Pusvadītāju ražošanā ir nepieciešama ārkārtēja precizitāte, un kamerai — tādu kritiski svarīgu iekārtu kā CVD reaktoru un kodināšanas iekārtu sirdij — ir izšķiroša nozīme. Šajā rokasgrāmatā ir aplūkoti kameras konstrukcijas pamatprincipi un tas, kā augstas tīrības pakāpes alumīnija sakausējumi risina galvenās nozares problēmas.

5 kritiski faktori, kas ietekmē kameras veiktspēju (un kā alumīnijs izceļas)

1. Īpaši augsta vakuuma (UHV) saderība un noplūžu novēršana

Problēma: Mikroskopiskas noplūdes sabojā procesa integritāti.

Alumīnija priekšrocība:Bezšuvju CNC apstrādāti korpusiNo alumīnija sagatavēm tiek novērstas metināšanas vietas. Mūsu 6061-T6 sakausējums sasniedz hēlija noplūdes ātrumu < 10⁻⁹ mbar·L/sek.

2. Termiskā vadība: stabilitāte ekstremālos riteņbraukšanas apstākļos

Problēma: Termiskā deformācija izraisa daļiņu piesārņojumu.

Risinājums: Alumīnija izcilā siltumvadītspēja (≈150 W/m·K) pārspēj nerūsējošo tēraudu. Mūsu pēc pasūtījuma izgatavotajās alumīnija plāksnēs ir iebūvēti dzesēšanas kanāli, kas nodrošina ±0,5 °C vienmērīgumu.

3. Izturība pret plazmas koroziju skarbos apstākļos

Datu punkts: Anodēts alumīnijs (25 μm+ biezums) iztur 10 reizes ilgāku CF₄/O₂ plazmas iedarbību salīdzinājumā ar neapstrādātām virsmām.

4. Magnētiskā caurlaidība: RF/plazmas procesa integritāte

Kāpēc alumīnijs? Gandrīz nulles magnētiskā caurlaidība novērš lauka kropļojumus kodinātājos/implantētos.

5. Izmaksu un veiktspējas optimizācija

Gadījuma izpēte: Apstrādāta nerūsējošā tērauda aizstāšanakameras ar alumīnijusamazina materiālu izmaksas par 40 % un apstrādes laiku par 35 % (pamatojoties uz 2024. gada nozares etaloniem).

Mūsu alumīnija risinājumi precīzijas kamerām

Kameru korpusi un vāki

Materiāls: 5083/6061 alumīnija plāksnes (līdz 150 mm biezumā)

Process: Vakuuma saderīga CNC apstrāde ar Ra ≤ 0,8 μm virsmas apdari

Galvenās specifikācijas: AMS 2772 termiskā apstrāde, 100% ultraskaņas pārbaude

Gāzes sadales komponenti

Produkti: Precīzas alumīnija caurules (ārējais diametrs 3–200 mm) ar iekšējiem mikrocaurumiem

Tehnoloģija: Dziļo caurumu urbšana (garuma/dziļuma attiecība 30:1), elektropulēšana

Konstrukcijas balsti un stiprinājumi

Materiāls: 7075-T651 alumīnija stieņi (augsta izturības un svara attiecība)

Atbilstība: SEMI F72 standarti gāzu izdalīšanās kontrolei

Kāpēc sadarboties ar mums jūsu pusvadītāju kameras projektā?

1. Specializēta tīrtelpas apstrāde: 1000. klases iekārta novērš daļiņu piesārņojumu.

2. Materiālu izsekojamība: Dzirnavu testēšanas pārskati parkatra alumīnija plāksne/stienis/caurule.

3. Plazmai optimizēta apdare: patentēta pasivācija korozijas izturībai.

4. Ātra prototipēšana: 15 dienu izpildes laiks sarežģītām kameru ģeometrijām.