Pembuatan semikonduktor memerlukan ketepatan yang melampau, dan ruang—nadi peralatan kritikal seperti reaktor CVD dan mesin etsa—memainkan peranan penting. Panduan ini meneroka keperluan reka bentuk ruang dan cara aloi aluminium ketulenan tinggi menyelesaikan cabaran industri utama.

5 Faktor Kritikal Memacu Prestasi Dewan (Dan Bagaimana Aluminium Cemerlang)

1. Keserasian Ultra-High Vacuum (UHV) & Pencegahan Kebocoran

Masalah: Kebocoran mikroskopik merosakkan integriti proses.

Kelebihan aluminium:Badan mesin CNC lancardari bilet aluminium menghilangkan titik kimpalan. Aloi 6061-T6 kami mencapai < 10⁻⁹ kadar kebocoran helium mbar·L/saat.

2. Pengurusan Terma: Kestabilan Di Bawah Berbasikal Melampau

Masalah: Ledingan terma menyebabkan pencemaran zarah.

Penyelesaian: Kekonduksian terma unggul aluminium (≈150 W/m·K) mengatasi prestasi keluli tahan karat. Plat aluminium rekaan tersuai kami menyepadukan saluran penyejukan untuk keseragaman ±0.5°C.

3. Rintangan Kakisan Plasma dalam Persekitaran Yang Keras

Titik Data: Aluminium beranod (25μm+ ketebalan) tahan 10x lebih lama pendedahan plasma CF₄/O₂ berbanding permukaan yang tidak dirawat.

4. Kebolehtelapan Magnetik: Keutuhan Proses RF/Plasma

Kenapa Aluminium? Kebolehtelapan magnet hampir sifar menghalang herotan medan dalam etsa/implan.

5. Kos lwn. Pengoptimuman Prestasi

Kajian Kes: Menggantikan tahan karat yang dimesinruang dengan aluminiummengurangkan kos bahan sebanyak 40% dan masa pemesinan sebanyak 35% (berdasarkan penanda aras industri 2024).

Penyelesaian Aluminium Kami untuk Bilik Ketepatan

Badan & Tudung Bilik

Bahan: 5083/6061 Plat Aluminium (sehingga 150mm tebal)

Proses: Pemesinan CNC serasi vakum dengan kemasan permukaan Ra ≤ 0.8μm

Spesifikasi Utama: Rawatan haba AMS 2772, ujian ultrasonik 100%.

Komponen Pengagihan Gas

Produk: Tiub aluminium ketepatan (OD 3mm-200mm) dengan lubang mikro dalaman

Teknologi: Penggerudian lubang dalam (nisbah L/D 30:1), penggilap elektro

Sokongan & Pengikat Struktur

Bahan: Batang Aluminium 7075-T651 (nisbah kekuatan kepada berat tinggi)

Pematuhan: Piawaian SEMI F72 untuk kawalan keluar gas

Mengapa Bekerjasama Dengan Kami untuk Projek Bilik Semikonduktor Anda?

1. Pemesinan Bilik Bersih Khusus: Kemudahan Kelas 1000 menghalang pencemaran zarah.

2. Kebolehkesanan Bahan: Laporan ujian kilang untuksetiap plat aluminium/rod/tiub.

3. Kemasan Dioptimumkan Plasma: Pempasifan proprietari untuk rintangan kakisan.

4. Prototaip Pantas: Masa utama 15 hari untuk geometri ruang kompleks.