Ọchịchọ siri ike nke ụlọ ọrụ semiconductor na-achụ obere, ngwa ngwa, na ike karịa emeela ka usoro mmepụta ihe ruo n'ọkwa ziri ezi a na-ahụtụbeghị mbụ, ọ dịghịkwa ebe nrụgide a dị oke njọ karịa na ahịrị nhicha semiconductor. Sistemụ ndị a dị oke mkpa na-ahụ maka iwepụ ihe ndị na-emerụ emerụ n'ọkwa atọm, ebe ọ bụ na ọbụna otu obere ihe ma ọ bụ ion ígwè nwere ike ime ka mgbawa 3nm ghara ịba uru. Ruo ọtụtụ afọ, ụlọ ọrụ ahụ dabere na ọtụtụ ihe dị warara, na-eche na arụmọrụ chọrọ ịchụ àjà ma ọnụ ahịa, ibu, ma ọ bụ ogologo oge. Mana aluminom nke e ji ígwè rụọ na alloys ya, gụnyere omenala.efere aluminom, ogwe osisi aluminom,na ọkpọkọ aluminom, apụtala dị ka ihe na-agbanwe ihe, na-emegide atụmanya ma ghọọ ihe dị mkpa na ahịrị nhicha dị elu. Nke a bụ akụkọ banyere otú aluminom, site na igwe eji arụ ọrụ dị elu na sayensị ihe onwunwe, si etolite ghọọ isi ihe dị mkpa maka imepụta semiconductor.

Usoro nhicha Semiconductor gụnyere ọtụtụ usoro, site na ịchacha kemịkalụ mmiri na ịsacha ruo na nhicha plasma kpọrọ nkụ, nke ọ bụla nwere ihe pụrụ iche achọrọ. Oche mmiri mmiri, nke na-eji ihe ngwọta kemịkalụ siri ike iji wepụ oxides na ihe ndị na-emerụ emerụ ígwè, chọrọ ihe ndị na-eguzogide nchara, belata mwụfu ihe, ma na-akwado mmiri mmiri kpọmkwem. N'aka nke ọzọ, sistemụ nhicha plasma vacuum chọrọ ndakọrịta UHV, nkwụsi ike okpomọkụ, na iguzogide mbuze plasma kpatara. Ruo ọtụtụ iri afọ, ihe ndị a achọrọ mere ka ndị nrụpụta họrọ ihe dị ka ígwè anaghị agba nchara 316L maka usoro mmiri mmiri na quartz maka ụlọ plasma, nhọrọ ndị bịara na nnukwu mgbanwe. Sistemụ njikwa akpaaka nke ígwè anaghị agba nchara dị elu, ebe ọ bụ na ọ naghị arụ ọrụ nke ọma na okpomọkụ ya kpatara mgbanwe okpomọkụ nke belatara ịdị n'otu nhicha. Quartz, ọ bụ ezie na ọ naghị arụ ọrụ nke ọma, na-agbawa agbawa ma dị oke ọnụ, na-eduga na nnukwu ọnụ ahịa nnọchi na gburugburu mmepụta dị elu.

Mmụba nke aluminom malitere site n'ịghọta na ihe ndị dị n'ime ya, dị fechaa, ike ọkụ dị elu, na ikike igwe dị mma nwere ike ime ka ọ dịkwuo mma site na injinia ziri ezi iji mezuo ụkpụrụ ọkwa semiconductor, ọkachasị mgbe e mere ya ka ọ bụrụ efere aluminom ahaziri ahazi, ogwe aluminom, na ọkpọkọ aluminom. Isi ihe ọhụrụ a bịara na usoro igwe dị elu nke ahaziri maka njirimara pụrụ iche nke aluminom, na-enye ndị nrụpụta ohere ịmepụta ihe ndị na-edozi isi ihe mgbu nke ọrụ nhicha ahịrị. Igwe nhazi CNC, yana nnwale ultra-sonic na njikwa mma siri ike, enyerela aluminom aka imezu ihe kachasị sie ike nke ụlọ ọrụ ahụ maka izi ezi nha na imecha elu, na-eme ka ọrụ igwe aluminom anyị bụrụ onye mmekọ dị mkpa maka ndị na-eme ngwaọrụ semiconductor.

Otu n'ime ihe kacha mkpa e ji aluminom eme n'ime ahịrị nhicha bụ n'ime ụlọ plasma vacuum, ebe ikike magnetik nke ihe ahụ fọrọ nke nta ka ọ bụrụ efu na-egbochi mgbanwe nke ubi plasma RF, ihe dị mkpa n'inweta nhazi na nhicha otu. N'adịghị ka ígwè anaghị agba nchara, nke nwere ike igbochi yankesa plasma, efere aluminomMgbidi ụlọ na-ahụ na njupụta plasma na-agbanwe agbanwe n'elu wafer ahụ, na-ebelata mgbanwe usoro ma na-eme ka mmepụta dịkwuo mma. Nhazi nke ogwe aluminom nke ejiri ígwè rụọ, nke e mere iji nagide ọdịiche nrụgide UHV, na-enye iguzosi ike n'ezi ihe na-enweghị itinye ibu karịrị akarị. Na mgbakwunye, nri ikuku aluminom tube na-enweghị ntụpọ, nke ejiri ígwè rụọ ruo ±0.003mm, na-ejigide iguzosi ike n'ezi ihe UHV ebe ọ na-enye ohere ịgafe gas usoro na akara eletriki. Ihe ndị a na-emepụta na aluminom, nke e ji 6061-T6 alloy rụọ yana igwe CNC na-enweghị ntụpọ, na-enweta arụmọrụ UHV na ọnụego ntapu helium dị n'okpuru 10⁻⁹ mbar·L/s, na-emezu ụkpụrụ ikuku kachasị sie ike maka usoro semiconductor dị elu. Elu aluminom nke anodized na-eme ka arụmọrụ dịkwuo mma site n'inye ihe mgbochi siri ike, nke na-eguzogide nchara nke na-eguzogide ogologo oge ikpughe na ụdị plasma reactive dị ka oxygen na fluorine.

N'ime sistemu bench mmiri mmiri, ihe ndị mejupụtara aluminom egosila uru ha na ihe ndị na-ebuga mmiri mmiri, ihe ndị na-ebu wafer, na tankị ịsacha, yana tubes aluminom, efere aluminom, na ogwe aluminom na-eme ka ọ bụrụ isi ihe dị mkpa na sistemụ ndị a dị oke mma. Tubes aluminom nke e ji ígwè rụọ (dayameta 3mm ~ 200mm) nwere ọwa obere-orifice na-eme ka ọnụego mmiri kemịkalụ ziri ezi, dị oke mkpa maka ịnọgide na-enwe profaịlụ etching na-agbanwe agbanwe n'ofe wafers 12-inch. N'adịghị ka ihe ndị dị na plastik, nke nwere ike ịfụ ihe ruru unyi ma ọ bụ mebie ka oge na-aga, ihe ndị dị na tube aluminom anaghị ekpo oke ọkụ ma dakọtara na kemịkalụ nhicha ọkọlọtọ niile, gụnyere ihe ndị e ji 50:1 HF na peroxide mee. Ihe ndị na-ebu wafer efere aluminom, nke e ji oghere ziri ezi mee iji jide wafers n'enweghị nsogbu n'oge nhicha, na-enye ihe ọzọ dị mfe karịa ígwè anaghị agba nchara, na-ebelata ike ọgwụgwụ aka robotic ma na-eme ka oge okirikiri dị ngwa ngwa. Ọdịdị okpomọkụ dị elu ha na-eme ka nkesa okpomọkụ otu oge n'oge nhicha, na-ebelata wafer warpage ma na-eme ka mgbanwe ọkpụrụkpụ zuru oke (TTV) dị n'okpuru 5%, ihe dị mkpa maka nhazi wafer dị elu. Ọzọkwa, okporo ụzọ nduzi mmanya aluminom, nke etinyere n'ime sistemụ njem bench mmiri mmiri, na-enye mmegharị dị nro, na-enweghị esemokwu nke ndị na-ebu wafer, na-ebelata mmepụta ihe dị iche iche ma na-eme ka ntụkwasị obi usoro dịkwuo mma.

Uru arụmọrụ nke aluminom sitere na data siri ike. Nnyocha e mere n'oge na-adịbeghị anya site n'aka onye na-emepụta akụrụngwa semiconductor kachasị elu tụnyere ihe mejupụtara aluminom na ígwè anaghị agba nchara n'ime eriri nhicha bench mmiri dị elu, na-elekwasị anya na mmetụta nke tubes aluminom, efere aluminom, na igwe nhazi ziri ezi. Nsonaazụ ya dị egwu: ihe ndị e ji ígwè aluminum tube mee belatara oriri kemịkalụ site na 12% n'ihi njikwa mmiri ka mma, ebe ndị na-ebu wafer efere aluminom belatara oge njikwa site na 18% n'ihi ibu ha dị mfe. Ihe kachasị mkpa bụ na ahịrị ndị e ji ígwè aluminum rụọ nwetara ọnụego mmepụta dị elu nke 6.5% maka wafers 5nm, nke sitere na nhazi nhicha ka mma na mbelata mmetọ ihe. Mmezi ndị a pụtara na atụmatụ nchekwa ego kwa afọ nke ihe karịrị $2 nde maka fab, ROI dị egwu maka mmelite aluminom.

Ebe ọzọ aluminom na-aka mma bụ n'ịhazi okpomọkụ, ihe ịma aka dị oke mkpa n'ahịrị nhicha ebe mmeghachi omume kemịkalụ exothermic na usoro plasma na-emepụta okpomọkụ. Nhazi okpomọkụ nke aluminom (≈150 W/m·K) karịrị okpukpu atọ nke ígwè anaghị agba nchara, na-enye ohere maka mwepụ okpomọkụ dị mma na njikwa okpomọkụ. Efere oyi nke aluminom nke e ji ígwè rụọ, nke e tinyere n'ime bat mmiri mmiri na ụlọ plasma, na-eme ka okpomọkụ kwụsie ike n'ime ±0.5°C, na-ahụ na arụmọrụ nhicha na-aga n'ihu ọbụlagodi n'oge mmepụta ogologo oge. Ihe mgbanwe okpomọkụ nke aluminom, nke ejikọtara ya na ahịrị oyi nke aluminom tube, na-ebufe okpomọkụ ngwa ngwa site na ihe ndị dị mkpa, na-egbochi oke okpomọkụ ma na-agbatị ndụ akụrụngwa. Nkwụsi ike okpomọkụ a bara uru karịsịa na usoro dị elu dịka nhicha RCA, ebe njikwa okpomọkụ ziri ezi dị mkpa maka iwepụ ihe fọdụrụ na ihe ndị na-emerụ emerụ na ígwè na-emebighị elu wafer.

Nrụpụta nke aluminom bụ uru ọzọ dị mkpa, na-eme ka mmepụta nke ihe mgbagwoju anya, nke ahaziri iche nke na-eme ka arụmọrụ ahịrị nhicha dịkwuo mma, ikike nke na-eme ka anyịọrụ nhazi aluminom dị icheN'adịghị ka ígwè anaghị agba nchara, nke chọrọ ngwaọrụ pụrụ iche na oge igwe dị ogologo, enwere ike iji aluminom mee ihe n'ụzọ ziri ezi n'ụdị dị mgbagwoju anya yana oke nguzogide (±0.005mm) na obere ego. Mgbanwe a na-enye ndị na-emepụta akụrụngwa ohere imepụta ahịrị nhicha dị obere, dị irè, ma dabara na ihe achọrọ maka usoro. Dịka ọmụmaatụ, a na-eji profaịlụ mmanya aluminom e si na ya pụta na-ehicha ahịrị na ihe mkpuchi, na-enye ike nhazi ebe ọ na-ebelata ibu akụrụngwa n'ozuzu ya ruo 30%. Nke a anaghị ebelata ọnụ ahịa nrụnye kamakwa ọ na-eme ka ọ dịrị mfe ịhazi ahịrị maka usoro ọhụrụ - ikike dị mkpa na ụlọ ọrụ ebe teknụzụ na-agbanwe ngwa ngwa. Na mgbakwunye, efere aluminom na-agbaze, nke ejiri ụkpụrụ oghere ahaziri ahazi, na-eme ka ikuku gas na-aga n'ime ụlọ plasma dịkwuo mma, na-eme ka ịdị ọcha dịkwuo mma.

Uru nkwado nke aluminom na-eme ka ọ dịkwuo mma n'ịmepụta semiconductor, ebe ibu ọrụ gburugburu ebe obibi na-aghọ ihe dị mkpa karị. Aluminom 100% nwere ike imegharị ihe na-enweghị mfu mma, na-ebelata akara carbon nke efere aluminom, ogwe aluminom, na akụkụ tube aluminom. Ike ya dị ala maka igwe na njem na-enyekwa aka na ọrụ ndị ka mma, na-ekwekọ na ebumnuche ụlọ ọrụ ahụ nke ibelata mmetụta gburugburu ebe obibi. Maka ụlọ ọrụ mmepụta ihe na-achọ iru ihe mgbaru ọsọ nkwado ma na-ejigide arụmọrụ, aluminom na-enye uru doro anya karịa ihe ọdịnala.

Ka usoro semiconductor na-aga n'ihu ruo 2nm na karịa, ihe achọrọ na ahịrị nhicha ga-abawanye ma aluminom dị mma iji merie ihe ịma aka ndị a. Mmepụta ihe ọhụrụ na-aga n'ihu na mmepe alloy aluminom, dịka iwebata alloy 5083 na 7075 dị ọcha, na-eme ka ike na iguzogide nchara nke ihe ahụ dịkwuo mma, na-agbasa ngwa ya ọbụna na usoro nhicha kachasị sie ike. Usoro igwe dị elu, gụnyere igwe laser na igwe mwepụ eletriki (EDM), na-akwali ókè nke ihe enwere ike na aluminom, na-eme ka akụkụ ndị ahụ nwee ike ịnagide ya na geometry dị mgbagwoju anya karị.

Site na ihe ndị ọzọ a na-anaghị atụle nke ọma ruo na ihe ndị dị mkpa, mmụba nke aluminom na eriri nhicha semiconductor bụ ihe akaebe nke ike nke injinia ziri ezi na sayensị ihe onwunwe. Site n'iji ike dị n'ime aluminom mee ihe ma melite ha site na igwe eji arụ ọrụ dị elu nke efere aluminom, ogwe aluminom, na tube aluminom, ụlọ ọrụ semiconductor ahụtala ihe na-enye arụmọrụ ka mma, ọnụ ahịa dị ala, na nkwado ka ukwuu, ihe niile dị mkpa n'ahịa asọmpi dị elu. Ka ọtụtụ ụlọ ọrụ mmepụta ihe na-amata uru nke aluminom, ọrụ ya na ahịrị nhicha ga-anọgide na-eto, na-akwalite ihe ọhụrụ ma na-eme ka ọgbọ na-esote nwee ikemmemmeofTeknụzụ semiconductor. Ọdịnihu nke nhicha semiconductor dị mfe, nke ziri ezi, ma dịkwa irè, e jikwa aluminom rụọ ya.