Ụlọ ọrụ semiconductor chọrọ ihe ndị na-ahazi ike igwe pụrụ iche, nkwụsi ike nha ziri ezi, njikwa okpomọkụ dị elu, na ụkpụrụ ịdị ọcha siri ike. Dịka isi ihe na-eweta ngwọta aluminom dị elu, anyị na-arụ ọrụ nke ọma.6000 usoro alloy aluminom—nke bụ isi 6061-T6/T651, 6063-T5/T6, na ụdị pụrụ iche nke semiconductor—a haziri iji mezuo ihe achọrọ siri ike nke imepụta akụrụngwa semiconductor, sistemụ nhazi wafer, na imepụta akụkụ ziri ezi. Nduzi a na-enyocha ihe onwunwe, uru ndị dị mkpa, usoro mmepụta, na ọnọdụ ngwa nke ngwaahịa aluminom usoro 6000 anyị, nke e mere iji kwado ndị ahịa semiconductor zuru ụwa ọnụ n'inweta mmepụta dị elu, arụmọrụ ka mma, na arụmọrụ ogologo oge a pụrụ ịdabere na ya.

1. Njirimara Ihe Isi nke Aluminom Series 6000 maka Semiconductors

Ihe ndị mejupụtara aluminom nke usoro 6000 so na sistemụ Al-Mg-Si, yana magnesium (Mg) na silicon (Si) dị ka ihe ndị bụ isi na-agwakọta ihe, na-eme ka okpomọkụ sie ike site na ịmepụta ihe ndị na-eme ka Mg₂Si dị n'ime. Maka ngwa semiconductor, anyị na-eme ka nhazi alloy na ọgwụgwọ okpomọkụ dịkwuo mma iji lekwasị anya na nha arụmọrụ anọ dị mkpa:

a. Ike Mekaniki na Ịkwụsi Ike Akụkụ

Aluminom 6061-T6/T651 anyị na-enye ike nrụgide nke 276–310 MPa na ike mmepụta nke 220–252 MPa, na-enye ikike ibu ibu siri ike maka ihe owuwu na igwe etching semiconductor, sistemụ nkwụnye ego, na robot njikwa wafer[4]. Ọnọdụ T651 na-ebelata nrụgide na-eme ka nkwụsi ike nha dịkwuo mma, na-ebelata mgbanwe n'okpuru okirikiri okpomọkụ na nrụgide igwe - dị mkpa maka ịnọgide na-enwe nkenke ọkwa submicron na akụrụngwa mmepụta semiconductor.

Maka ngwa ndị chọrọ imecha elu na nhazi dị elu, dịka ihe eji arụ ọrụ semiconductor ziri ezi na okpokolo agba wafer, aluminom 6063-T5/T6 anyị na-enye profaịlụ zuru oke nke nwere ike ịdọkpụ nke 200–240 MPa na nguzozi extrusion dị mma, na-ahụ na njikwa ndidi siri ike (±0.05 mm) maka akụkụ nhazi dị mgbagwoju anya[9]. Alloys abụọ a na-egosipụta obere njupụta nke 2.70 g/cm³, na-ebelata ibu zuru oke nke akụrụngwa semiconductor na-emebighị iguzosi ike n'ezi ihe owuwu - uru dị mkpa maka sistemụ njikwa akpaaka na usoro nhazi ụlọ dị ọcha.

b. Arụmọrụ Okpomọkụ

Njikwa okpomọkụ dị oke mkpa na nhazi semiconductor, ebe oke mgbanwe okpomọkụ nwere ike ibute wafer warpage, nhazi na-ezighi ezi, ma ọ bụ belata mmepụta ngwaọrụ. Aluminom alloys anyị nke usoro 6000 na-enye nnukwu ike okpomọkụ: 6061-T6 na-enye 180–210 W/(m·K), ebe 6063-T6 na-enye 205–220 W/(m·K), na-arụ ọrụ karịa ígwè anaghị agba nchara karịa 300% ma na-eme ka okpomọkụ dị ngwa ngwa, otu nhata.

Anyị na-eme ka ọnọdụ okpomọkụ dịkwuo mma site na njikwa siri ike nke ihe ndị na-adịghị ọcha (dịka ọmụmaatụ, Fe, Cu, Zn), na-ebelata oke mgbasa okpomọkụ ruo 22–24 × 10⁻⁶/°C (20–100°C). Nke a na-ebelata mgbanwe okpomọkụ n'oge usoro nhazi okpomọkụ dị elu dịka annealing na sintering, na-eme ka ihe ndị dị mkpa nọgide na-enwe oke ziri ezi n'oge usoro mmepụta.

c. Ịdị ọcha na Nguzogide Mmetọ

Ebe a na-emepụta semiconductor chọrọ obere gas na mwepụta ihe dị iche iche iji gbochie mmetọ wafer. A na-emepụta alloys semiconductor-grade 6000 anyị site na iji ihe ndị dị ọcha na usoro nchacha pụrụ iche, na-ebelata ọdịnaya gas fọdụrụ na <0.15 ml/100g Al na njupụta nke ihe dị iche iche ruo <5 particles/cm² (>0.5 μm).

Anyị na-etinye usoro ọgwụgwọ elu siri ike, gụnyere electropolishing na anodization (ọkpụrụkpụ 10–50 μm), iji mepụta oyi akwa oxide dị oke, nke na-eguzogide nchara sitere na ihe nhicha kemịkalụ (dịka ọmụmaatụ, HF, H₂SO₄) ma na-egbochi njikọta nke ihe ndị dị na ya. Nke a na-eme ka alloys anyị dị mma maka ebe nhazi mmiri mmiri, sistemụ nnyefe kemịkalụ, na akụkụ ụlọ vacuum ebe enweghị nkwekọrịta maka njikwa mmetọ.

d. Mgbanwe na Mgbanwe nke Nhazi

A na-eme ka alloys aluminom nke usoro 6000 anyị dị mma makaigwe CNC dị elu nke ọma,nwere arụmọrụ dị mma nke iwepụ mgbawa na obere iyi ngwa ọrụ. 6061-T6 na-enye ezigbo ike ịgbado ọkụ, na-eme ka e nwee nnukwu nhazi nke nwere ezigbo iguzosi ike n'ezi ihe, ebe 6063-T6 na-eme nke ọma na ngwa extrusion na mgbagọ, na-akwado mmepụta nke profaịlụ dị mgbagwoju anya dịka sink okpomọkụ, tube nnyefe mmiri mmiri, na ebe a na-etinye ihe mmetụta.

Anyị na-enye ụdị ngwaahịa zuru oke—gụnyere efere aluminom (ọkpụrụkpụ 0.5–200 mm), ogwe osisi (dayameta 10–500 mm), ọkpọkọ (dayameta mpụta 5–300 mm), na profaịlụ e si n'èzí wepụta—iji mezuo ihe dị iche iche achọrọ maka akụkụ semiconductor. Ngwaahịa niile na-enyocha nke ọma, gụnyere izi ezi nha, oke elu (Ra ≤ 0.2 μm), na nkwenye ihe onwunwe igwe, na-ahụ na ha na-agbaso ụkpụrụ mba ụwa (ASTM, ISO, JIS).

2.Uru dị mkpa nke Aluminom 6000 Series anyị maka ndị ahịa Semiconductor

a. Ngwọta Ihe Emebere Emebere

Anyị na ndị ahịa na-arụkọ ọrụ nke ọma iji hazie alloys usoro 6000 dịka mkpa ngwa ụfọdụ si dị:

- Ọkwa Semiconductor 6061 SP: Emebere ya nke ọma maka ojiji dị ọcha dị elu dịka ngwa ntinye ion na sistemụ nyocha wafer, yana arụmọrụ anodization ka mma na mbelata ikuku ọpụpụ.

- Ike dị elu 6061-T651: Ọ dị mma maka akụkụ nhazi dị arọ na ngwaọrụ lithography semiconductor na ụlọ nhazi, na-enye nkwụsi ike dị elu n'okpuru ọnọdụ ọrụ dị oke njọ.

- 6063-T6 nke e mere ka ọ dị mma maka extrusion: Zuru oke maka sink okpomọkụ dị elu, sistemu mmiri oyi, na ihe eji arụ ọrụ nke ọma, yana imecha elu dị mma na nnabata extrusion siri ike.

b. Ntụkwasị obi na Ngwugwu Ngwa Ngwa

Dịka onye na-emepụta aluminom zuru oke, anyị na-enye nkwado site na njedebe ruo na njedebe, site na nhọrọ ihe eji emepụta ihe na nhazi alloy ruo na nhazi ziri ezi na ọgwụgwọ elu. Sistemụ njikwa mma anyị n'ime ụlọ na-ahụ na enwere ike ịchọta ihe niile n'usoro mmepụta, yana otu ọ bụla yana akụkọ nnwale zuru ezu gụnyere ihe mejupụtara kemịkalụ, ihe onwunwe igwe, na data ịdị ọcha. Anyị na-enyekwa njikwa ngwa ahịa na-agbanwe agbanwe na nnyefe n'oge, na-akwado ụdị mmepụta nke ndị ahịa semiconductor n'oge yana ibelata ihe egwu nke usoro ọkọnọ.

c. Arụmọrụ dị ọnụ ala

Ma e jiri ya tụnyere ihe ndị ọzọ dịka ígwè anaghị agba nchara na titanium, alloys anyị nke usoro 6000 na-enye oke ike-na-arọ na ọnụ ala dị ala, na-ebelata ọnụ ahịa mmepụta akụrụngwa site na 20-30% ebe ọ na-eme ka arụmọrụ ike ka mma. Ike dị mma nke alloys anyị na-ebelata oge mmepụta na ọnụ ahịa ngwaọrụ, na-eme ka arụmọrụ ọrụ zuru oke maka ndị na-emepụta akụrụngwa semiconductor na ndị na-eji ya eme ihe.

3. Ihe Ndị A Na-ahụkarị Maka Ngwa na Mmepụta Semiconductor

a. Ngwa Semiconductor Ihe owuwu

A na-eji efere na ogwe aluminom 6061-T6/T651 anyị eme ihe nke ukwuu n'ịmepụta etiti akụrụngwa bụ isi, akụkụ ụlọ, na usoro nkwado maka ịcha, itinye ihe, na sistemụ annealing. Ike dị elu na nkwụsi ike nke alloys ndị a na-eme ka akụrụngwa isi nwee ntụkwasị obi ogologo oge, ebe oke okpomọkụ na-akwado ọrụ kwụsiri ike n'okpuru ọnọdụ nhazi na-aga n'ihu.

b. Njikwa na ihe eji arụ Wafer nke ọma

Mkpọpụ aluminom 6063-T6 na ihe ndị e ji ígwè rụọ dị mma maka ibugharị wafer, robot ndị na-ebufe ihe, na ihe ndị e ji etinye ihe n'ọnọdụ. Mmecha elu dị mma na obere mwepụta nke ngwaahịa ndị a na-egbochi mmebi wafer na mmetọ, ebe imewe dị mfe na-eme ka ọsọ na izi ezi nke sistemụ njikwa akpaaka dịkwuo mma.

c. Sistemụ Njikwa Okpomọkụ

Oke okpomọkụ na-eme ka anyị nwee ike6000 usoro alloy aluminomnhọrọ kachasị mma maka sink okpomọkụ semiconductor, efere oyi, na tube nnyefe mmiri. Ma ọ bụ na modulu laser dị ike ma ọ bụ sistemụ njikwa okpomọkụ wafer, alloys anyị na-ewepụ okpomọkụ nke ọma, na-eme ka okpomọkụ nhazi kwụsiri ike ma na-eme ka mmepụta ngwaọrụ ka mma.

d. Sistemụ Nhazi Kemịkalụ na Uku

Aluminom anyị nke nwere usoro semiconductor nke ọkwa 6000, nke nwere ike iguzogide nchara na obere gas, dabara adaba maka ebe nhicha mmiri, paịpụ mmiri na-ebuga kemịkalụ, na ihe ndị dị na oghere ikuku. Akwa elu anodized ahụ na-eguzogide mbuze kemịkalụ, na-eme ka ọrụ ogologo oge dịgide ma na-ebelata ọnụ ahịa mmezi maka ahịrị mmepụta semiconductor.

4. Njikwa na Asambodo Ogo

Ngwaahịa anyị niile nke usoro aluminom 6000 maka ngwa semiconductor na-agbaso ụkpụrụ mma na nchekwa mba ụwa, gụnyere ISO 9001, ISO 14001, na ọkọlọtọ SEMICON maka ihe semiconductor. Anyị na-etinye usoro njikwa mma zuru oke, yana njikwa siri ike n'ọkwa ọ bụla:

a. Nnyocha Ihe Ndị A Na-anaghị Arụpụta: A na-anwale ihe ndị dị na aluminom dị ọcha nke ukwuu (99.9% ịdị ọcha) maka ihe ndị dị na ya iji hụ na ihe ndị dị na ya dị mma.

b. Ịgbaze na Ịmecha: Usoro nrụzi nkeonwe (ntinye argon gas, iwepụ gas n'ịntanetị) na-ebelata ọdịnaya hydrogen na ihe ndị dị na ya, na-eme ka njupụta na ịdị ọcha nke ihe dị na ya ka mma.

c. Ọgwụgwọ Okpomọkụ: Usoro ihe ngwọta siri ike nke a na-achịkwa nke ọma (515–530°C) na ịka nká nke aka (160–190°C) na-eme ka ihe ndị dị n'ime igwe na ọnọdụ okpomọkụ dịkwuo mma.

d. Ịrụ Ọrụ na Ọgwụgwọ Elu: Ịrụ ọrụ CNC nwere ngwaọrụ dị oke mma na-eme ka o doo anya na nha nha ziri ezi; a na-eme electropolishing na anodization n'ime ụlọ dị ọcha iji mezuo ihe achọrọ maka njikwa mmetọ.

e. Nnyocha Ikpeazụ: Nnyocha 100% nke paramita ndị dị mkpa—gụnyere ndidi nha, ịdị nro elu, ike igwe, na ịdị ọcha—na-eme ka ngwaahịa ahụ sie ike ma nwee ntụkwasị obi.

5. Gịnị mere anyị ji họrọ Alloys Aluminom nke usoro 6000 anyị?

Site n'ọtụtụ afọ nke ahụmịhe na ngalaba ihe aluminom, anyị enwetala nghọta miri emi banyere ihe ịma aka ihe onwunwe nke ụlọ ọrụ semiconductor na-eche ihu. Aluminom alloys anyị nke usoro 6000 abụghị ngwaahịa zuru ụwa ọnụ, kama ọ bụ ngwọta ihe onwunwe ahaziri ahazi maka imepụta semiconductor, na-ekpuchi ọnọdụ niile site na ihe ndị ziri ezi ruo na akụkụ nhazi maka akụrụngwa buru ibu.

Anyị na-enye ọrụ otu nkwụsị gụnyere ndụmọdụ nhọrọ ihe, igwe eji arụ ọrụ ahaziri ahazi, ọgwụgwọ elu, na nkwado teknụzụ iji nyere ndị ahịa semiconductor zuru ụwa ọnụ aka ịbelata usoro nyocha na nhazi, belata ọnụ ahịa mmepụta, ma melite asọmpi ngwaahịa.Ihe e ji aluminom mee 6061/6063ma ọ bụ alloys nke nwere akụkụ semiconductor dị elu, anyị nwere ike inye nkwado ihe siri ike na nke a pụrụ ịtụkwasị obi maka uto azụmaahịa gị site na ahụmịhe ọkachamara.

Nwere onwe gị ịkpọtụrụ anyị oge ọ bụla iji kparịta ihe ịchọrọ maka ngwa semiconductor gị, na-eme ka alloys aluminom usoro 6000 dị elu rụọ ọrụ dị ka ntọala siri ike maka imepụta ngwa semiconductor gị.