O le sailiga faifai pea a le pisinisi semiconductor mo ni chips laiti, vave, ma sili atu ona malolosi ua tuleia ai faiga gaosiga i ni tulaga sa'o e le'i mafaufauina, ma e leai se isi mea e sili atu ona ogaoga ai lenei mamafa nai lo laina faamama semiconductor. O nei faiga taua e nafa ma le aveeseina o mea leaga i le tulaga atomika, aua e oo lava i se fasi micron e tasi po o se ion u'amea e mafai ona le aoga ai se chip 3nm. Mo le tele o tausaga, sa faalagolago le pisinisi i se vaega vaapiapi o meafaitino, ma manatu o le faatinoga e manaomia ai le ositaulagaina o le tau, mamafa, po o le tumau. Ae o le alumini ma ona alloys ua mae'a ona fa'amasiniina ma le sa'o, e aofia ai ma mea fa'apitoapapatusi alumini, pa alumini,ma paipa alumini, ua tulaʻi mai o se suiga tele, e tetee atu i mea e faʻamoemoeina ma ua avea ma mea e taua tele i laina faʻamamāina maualuga. O le tala lea i le auala na tulaʻi mai ai le alumini, e ala i masini faʻapitoa ma le saienisi o meafaitino, e avea ma maa autu o le gaosiga o semiconductor.

O laina fa'amamāina o semiconductor e aofia ai le tele o faiga, mai le fa'amamāina o vaila'au susu ma le fufuluina i le fa'amamāina mago o le plasma, e tofu ma mana'oga tulaga ese o meafaitino. O nofoa susu, lea e fa'aogaina ai vaila'au fa'akemikolo malolosi e aveese ai oxides ma mea leaga u'amea, e mana'omia ai vaega e tete'e atu i le 'ele, fa'aitiitia ai le fa'ama'a'aina o vaega, ma lagolagoina le tafe sa'o o le vai. O faiga fa'amamāina o le plasma vacuum, i le isi itu, e mana'omia le fetaui ma le UHV, mautu le vevela, ma le tete'e atu i le soloia e mafua mai i le plasma. Mo le tele o tausaga, o nei mana'oga na ta'ita'ia ai le au gaosi oloa e fiafia i meafaitino e pei o le u'amea e le gaoia 316L mo faiga susu ma le kuata mo potu plasma, o filifiliga na o'o mai ma ni fefa'ataua'iga taua. O faiga fa'atino otometi e mamafa tele o le u'amea e le gaoia, ae o lona leaga o le fa'avevela na mafua ai le fesuia'iga o le vevela na fa'aitiitia ai le tutusa o le fa'amamāina. O le kuata, e ui lava i le le gaoioi o vaila'au, e ma'ale'ale ma taugata, e o'o atu ai i tau maualuga o le suia i siosiomaga gaosiga tele.

Na amata le tula'i mai o le alumini i le iloaina o ona meatotino totino, mama, maualuga le fa'avevela, ma le lelei o le masini e mafai ona fa'aleleia atili e ala i le inisinia sa'o e ausia ai tulaga fa'atonuina o le semiconductor, aemaise lava pe a faia i ni ipu alumini fa'apitoa, pa alumini, ma paipa alumini. O le alualu i luma autu na o'o mai i metotia fa'atekonolosi fa'apitoa e fa'atatau i uiga tulaga ese o le alumini, ma mafai ai e le au gaosi oloa ona fatuina ni vaega e fa'afetaui ai tulaga fa'apitoa o galuega fa'amama laina. O le masini sa'o CNC, fa'atasi ai ma le su'ega ultra-sonic ma le pulea lelei o le lelei, ua mafai ai e le alumini ona ausia mana'oga sili ona faigata o le alamanuia mo le sa'o o le fua ma le fa'auma o luga, ma avea ai a matou auaunaga masini alumini ma pa'aga taua mo le au gaosi meafaigaluega semiconductor.

O se tasi o faʻaoga sili ona taua o le alumini i laina faʻamamāina o totonu o potu plasma vacuum, lea e taofia ai e le magnetic permeability e toetoe lava a leai se mea e faʻaleagaina ai le RF plasma fields, o se mea taua i le ausiaina o le etching ma le faʻamamāina tutusa. E le pei o le uʻamea e le gaoia, lea e mafai ona faʻalavelave itufatufaina o le plasma, ipu aluminiO puipui o potu e faʻamautinoa ai le tutusa o le mafiafia o le plasma i luga o le fogāeleele o le wafer, e faʻaitiitia ai le eseesega o le faagasologa ma faʻaleleia atili ai le fua. O fausaga lagolago o le pa alumini ua faʻapipiʻiina ma le saʻo, ua mamanuina e teteʻe atu i eseesega o le mamafa o le UHV, e maua ai le tulaga mautu o le fausaga e aunoa ma le faʻaopoopoina o le mamafa tele. E le gata i lea, o le faʻaogaina o paipa alumini e aunoa ma se faʻalavelave, ua faʻapipiʻiina i le ±0.003mm, e tausia ai le tulaga mautu o le UHV aʻo faʻatagaina ai le pasia o kasa faʻagasologa ma faʻailoilo eletise. O nei vaega alumini, ua gaosia mai le 6061-T6 alloy ma le CNC e aunoa ma se faʻalavelave, e ausia ai le faʻatinoga UHV ma le fua faatatau o le helium leak i lalo ifo o le 10⁻⁹ mbar·L/s, e ausia ai tulaga faʻatonuina sili ona faigata o le vacuum mo faiga faʻapitoa o semiconductor. O luga alumini anodized e faʻaleleia atili ai le faʻatinoga e ala i le tuʻuina atu o se pa puipui malosi, e teteʻe atu i le ele e teteʻe atu i le umi o le faʻaalia i ituaiga plasma tali atu e pei o le okesene ma le fluorine.

I totonu o faiga fa'asusu, ua fa'amaonia e vaega alumini lo latou aoga i totonu o manifolds e tu'uina atu ai vai, wafer carriers, ma tanks fufulu, fa'atasi ai ma paipa alumini, ipu alumini, ma pa alumini e fausia ai le ivitū o nei faiga maualuga le sa'o. O paipa alumini ua fa'apipi'iina i le masini sa'o (3mm~200mm le lautele) fa'atasi ai ma auala micro-orifice e fa'amautinoa ai le sa'o o le tafe o vaila'au, e taua tele mo le tausia o fa'asologa tutusa o le etching i luga o wafers e 12-inisi. E le pei o vaega palasitika, lea e mafai ona fa'amamago mea leaga pe fa'aleagaina i le aluga o taimi, o manifolds paipa alumini e maualalo le kasa ma fetaui ma vaila'au fa'amama masani uma, e aofia ai le 50:1 HF ma peroxide-based etchants. O wafer carriers alumini, ua fa'apipi'iina i ni avanoa sa'o e taofi mau ai wafers i le taimi o le fa'amamaina, e ofoina atu ai se isi auala mama i le u'amea e le gaoia, e fa'aitiitia ai le vaivai o le lima robotic ma fa'afaigofie ai taimi ta'amilosaga vave. O lo latou maualuga o le conductivity thermal e fa'amautinoa ai le tufatufaina tutusa o le vevela i le taimi o le fa'amamaina, fa'aitiitia ai le wafer warpage ma fa'aleleia atili ai le fesuia'iga atoa o le mafiafia (TTV) i lalo ifo o le 5%, o se fua taua mo le fa'agasologa fa'aleleia o wafer. E le gata i lea, o ala ta'iala pa alumini, ua tu'ufa'atasia i totonu o faiga fa'asusu nofoa susu, e maua ai le sologa lelei, le fe'avea'i o wafer carriers, e fa'aitiitia ai le gaosiga o vaega ma fa'aleleia atili ai le fa'atuatuaina o le fa'agasologa.

O faʻamatalaga mautu e lagolagoina ai le lelei o le faʻatinoga o le alumini. O se suʻesuʻega talu ai nei na faia e se kamupani gaosi masini semiconductor taʻutaʻua na faʻatusatusa ai vaega o le alumini ma le uʻamea e le gaoia i totonu o se laina faʻamamāina tele e faʻasusu ai le laulau, ma taulaʻi i le aʻafiaga o paipa alumini, ipu alumini, ma le faʻamasiniina saʻo. Sa mataʻina taunuuga: o paipa alumini na faʻaitiitia ai le faʻaaogaina o vailaʻau i le 12% ona o le faʻaleleia atili o le pulea o le tafe, aʻo faʻaitiitia e le avetaʻavale o le ipu alumini le taimi e faʻaaogaina ai i le 18% ona o lo latou mamafa mama. O le mea e sili ona taua, o le laina ua faʻapipiʻiina i le alumini na ausia ai le 6.5% le maualuga o le fua faatatau o le seleselega mo le 5nm wafers, e mafua mai i le faʻaleleia atili o le tutusa o le faʻamamāina ma le faʻaitiitia o le faʻaleagaina o vaega. O nei faʻaleleia atili na faʻaliliuina i se faʻasaoina o tau faʻaletausaga e silia ma le $2 miliona mo le fab, o se ROI mataʻina mo faʻaleleia atili o le alumini.

O le isi vaega e sili ona lelei ai le alumini i le puleaina o le vevela, o se luʻitau taua i le faʻamamaina o laina lea e faʻatupuina ai le vevela e faʻagasolo ai le vevela e ala i gaioiga faʻakemikolo ma faiga plasma. O le faʻavevela o le alumini (≈150 W/m·K) e sili atu ma le faatolu nai lo le uʻamea e le gaoia, e mafai ai ona faʻasalalauina lelei le vevela ma le puleaina o le vevela. O ipu faʻamālūlūina o le alumini ua faʻapipiʻiina i masini saʻo, ua tuʻufaʻatasia i totonu o tapu susu ma potu plasma, e tausia ai le mautu o le vevela i totonu ole ±0.5°C, ma faʻamautinoa ai le faʻatinoina o le faʻamamaina e tusa lava pe umi le gaosiga. O fesuiaʻiga vevela o le pa alumini, faʻatasi ai ma laina faʻamālūlūina o le paipa alumini, e vave ona faʻaliliuina le vevela mai vaega taua, e puipuia ai le soona vevela ma faʻalauteleina le umi o le galuega a le masini. O lenei mautu o le vevela e matua taua lava i faiga faʻapitoa e pei o le faʻamamaina o le RCA, lea e taua ai le pulea saʻo o le vevela mo le aveeseina o toega o meaola ma mea leaga uʻamea e aunoa ma le faʻaleagaina o le fogāeleele o le wafer.

O le faigofie ona fa'aogaina o le alumini i masini o se isi lea tulaga lelei autu, e mafai ai ona gaosia ni vaega faigata ma fa'apitoa e fa'aleleia atili ai le fa'atinoga o laina fa'amama, o se gafatia e fa'atulaga ai a tatouauaunaga fa'a-masini alumini eseese. E le pei o le u'amea e le gaoia, lea e mana'omia ai meafaigaluega fa'apitoa ma taimi fa'amasini umi, e mafai ona fa'amasiniina ma le sa'o le alumini i ni foliga faigata ma ni fa'apalepale vaapiapi (±0.005mm) i se tau e sili atu nai lo le tau. O lenei fetu'una'iga e mafai ai e le au gaosi meafaigaluega ona mamanuina ni laina fa'amama e sili atu ona la'ititi, lelei, ma fa'atulagaina mo mana'oga fa'apitoa o le fa'agasologa. Mo se fa'ata'ita'iga, o fa'ata'ita'iga o pa alumini ua fa'apipi'iina ma le sa'o e fa'aaogaina i le fa'amamāina o fa'avaa ma pusa o laina, e maua ai le malosi o le fausaga a'o fa'aitiitia ai le mamafa atoa o meafaigaluega e o'o atu i le 30%. E le gata ina fa'aitiitia ai tau o le fa'apipi'iina ae fa'afaigofie ai fo'i ona toe fa'atulaga laina mo ni fa'agasologa fou - o se gafatia taua i se alamanuia lea e vave ona suia ai tekinolosi. E le gata i lea, o pa puipui o le alumini, e fa'amasiniina i ni mamanu pu fa'apitoa, e fa'aleleia atili ai le tafe o le kesi i totonu o potu plasma, ma fa'aleleia atili ai le tutusa o le fa'amama.

O fa'amanuiaga tau le fa'asaoina o le alumini e fa'amalosia atili ai lona tulaga i le gaosiga o semiconductor, lea ua avea ai le tiutetauave tau le siosiomaga ma mea taua tele. E 100% le toe fa'aaogaina o le alumini e aunoa ma le leiloa o le lelei, e fa'aitiitia ai le tulagavae kaponi o le alumini, le pa alumini, ma vaega o paipa alumini. O lona mana'oga maualalo o le malosi mo le masini ma felauaiga e fesoasoani fo'i i galuega fa'a-lanumeamata, e ogatasi ma le sini a le alamanuia o le fa'aitiitia o a'afiaga i le siosiomaga. Mo kamupani gaosi oloa o lo'o sailia le ausia o sini tau le fa'asaoina a'o fa'atumauina pea le fa'atinoga, e ofoina atu e le alumini se tulaga lelei manino nai lo mea masani.

A o fa’agasolo pea faiga o semiconductor i le 2nm ma tua atu, o le a fa’ateleina ai mana’oga i laina fa’amamā ma o le alumini ua i ai i se tulaga lelei e fa’afetaia’ia ai nei lu’itau. O fa’afouga faifai pea i le atina’eina o le alumini u’amea, e pei o le fa’alauiloaina o le maualuga o le mama 5083 ma le 7075 u’amea, o lo’o fa’aleleia atili ai le malosi o le meafaitino ma le tete’e atu i le ‘ele, ma fa’alauteleina ai ona fa’aoga i faiga fa’amamā sili ona faigata. O metotia fa’amama fa’aonaponei, e aofia ai le laser machining ma le electrical discharge machining (EDM), o lo’o fa’alauteleina atili ai tapula’a o mea e mafai ona faia i le alumini, ma mafai ai ona faia vaega e sili atu ona mautu le fa’apalepale ma sili atu ona lavelave foliga.

Mai le isi mea e le o fa'atauaina i se vaega e le mafai ona fa'aaogaina, o le si'itia o laina fa'amama semiconductor e ala i le alumini o se molimau i le mana o le inisinia sa'o ma le saienisi o meafaitino. I le fa'aaogaina o malosiaga totino o le alumini ma fa'aleleia atili ai e ala i le fa'amasiniina fa'apitoa o papatusi alumini, pa alumini, ma paipa alumini, ua maua ai e le pisinisi semiconductor se meafaitino e maua ai le fa'atinoga sili atu, tau maualalo, ma le fa'aauauina lelei, o mea taua uma ia i se maketi tauva tele. A'o iloa e le tele o kamupani gaosi oloa ia aoga o le alumini, o lona sao i laina fa'amama o le a fa'aauau pea ona tuputupu a'e, fa'aleleia atili ai le fa'afouga ma fa'amalosia ai le isi tupulaga.fa'asalalaugaoftekinolosi semiconductor. O le lumanai o le faamamaina o semiconductor e mama, sa'o, ma lelei, ma ua fausia i luga o le alumini.