngum útrýma suðupunktum. 6061-T6 málmblandan okkar nær helíumleka < 10⁻⁹ mbar·L/sek.

2. Hitastjórnun: Stöðugleiki við mikla sveiflu

Vandamál: Varmabreyting veldur mengun agna.

Lausn: Ál hefur betri varmaleiðni (≈150 W/m·K) en ryðfrítt stál. Sérsmíðaðar álplötur okkar samþætta kælirásir fyrir ±0,5°C einsleitni.

3. Tæringarþol gegn plasma í erfiðu umhverfi

Gagnapunktur: Anodíserað ál (25μm+ þykkt) þolir 10 sinnum lengri CF₄/O₂ plasmaútsetningu samanborið við ómeðhöndlaða fleti.

4. Segulgegndræpi: Heilindi RF/Plasma ferlisins

Af hverju ál? Nær núll segulgegndræpi kemur í veg fyrir röskun á segulsviði í ets-/ígræðslutækjum.

5. Kostnaður vs. afkastahagræðing

Dæmisaga: Skipta um vélrænt ryðfrítt stálhólf með álilækkar efniskostnað um 40% og vinnslutíma um 35% (byggt á viðmiðum í greininni árið 2024).

Állausnir okkar fyrir nákvæmnisklefa

Hólkar og lok

Efni: 5083/6061 álplötur (allt að 150 mm þykkar)

Ferli: Tómarúmssamhæfð CNC vinnsla með Ra ≤ 0,8μm yfirborðsáferð

Helstu upplýsingar: AMS 2772 hitameðferð, 100% ómskoðun

Gasdreifingaríhlutir

Vörur: Nákvæmar álrör (3mm-200mm ytra þvermál) með innri örgötum

Tækni: Djúpholtuborun (L/D hlutfall 30:1), rafpólun

Burðarvirki og festingar

Efni: 7075-T651 álstangir (hátt styrk-til-þyngdarhlutfall)

Samræmi: SEMI F72 staðlar fyrir útblástursstýringu

Hvers vegna að vinna með okkur fyrir verkefnið þitt í hálfleiðaraklefa?

1. Sérstök hreinrýmisvinnsla: Aðstaða í 1000. flokki kemur í veg fyrir agnamengun.

2. Rekjanleiki efnis: Prófunarskýrslur fyrir mylluhver álplata/stöng/rör.

3. Plasma-bjartsýni frágangur: Sérsniðin óvirkjun fyrir tæringarþol.

4. Hraðfrumgerð: 15 daga afhendingartími fyrir flóknar rúmfræði hólfa.