Raadinta aan kala joogsiga lahayn ee warshadaha semiconductor-ka ee jajabyada yaryar, dhaqsaha badan, iyo kuwa awoodda badan ayaa ku riixay hababka wax soo saarka heerar aan hore loo arag oo sax ah, mana jirto meel cadaadiskani ka daran yahay khadadka nadiifinta semiconductor-ka. Nidaamyadan muhiimka ah ayaa mas'uul ka ah ka saarista wasakhda heerka atomiga, maadaama xitaa hal walxood oo cabbir yar ama bir raad ah ay ka dhigi karaan jajab 3nm ah mid aan waxtar lahayn. Sannado badan, warshaduhu waxay ku tiirsanaayeen walxo cidhiidhi ah, iyagoo u maleynaya in waxqabadku u baahan yahay in la bixiyo kharashka, miisaanka, ama cimri dhererka. Laakiin aluminium-ka saxda ah ee mashiinka lagu farsameeyo iyo biraha, oo ay ku jiraan kuwa gaarka loo leeyahay.saxannada aluminiumka ah, baararka aluminiumka ah,iyo tuubooyinka aluminiumka, ayaa soo ifbaxay iyagoo ah wax beddelaya ciyaarta, iyagoo ka hor imaanaya filashooyinka oo noqday kuwo aan lagama maarmaan u ah khadadka nadiifinta ee waxqabadka sare leh. Tani waa sheekada sida aluminiumka, iyada oo loo marayo makiinada horumarsan iyo sayniska agabka, uu u kacay inuu noqdo saldhig u ah heerka sare ee wax soo saarka semiconductor-ka.

Khadadka nadiifinta semiconductor-ka waxay ka kooban yihiin habab kala duwan, laga bilaabo xoqidda kiimikada qoyan iyo raacinta ilaa nadiifinta balaasmaha qalalan, mid walbana wuxuu leeyahay baahiyo gaar ah. Kuraasyada qoyan, kuwaas oo isticmaala xalal kiimiko oo xooggan si looga saaro oksaydhyada iyo wasakhda birta, waxay u baahan yihiin qaybo iska caabiya daxalka, yareeya daadinta walxaha, oo taageera socodka dareeraha saxda ah. Nidaamyada nadiifinta balaasmaha faakuumka, dhanka kale, waxay u baahan yihiin iswaafajinta UHV, xasilloonida kulaylka, iyo iska caabbinta nabaad-guurka uu keeno balaasmaha. Tobannaan sano, shuruudahan waxay u horseedeen soosaarayaasha inay doorbidaan agab sida birta aan miridhku lahayn ee 316L ee hababka qoyan iyo quartz ee qolalka balaasmaha, xulashooyinka oo la yimid is-weydaarsi muhiim ah. Nidaamyada maaraynta otomaatiga ah ee miisaanka sare leh ee birta aan miridhku lahayn, halka uu kulaylka liita uu sababay heerarka heerkulka oo yareeyay isku-dhafka nadiifinta. Quartz, inkastoo kiimiko ahaan aan firfircoonayn, waa mid jaban oo qaali ah, taasoo horseedaysa kharashyo beddelka sare leh oo ku yimaada jawi wax soo saar oo mug weyn leh.

Kobaca Aluminiumku wuxuu ku bilaabmay aqoonsiga in sifooyinka ku jira, miisaanka fudud, kulaylka sare, iyo mashiinada aadka u fiican lagu horumarin karo iyada oo loo marayo injineernimada saxda ah si loo daboolo heerarka heerka semiconductor-ka, gaar ahaan marka loo sameeyo saxannada aluminiumka ee gaarka ah, baararka aluminiumka, iyo tuubooyinka aluminiumka. Horumarka ugu muhiimsan wuxuu yimid farsamooyin makiinado oo horumarsan oo loogu talagalay astaamaha gaarka ah ee aluminiumka, taasoo u oggolaanaysa soosaarayaasha inay abuuraan qaybo wax ka qabta meelaha gaarka ah ee dhibaatooyinka ee hawlaha khadadka nadiifinta. Mashiinka saxnaanta CNC, oo ay weheliso tijaabada aadka u-sonic iyo xakamaynta tayada adag, ayaa u suurtagelisay aluminiumka inuu buuxiyo shuruudaha ugu adag ee warshadaha ee saxnaanta cabbirka iyo dhammaystirka dusha sare, taasoo ka dhigaysa adeegyadayada makiinada aluminiumka inay noqdaan lamaane muhiim u ah sameeyayaasha qalabka semiconductor-ka.

Mid ka mid ah codsiyada ugu muhiimsan ee aluminiumka ee khadadka nadiifinta waa qolalka balaasmaha faaruqa ah, halkaas oo marin-u-helka birlabta ee ku dhow eber uu ka hortago qallooca goobaha balaasmaha RF, taas oo ah arrin muhiim u ah gaaritaanka qaab-dhismeedka iyo nadiifinta. Si ka duwan birta aan miridhku lahayn, taas oo faragelin kartaqaybinta balaasmaha, saxanka aluminiumkaDarbiyada qolka waxay hubiyaan cufnaanta balaasmaha oo joogto ah oo ku taal dusha sare ee wafer-ka, taasoo yaraynaysa kala duwanaanshaha habka iyo hagaajinta wax soo saarka. Qaab-dhismeedka taageerada birta aluminiumka ee saxda ah, oo loogu talagalay inay u adkaysato kala duwanaanshaha cadaadiska UHV, waxay bixiyaan hufnaan qaab-dhismeed iyada oo aan lagu darin miisaan xad dhaaf ah. Intaa waxaa dheer, quudinta tuubada aluminiumka ee aan kala go 'lahayn, oo lagu farsameeyay ±0.003mm dulqaad, waxay ilaaliyaan hufnaanta UHV iyadoo awood u siinaysa marinnada gaasaska habka iyo calaamadaha korontada. Qaybahan aluminiumka ah, oo laga sameeyay dahaarka 6061-T6 oo leh mashiinka CNC ee aan kala go'lahayn, waxay gaaraan waxqabadka UHV iyadoo heerarka daadinta helium ay ka hooseeyaan 10⁻⁹ mbar·L/s, iyagoo buuxinaya heerarka ugu adag ee faaruqinta ee hababka semiconductor-ka ee horumarsan. Dusha sare ee aluminiumka ee anodized ayaa sii xoojiya waxqabadka iyagoo bixinaya caqabad adag oo u adkaysta daxalka kaas oo u adkaysta soo-gaadhista muddada dheer ee noocyada plasma-da ee falceliyay sida oksijiinta iyo fluorine.

Nidaamyada kuraasta qoyan, qaybaha aluminiumku waxay caddeeyeen qiimahooda kala duwan ee dareeraha keenista, sidayaasha waferka, iyo haamaha biyo raacinta, iyadoo tuubooyinka aluminiumka, saxannada aluminiumka, iyo baararka aluminiumka ay yihiin laf-dhabarta nidaamyadan saxnaanta sare leh. Tuubooyinka aluminiumka ee si sax ah loo farsameeyay (dhexroorka 3mm ~ 200mm) oo leh kanaallo yar-yar ayaa hubiya heerarka socodka kiimikada ee saxda ah, oo muhiim u ah ilaalinta muuqaallada xoqidda ee joogtada ah ee waferka 12-inji ah. Si ka duwan qaybaha balaastikada ah, kuwaas oo daadin kara wasakhda ama burburin kara waqti ka dib, waferka tuubooyinka aluminiumka waa kuwo aan gaaska lahayn waxayna la jaan qaadayaan dhammaan kiimikooyinka nadiifinta caadiga ah, oo ay ku jiraan 50:1 HF iyo waferka ku salaysan peroxide. Waferka saxanka aluminiumka, oo lagu farsameeyay godad sax ah si loogu hayo waferka si ammaan ah inta lagu jiro nadiifinta, waxay bixiyaan beddel fudud oo bir ah oo aan miridh lahayn, taasoo yaraynaysa daalka gacanta robotka waxayna suurtogalinaysaa waqtiyada wareegga oo dhakhso badan. Gudbintooda kulaylka sare waxay hubisaa qaybinta heerkulka isku midka ah inta lagu jiro nadiifinta, yareynta waferka iyo hagaajinta kala duwanaanshaha dhumucda guud (TTV) ilaa ka hooseeya 5%, oo ah halbeeg muhiim ah oo loogu talagalay habaynta waferka horumarsan. Intaa waxaa dheer, biraha hagaha aluminiumka, oo lagu daray nidaamyada gaadiidka kursiga qoyan, waxay bixiyaan dhaqdhaqaaq siman oo aan kala go 'lahayn oo ah sidayaasha wafer-ka, iyagoo yareynaya soo saarista walxaha iyo hagaajinta isku halaynta habka.

Faa'iidooyinka waxqabadka aluminiumka waxaa taageeraya xog adag. Daraasad dhowaan ay samaysay shirkad hormuud u ah soo saaraha qalabka semiconductor-ka ayaa barbar dhigtay qaybaha aluminiumka iyo birta aan miridhku lahayn ee ku jira khad nadiifin oo qoyan oo mug weyn leh, iyadoo diiradda saareysa saameynta tuubooyinka aluminiumka, saxannada aluminiumka, iyo mashiinka saxda ah. Natiijooyinku waxay ahaayeen kuwo cajiib ah: manifolds-ka tuubada aluminiumka ayaa hoos u dhigay isticmaalka kiimikada 12% sababtoo ah xakamaynta socodka oo la hagaajiyay, halka kuwa qaada saxanka aluminiumka ay yareeyeen waqtiga maaraynta 18% iyada oo ay ugu wacan tahay miisaankooda fudud. Tan ugu muhiimsan, khadka ku qalabaysan aluminiumka ayaa gaaray heer wax soo saar oo 6.5% ka sarreeya wafers-ka 5nm, oo ay horseedday isku-midnimada nadiifinta oo la hagaajiyay iyo wasakhowga walxaha oo la yareeyay. Horumarintan ayaa loo tarjumay kaydin sannadle ah oo lagu qiyaasay in ka badan $2 milyan oo loogu talagalay farsamada, taasoo ah ROI ku habboon casriyeynta aluminiumka.

Meel kale oo aluminiumku ku fiican yahay waa maaraynta kulaylka, oo ah caqabad muhiim ah oo ku saabsan khadadka nadiifinta halkaas oo falgallada kiimikada ee dibadda iyo hababka plasma ay dhaliyaan kuleyl. Qaboojinta kulaylka ee aluminiumka (≈150 W/m·K) waxay ka badan tahay saddex jeer birta aan miridhku lahayn, taasoo u oggolaanaysa kala firdhinta kulaylka oo hufan iyo xakamaynta heerkulka. Saxannada qaboojinta saxanka aluminiumka ee saxda ah, oo lagu dhex daray qubayska qoyan iyo qolalka plasma, waxay ilaaliyaan xasilloonida heerkulka gudaha ±0.5°C, iyagoo hubinaya waxqabadka nadiifinta ee joogtada ah xitaa inta lagu jiro socodka wax soo saarka ee dheeraadka ah. Beddelayaasha kulaylka ee birta aluminiumka ah, oo lagu daray khadadka qaboojinta tuubada aluminiumka, ayaa si dhakhso ah u wareejiya kulaylka qaybaha muhiimka ah, iyagoo ka hortagaya kulaylka xad-dhaafka ah iyo kordhinta cimriga qalabka. Xasilloonida kuleylkani waxay si gaar ah qiimo ugu leedahay hababka horumarsan sida nadiifinta RCA, halkaas oo xakamaynta heerkulka saxda ah ay lagama maarmaan u tahay in laga saaro haraaga dabiiciga ah iyo wasakhda birta iyada oo aan waxyeello u geysan dusha sare ee waferka.

Mashiinada aluminiumku waa faa'iido kale oo muhiim ah, taasoo suurtogalinaysa soo saarista qaybo adag oo gaar ah oo hagaajiya waxqabadka khadadka nadiifinta, awood u leh inay dejiso awooddeenaAdeegyada makiinada aluminiumka marka laga reeboSi ka duwan birta aan miridhku lahayn, taas oo u baahan qalab gaar ah iyo waqtiyo farsamayn oo dheer, aluminiumka waxaa loo farsamayn karaa qaabab adag oo leh dulqaad adag (±0.005mm) qiimo jaban. Dabacsanaantani waxay u oggolaanaysaa soosaarayaasha qalabka inay naqshadeeyaan khadadka nadiifinta oo aad u yar, hufan, oo loogu talagalay shuruudaha habka gaarka ah. Tusaale ahaan, astaamaha birta aluminiumka ee la soo saaray ee saxda ah ayaa loo isticmaalaa nadiifinta khadadka iyo meelaha lagu xidho, iyagoo bixinaya adkeysi qaab-dhismeed iyadoo la dhimayo miisaanka guud ee qalabka ilaa 30%. Tani ma aha oo kaliya inay hoos u dhigto kharashyada rakibidda laakiin sidoo kale waxay sahlaysaa in dib loo habeeyo khadadka hababka cusub - awood muhiim ah oo warshadeed halkaas oo tignoolajiyadu si dhakhso ah u horumarto. Intaa waxaa dheer, saxanka aluminiumku wuxuu ku wareeraa, oo lagu farsameeyo qaababka godadka gaarka ah, wuxuu hagaajiyaa socodka gaaska ee qolalka plasma, taasoo sii wanaajinaysa isku mid ahaanshaha nadiifinta.

Faa'iidooyinka waara ee aluminiumku waxay sii xoojinayaan kiiskooda wax soo saarka semiconductor-ka, halkaas oo mas'uuliyadda deegaanka ay sii noqonayso arrin aad muhiim u ah. Aluminiumku waa 100% dib loo warshadayn karo iyada oo aan lumin tayada, taasoo yaraynaysa raadadka kaarboonka ee saxanka aluminiumka, birta aluminiumka, iyo qaybaha tuubada aluminiumka. Shuruudaha tamarta ee hooseeya ee mishiinnada iyo gaadiidka ayaa sidoo kale gacan ka geysta hawlgallada cagaaran, iyagoo la jaanqaadaya yoolka warshadaha ee ah in la yareeyo saameynta deegaanka. Warshadaha doonaya inay gaaraan yoolalka waara iyagoo ilaalinaya waxqabadka, aluminiumku wuxuu bixiyaa faa'iido cad oo ka badan agabka dhaqameed.

Maadaama hababka semiconductor-ka ay u gudbaan 2nm iyo wixii ka dambeeya, baahida loo qabo khadadka nadiifinta ayaa sii kordheysa oo aluminiumku wuxuu si fiican ugu jiraa inuu la kulmo caqabadahan. Hal-abuurka socda ee horumarinta aluminiumka dahaarka, sida soo bandhigidda 5083 iyo 7075 oo saafi ah oo sarreeya, ayaa kor u qaadaya xoogga iyo iska caabbinta daxalka agabka, iyagoo ballaarinaya codsiyadooda xitaa hababka nadiifinta ee ugu adag. Farsamooyinka mashiinka ee horumarsan, oo ay ku jiraan mashiinka laser-ka iyo mashiinka dheecaanka korontada (EDM), ayaa sii riixaya xuduudaha waxa suurtagalka ah ee aluminiumka, taasoo awood u siinaysa qaybaha leh dulqaad adag iyo joomatari aad u adag.

Laga soo bilaabo beddelka aan la qiimeyn ilaa qayb aan lagama maarmaan ahayn, kororka aluminiumka ee khadadka nadiifinta semiconductor-ka waa markhaati u ah awoodda injineernimada saxda ah iyo sayniska agabka. Iyada oo ka faa'iideysanaysa awoodaha gudaha ee aluminiumka iyo kor u qaadista iyada oo loo marayo farsamaynta horumarsan ee taarikada aluminiumka, baararka aluminiumka, iyo tuubooyinka aluminiumka, warshadaha semiconductor-ka waxay heleen agab keena waxqabad sare, kharash yar, iyo waara oo weyn, dhammaantoodna waa arrimo muhiim ah oo ku jira suuq aad u tartan badan. Maadaama warshado badan ay aqoonsadaan faa'iidooyinka aluminiumka, doorkeeda ku aaddan khadadka nadiifinta ayaa sii wadi doona inuu koro, taasoo horseedaysa hal-abuurka iyo awoodsiinta jiilka xigawax-soo-saarkaofTiknoolajiyadda semiconductor-ka. Mustaqbalka nadiifinta semiconductor-ka waa mid fudud, sax ah, oo hufan, waxaana lagu dhisay aluminium.