האַלב-קאָנדוקטאָר פאַבריקאַציע פארלאנגט עקסטרעמע פּינקטלעכקייט, און די קאַמער - דאָס האַרץ פון קריטישע ויסריכט ווי CVD רעאַקטאָרן און עטשינג מאַשינען - שפּילט אַ וויכטיקע ראָלע. די פירער אויספאָרשט די עסענטיאַלן פון קאַמער פּלאַן און ווי הויך-ריינקייט אַלומינום אַלויז סאָלווען שליסל אינדוסטריע טשאַלאַנדזשיז.

5 קריטישע פאַקטאָרן וואָס פירן קאַמער פאָרשטעלונג (און ווי אַלומינום עקסעלז)

1. אולטרא-הויך וואַקוום (UHV) קאָמפּאַטאַביליטי און ליק פאַרהיטונג

פּראָבלעם: מיקראָסקאָפּישע ליקס צעשטערן פּראָצעס אָרנטלעכקייט.

אַלומינום אַדוואַנטאַגע:נאָטלאָזע CNC-מאַשינד קערפּערפון אַלומינום בילעטן עלימינירן וועַלסט פונקטן. אונדזער 6061-T6 צומיש דערגרייכט < 10⁻⁹ mbar·L/sec העליום ליק ראַטעס.

2. טערמישע פאַרוואַלטונג: סטאַביליטעט אונטער עקסטרעמע סייקלינג

פּראָבלעם: טערמישע וואָרפּינג פאַראורזאַכט פּאַרטיקל קאַנטאַמאַניישאַן.

לייזונג: אַלומינום'ס העכערע טערמישע קאַנדאַקטיוויטי (≈150 W/m·K) איבערטרעפט נישט-ראַסטיק שטאָל. אונדזערע ספּעציעל-געמאַכטע אַלומינום פּלאַטעס אינטעגרירן קיל-קאַנאַלן פֿאַר ±0.5°C איינהייטלעכקייט.

3. פּלאַזמע קעראָוזשאַן קעגנשטעל אין שווערע סביבות

דאַטן פּונקט: אַנאָדיזירט אַלומינום (25μm+ גרעב) קען אויסהאַלטן 10 מאָל לענגערע CF₄/O₂ פּלאַזמע ויסשטעל קעגן נישט-באַהאַנדלטע סערפאַסיז.

4. מאַגנעטישע דורכדרינגלעכקייט: RF/פּלאַזמע פּראָצעס אָרנטלעכקייט

פארוואס אלומיניום? כמעט-נול מאַגנעטישע דורכדרינגלעכקייט פאַרהיט פעלד דיסטאָרשאַן אין עטשערס/ימפּלאַנטערס.

5. קאָסטן קעגן פאָרשטעלונג אָפּטימיזאַציע

פאַל שטודיע: פאַרבייַטן מאַשינד ומבאַפלעקט שטאָלקאַמערן מיט אַלומינוםרעדוצירט מאַטעריאַל קאָסטן מיט 40% און מאַשינינג צייט מיט 35% (באַזירט אויף 2024 אינדוסטריע בענטשמאַרקס).

אונדזערע אַלומינום לייזונגען פֿאַר פּרעציזיע קאַמערן

קאַמער קערפּערס און דעקלעך

מאַטעריאַל: 5083/6061 אַלומינום פּלאַטעס (ביז 150 מם דיק)

פּראָצעס: וואַקוום-קאָמפּאַטיבלע CNC מאַשינינג מיט ראַ ≤ 0.8μm ייבערפלאַך ענדיקן

שליסל ספּעקס: AMS 2772 היץ באַהאַנדלונג, 100% אַלטראַסאַניק טעסטינג

גאַז פאַרשפּרייטונג קאָמפּאָנענטן

פּראָדוקטן: פּרעציזיע אַלומינום רערן (OD 3 מם-200 מם) מיט אינעווייניקסטע מיקראָ-באָרעס

טעכנאָלאָגיע: טיף-לאָך דרילינג (L/D פאַרהעלטעניש 30:1), עלעקטראָפּאָלישינג

סטרוקטורעלע שטיצעס און פאַסטנערס

מאַטעריאַל: 7075-T651 אַלומינום שטאַנגען (הויך שטאַרקייט-צו-וואָג פאַרהעלטעניש)

קאָנפאָרמאַטי: SEMI F72 סטאַנדאַרדן פֿאַר קאָנטראָל פון אויסגאַזינג

פארוואס זאָל מען זיך מיט אונדז צוזאַמענאַרבעטן פֿאַר אייער פּראָיעקט פֿון האַלב-קאָנדוקטאָר קאַמער?

1. דעדאַקייטאַד ריינצימער מאַשינינג: קלאַס 1000 פאַסילאַטי פאַרהיט פּאַרטיקולאַט קאַנטאַמאַניישאַן.

2. מאַטעריאַל טרעיסאַביליטי: מיל טעסט באַריכטן פֿאַריעדע אַלומינום פּלאַטע/שטאַנג/רער.

3. פּלאַזמע-אָפּטימיזירטע פֿאַרענדיקונג: פּראַפּריעטאַרי פּאַסיוואַציע פֿאַר קעראָוזשאַן קעגנשטעל.

4. שנעלע פּראָוטאַטייפּינג: 15-טאָגיקע פירן-צייט פֿאַר קאָמפּלעקסע קאַמער געאָמעטריעס.