Dịka ọkachamara nrụpụta ọkachamara naEfere aluminom, mkpara, ọkpọkọ na ọrụ nhazi nkenke, anyị ji nganga na-egosi ngwaahịa alloy aluminum 5083 anyị dị elu nke e mere maka ụlọ ọrụ semiconductor zuru ụwa ọnụ. 5083 aluminum, alloy Al-Mg nke a na-anaghị agwọ ọrịa na-anaghị ekpo ọkụ, pụtara ìhè dị ka otu n'ime ihe owuwu kachasị anabata na ngwa mmepụta semiconductor, sistemụ nhazi wafer na ihe ndị dị na ụlọ nhicha, n'ihi ike ya pụrụ iche, nguzogide nchara siri ike, ndakọrịta oghere dị elu na ikike igwe pụrụ iche. Ejiri ya mee ihe iji mezuo ụkpụrụ SEMI na ihe achọrọ maka ụlọ nhicha siri ike, aluminum 5083 anyị na-enye arụmọrụ na-enweghị atụ maka ngwa semiconductor dị mkpa ebe ịdị ọcha ihe, nkwụsi ike nha na ntụkwasị obi ogologo oge enweghị nkwekọrịta.

1. Ihe mejupụtara kemịkalụ na ịdị ọcha nke ihe (Ọkwa Semiconductor)

A na-emepụta aluminom 5083 nke semiconductor anyị n'okpuru njikwa ígwè siri ike iji hụ na ọkwa adịghị ọcha dị oke ala, na-agbaso ụkpụrụ kachasị ọcha maka ihe eletrọniki.

- Aluminom (Al): Nhazi (≥93.5%)

- Magnesium (Mg): 4.0% – 4.9% (ihe bụ isi na-eme ka ike sie ike)

- Manganese (Mn): 0.4% – 1.0% (nhazi ọka na mmụba iguzogide nchara)

- Chromium (Cr): 0.05% – 0.25% (mgbochi mmebi dị n'etiti granular)

- Ihe ndị dị na ya (Si, Fe, Cu, Zn, Ti): A na-achịkwa ya nke ọma ≤0.2% n'ozuzu ya, na-enweghị ọla dị arọ na-emerụ ahụ

Usoro kemịkalụ a nke e ji aka hazie nke ọma na-ewepụ ntụpọ dị n'ime, na-ebelata ihe egwu nke ịpụ apụ n'okpuru ọnọdụ ikuku dị elu (UHV) ma na-ahụ na ọ na-eguzogide kemịkalụ na-emebi emebi nke a na-ejikarị eme ihe na nhazi semiconductor, nhicha na nhazi. N'adịghị ka 5083 ụlọ ọrụ mmepụta ihe ọkọlọtọ, ụdị semiconductor anyị na-enweta ọgwụgwọ okpomọkụ atọ na nhazi na nhazi, na-enweta obere nhazi yiri nke ahụ na enweghị ihe ndị na-abụghị ọla, nke dị mkpa maka ịnọgide na-enwe nhazi submicron na akụkụ semiconductor dị oke ọnụ ahịa.

2.Njirimara Mechanical na Anụ ahụ (Emebere maka Gburugburu Semiconductor)

Aluminom 5083 na-enye nguzozi na-enweghị atụ nke ike, ductility na nkwụsi ike, na-eme ka ọ dị mma maka ihe ndị na-ebu ibu na ihe ndị dị na ngwaọrụ semiconductor.

- Ike nrụgide (H112/H321 Temper): 270 – 340 MPa

- Ike Mmepụta (Mbelata 0.2%): 120 – 215 MPa

- Ogologo: 12% - 20% (ọkwa dị mma maka nhazi dị mgbagwoju anya)

- Njupụta: 2.66 g/cm³ (dị mfe, na-ebelata ike akụrụngwa na oriri ike)

- Ọgbakọ okpomọkụ: 120 W/m·°C (mgbasa okpomọkụ dị irè maka usoro ịgbasa okpomọkụ)

- Ọnụọgụ nke Mgbasawanye Okpomọkụ: 24.2×10⁻⁶/°C (nkwụsi ike nha a na-atụ anya ya n'okpuru mgbanwe okpomọkụ)

- Ọkwa eletriki: 29% IACS (dabara adaba maka ihe ndị a na-achịkwa maka mwepụta electrostatic (ESD))

- Ike siri ike (HV): 75 - 90 (na-eguzogide iyi na mgbanwe na sistemụ njikwa ugboro ugboro)

Uru pụrụ iche nke aluminom 5083 bụ njide ike ya dị mma mgbe a gbanyere ya (≥90% nke ike ihe ndabere), na-ewepụ adịghị ike nhazi na ụlọ semiconductor welded na mgbakọ paịpụ. Ọzọkwa, ọ na-egosipụta arụmọrụ cryogenic pụrụ iche: na -196°C (okpomọkụ nitrogen mmiri mmiri), ike nrụgide na-abawanye site na 30%–50% ebe ọ na-ejigide ike dị elu, na-eme ka ọ dị mma maka ngwa nhazi semiconductor dị ala.

3. Uru Dị Mkpa Maka Ngwa Semiconductor

- Nguzogide Nrụgide Elu Dị Elu na Ndakọrịta Ụlọ Nhicha

Oke magnesium dị na aluminom 5083 na-enye ike iguzogide kemịkalụ ụlọ ọrụ mmepụta ihe, ihe nhicha alkaline, ihe ndị na-eme ka plasma gbapụta na mmiri, nke a na-ahụkarị n'ime ụlọ nhicha semiconductor. Ọ na-emepụta oyi akwa oxide dị oke njọ, nke na-echebe onwe ya, na-egbochi mmebi ihe na mmetọ ihe. Ngwaahịa anyị na-enweta ọgwụgwọ passivation pụrụ iche iji mee ka elu kwụsie ike, na-ahụ na enweghị mmetọ ion na irube isi na ọkọlọtọ SEMI F72 maka sistemụ UHV.

- Nhazi kwụsiri ike na nhazi nke nha

Site na obere nrụgide fọdụrụnụ na otu nha anya microstructural pụrụ iche, anyị belatara nrụgide anyịAluminom 5083 (H112/H321 temper) na-ejigideNdozi nha siri ike (±0.01mm) mgbe ejiri CNC dị mgbagwoju anya, ịkpụ laser na igwu oghere miri emi. Ọ na-akwado mmecha elu dị nro nke ukwuu (Ra ≤ 0.8μm) site na electropolishing na nhazi ziri ezi, dị oke mkpa maka ibelata nrapado na oghere ikuku na ndị na-ebu wafer. Nkwụsi ike a na-eme ka arụmọrụ na-aga n'ihu n'ọtụtụ puku okirikiri okpomọkụ na ọrụ igwe.

- Nnukwu ike ịgbado ọkụ na iguzosi ike n'ezi ihe

Dịka ihe mgbakwunye aluminom kachasị ike nke a na-anaghị agwọ ọrịa na-anaghị agwọ, 5083 na-enye ohere ịgbado ọkụ siri ike, nke na-enweghị ntụpọ site na TIG, MIG na ịgbado ọkụ laser na-enweghị nnukwu mfu ike. Nke a na-enye ohere imepụta akụkụ ụlọ semiconductor buru ibu, paịpụ nkesa gas na fremu nhazi ahaziri ahazi, na-ewepụ ụzọ mgbapụ ma na-ahụ na ọnụego mgbapụ helium <10⁻⁹ mbar·L/s, dị mkpa maka iguzosi ike n'ezi ihe nke UHV.

- Ntụkwasị Obi Ogologo Oge na Ịrụ Ọrụ Ọnụ Ahịa

Aluminom 5083 na-eguzogide nsogbu ike ọgwụgwụ n'okpuru nrụgide igwe na-agbagharị agbagharị na ujo okpomọkụ, na-enye ọrụ a pụrụ ịtụkwasị obi ruo ọtụtụ iri afọ na gburugburu ebe mmepụta semiconductor awa 24 kwa ụbọchị. Ọdịdị ya dị mfe na-ebelata ibu akụrụngwa na-enweghị ịchụ ibu n'àjà, na-ebelata njem, ntinye na ọnụ ahịa ọrụ. Tinyere ikike igwe anyị nke ọma, ọ na-ebelata ihe mkpofu ihe ma na-ebelata oge ndu mmepụta.

4. Ngwa Ụlọ Ọrụ Semiconductor

Efere aluminom 5083 anyị, mkpanaka, ọkpọkọ na ihe ndị e ji aka rụọ na-eje ozi dị mkpa n'imepụta semiconductor:

- Ngwa Ịmepụta Wafer: Nhazi ụlọ, efere elektrọd, ihe ndị ọzọ na-ekesa gas, okpokolo agba wafer, na ogwe aka robot

- Sistemụ Ịkpụcha na Ịkwanye Ihe: Ihe ndị dị n'ime ụlọ ikuku, mgbaaka ihe mkpuchi, ihe mkpuchi gas, na efere oyi

- Sistemụ Nhicha na Sistemụ Njikwa: Ihe ndozi ziri ezi, ntuziaka mmegharị ahịrị, ọkpọkọ kemịkalụ, na ọkpọkọ ọrụ

- Ngwa Nnwale na Nnyocha: Ntọala kwụsiri ike, ihe ndị dị na ọdụ nyocha, na ihe ndị dị na ngwa anya

- Ihe Ndị Pụrụ Iche: Ihe mkpuchi cryogenic, ụlọ ndị na-eguzogide nchara, na akụkụ nhazi nke ESD nwere nchekwa

5. Nkwenye Mmepụta na Ogo Anyị

Anyị na-enye ngwọta aluminom 5083 zuru oke gụnyere efere imecha igwe (ọkpụrụkpụ 0.5mm ruo 400mm), mkpanaka ndị a gbapụrụ agbapụ (dayameta 3mm ruo 300mm), ọkpọkọ ndị na-enweghị ntụpọ (OD 5mm ruo 200mm) na akụkụ igwe CNC ahaziri ahazi, ihe niile a na-emepụta n'okpuru ISO 9001 na sistemụ njikwa mma kpọmkwem nke semiconductor.

- Nleba anya nke ihe: Akụkọ nnwale igwe zuru oke (MTR) maka ogbe ọ bụla, na-ahụ na enwere ike ịchọta ya nke ọma site na ingot ruo na akụkụ emechara

- Nhazi Ụlọ Nhicha: Ihe ndị dị mkpa e ji arụ ọrụ n'ime ụlọ nhicha klas 1000 iji gbochie mmetọ ihe ndị na-emerụ ahụ

- Nnwale nkenke: Nnwale ultrasonic 100% (UT), nnwale ugbu a eddy (ECT) na nyocha nha

- Nhazi: Ụdị okpomọkụ ahaziri ahazi, ọgwụgwọ elu (elektrọnik, anodizing, passivation) na igwe nhazi nke na-anagide ihe dị mkpa dịka eserese ndị ahịa si dị

Maka ndị nrụpụta semiconductor na-achọ ihe ndị na-ejikọta ike nhazi, enweghị ike kemịkalụ, nkenke nha na arụmọrụ ọnụ ahịa, ọkwa semiconductor anyị5083 alloy aluminomỌ bụ nhọrọ kacha mma. Site n'enyemaka nke ọkachamara anyị na nhazi aluminom na nhazi ziri ezi, anyị na-enye ngwaahịa dị ọcha, nke na-agbanwe agbanwe nke na-eme ka arụmọrụ akụrụngwa ka mma, na-agbatị ndụ ọrụ ma na-ebelata ọnụ ahịa nwe ya. Ma ịchọrọ ụdị aluminom ọkọlọtọ ma ọ bụ ihe ndị emechara emechara nke ọma, anyị na-enye ngwọta dị iche iche nke e mepụtara iji gafere ụkpụrụ ụlọ ọrụ semiconductor kachasị sie ike. Soro anyị kpaa aka iji bulie akụrụngwa semiconductor gị elu site na ihe dị mma nke na-akwalite mmepụta na ntụkwasị obi na mmepụta chip dị elu.