ในฐานะผู้ผลิตมืออาชีพที่เชี่ยวชาญด้านแผ่นอลูมิเนียม แท่งอลูมิเนียม ท่ออลูมิเนียม และบริการงานกลึงความแม่นยำสูงเราภูมิใจนำเสนอผลิตภัณฑ์อลูมิเนียมอัลลอยด์ 5083 ประสิทธิภาพสูงของเรา ซึ่งออกแบบมาโดยเฉพาะสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ทั่วโลก อลูมิเนียม 5083 ซึ่งเป็นโลหะผสม Al-Mg ที่ไม่สามารถอบชุบความร้อนได้นั้น โดดเด่นในฐานะวัสดุโครงสร้างที่ใช้กันอย่างแพร่หลายที่สุดในอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ระบบการประมวลผลเวเฟอร์ และชิ้นส่วนห้องคลีนรูม เนื่องจากมีความแข็งแรงเชิงกลเป็นพิเศษ ทนต่อการกัดกร่อนได้ดีเยี่ยม เข้ากันได้กับสุญญากาศ และขึ้นรูปได้ง่าย ออกแบบมาเพื่อตอบสนองมาตรฐาน SEMI และข้อกำหนดห้องคลีนรูมที่เข้มงวด อลูมิเนียม 5083 ของเราให้ประสิทธิภาพที่เหนือกว่าสำหรับการใช้งานเซมิคอนดักเตอร์ที่สำคัญ ซึ่งความบริสุทธิ์ของวัสดุ ความเสถียรของมิติ และความน่าเชื่อถือในระยะยาวเป็นสิ่งที่ขาดไม่ได้

1. องค์ประกอบทางเคมีและความบริสุทธิ์ของวัสดุ (เกรดเซมิคอนดักเตอร์)

อะลูมิเนียม 5083 ที่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ของเรา ผลิตภายใต้การควบคุมทางโลหะวิทยาอย่างเข้มงวด เพื่อให้มั่นใจได้ว่ามีระดับสิ่งเจือปนต่ำมาก สอดคล้องกับมาตรฐานความบริสุทธิ์สูงสุดสำหรับวัสดุเกรดอิเล็กทรอนิกส์

- อะลูมิเนียม (Al): สมดุล (≥93.5%)

- แมกนีเซียม (Mg): 4.0% – 4.9% (ธาตุเสริมความแข็งแรงหลัก)

- แมงกานีส (Mn): 0.4% – 1.0% (ช่วยปรับปรุงโครงสร้างผลึกและเพิ่มความต้านทานการกัดกร่อน)

- โครเมียม (Cr): 0.05% – 0.25% (ยับยั้งการกัดกร่อนระหว่างเกรน)

- ธาตุติดตาม (Si, Fe, Cu, Zn, Ti): ควบคุมอย่างเข้มงวด ไม่เกิน 0.2% โดยรวม และปราศจากโลหะหนักที่เป็นอันตราย

สูตรทางเคมีที่ได้รับการปรับเทียบอย่างแม่นยำนี้ช่วยขจัดข้อบกพร่องภายใน ลดความเสี่ยงจากการปล่อยก๊าซภายใต้สภาวะสุญญากาศสูงยิ่งยวด (UHV) และรับประกันความต้านทานต่อสารเคมีกัดกร่อนที่ใช้กันทั่วไปในกระบวนการกัด การทำความสะอาด และการตกตะกอนของเซมิคอนดักเตอร์ได้อย่างยอดเยี่ยม แตกต่างจาก 5083 มาตรฐานในอุตสาหกรรม เหล็กกล้าไร้สนิมเกรดเซมิคอนดักเตอร์ของเราผ่านกระบวนการกลั่นและการอบชุบความร้อนแบบเอกพันธ์ถึงสามครั้ง ทำให้ได้โครงสร้างจุลภาคที่เป็นเนื้อเดียวกันโดยปราศจากสิ่งเจือปนที่ไม่ใช่โลหะ ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญในการรักษาความแม่นยำระดับต่ำกว่าไมครอนในชิ้นส่วนเซมิคอนดักเตอร์ที่มีมูลค่าสูง

2.คุณสมบัติทางกลและทางกายภาพหลัก (ปรับให้เหมาะสมสำหรับสภาพแวดล้อมเซมิคอนดักเตอร์)

อะลูมิเนียม 5083 มอบความสมดุลที่ลงตัวระหว่างความแข็งแรง ความยืดหยุ่น และความเสถียร ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับชิ้นส่วนรับน้ำหนักและชิ้นส่วนที่มีความแม่นยำสูงในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์

- ความแข็งแรงดึง (H112/H321 Temper): 270 – 340 MPa

- ความแข็งแรงคราก (ค่าชดเชย 0.2%): 120 – 215 MPa

- การยืดตัว: 12% – 20% (ขึ้นรูปได้ดีเยี่ยมสำหรับการกลึงขึ้นรูปที่ซับซ้อน)

- ความหนาแน่น: 2.66 กรัม/ซม³ (น้ำหนักเบา ช่วยลดแรงเฉื่อยของอุปกรณ์และการใช้พลังงาน)

- ค่าการนำความร้อน: 120 วัตต์/เมตร·องศาเซลเซียส (ระบายความร้อนได้อย่างมีประสิทธิภาพสำหรับกระบวนการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ)

- ค่าสัมประสิทธิ์การขยายตัวทางความร้อน: 24.2×10⁻⁶/°C (ความเสถียรของมิติที่คาดการณ์ได้ภายใต้การเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิ)

- ค่าการนำไฟฟ้า: 29% IACS (เหมาะสมสำหรับชิ้นส่วนที่ควบคุมด้วยการปล่อยประจุไฟฟ้าสถิต (ESD))

- ความแข็ง (HV): 75 – 90 (ทนทานต่อการสึกหรอและการเสียรูปในระบบการทำงานที่มีความถี่สูง)

ข้อดีที่โดดเด่นของอะลูมิเนียม 5083 คือการคงความแข็งแรงหลังการเชื่อมได้ดีเยี่ยม (≥90% ของความแข็งแรงของวัสดุพื้นฐาน) ซึ่งช่วยขจัดจุดอ่อนทางโครงสร้างในห้องเซมิคอนดักเตอร์และชุดประกอบท่อที่เชื่อม นอกจากนี้ ยังมีประสิทธิภาพในอุณหภูมิต่ำมากที่โดดเด่น: ที่อุณหภูมิ -196°C (อุณหภูมิของไนโตรเจนเหลว) ความแข็งแรงดึงเพิ่มขึ้น 30%–50% ในขณะที่ยังคงรักษาความเหนียวที่เหนือกว่า ทำให้เหมาะอย่างยิ่งสำหรับอุปกรณ์แปรรูปเซมิคอนดักเตอร์ที่อุณหภูมิต่ำ

3. ข้อได้เปรียบที่สำคัญสำหรับการใช้งานในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

- ทนทานต่อการกัดกร่อนสูงมาก และใช้งานได้ในห้องปลอดเชื้อ

อะลูมิเนียม 5083 มีปริมาณแมกนีเซียมสูง จึงทนทานต่อสารเคมีในอุตสาหกรรม สารทำความสะอาดที่เป็นด่าง สารกัดกร่อนพลาสมา และความชื้น ซึ่งเป็นสารที่พบได้ทั่วไปในห้องคลีนรูมสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ นอกจากนี้ยังเกิดชั้นออกไซด์หนาแน่นป้องกันตัวเองได้โดยอัตโนมัติ ป้องกันการเสื่อมสภาพของวัสดุและการปนเปื้อนของอนุภาค ผลิตภัณฑ์ของเราผ่านกระบวนการพาสซิเวชันที่เป็นกรรมสิทธิ์เฉพาะ เพื่อเพิ่มความเสถียรของพื้นผิวให้ดียิ่งขึ้น รับประกันการปนเปื้อนของไอออนเป็นศูนย์ และเป็นไปตามมาตรฐานการปล่อยก๊าซ SEMI F72 สำหรับระบบสุญญากาศสูงพิเศษ (UHV)

- ความเสถียรของขนาดและความสามารถในการขึ้นรูปที่แม่นยำ

ด้วยความเค้นตกค้างน้อยที่สุดและความสม่ำเสมอของโครงสร้างจุลภาคที่ยอดเยี่ยม ผลิตภัณฑ์ลดความเค้นของเราจึงเป็นตัวเลือกที่เหมาะสมอะลูมิเนียม 5083 (H112/H321) รักษาคุณสมบัติสามารถควบคุมความคลาดเคลื่อนของขนาดได้อย่างแม่นยำ (±0.01 มม.) หลังจากการผลิตด้วยเครื่อง CNC ที่ซับซ้อน การตัดด้วยเลเซอร์ และการเจาะรูลึก รองรับพื้นผิวที่เรียบเนียนเป็นพิเศษ (Ra ≤ 0.8 μm) ผ่านการขัดเงาด้วยไฟฟ้าและการเจียรละเอียด ซึ่งมีความสำคัญอย่างยิ่งในการลดการเกาะติดของอนุภาคในห้องสุญญากาศและตัวรองรับเวเฟอร์ ความเสถียรนี้ช่วยให้มั่นใจได้ถึงประสิทธิภาพที่สม่ำเสมอในการทดสอบการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิและการทำงานเชิงกลนับพันรอบ

- เชื่อมง่ายและมีความแข็งแรงทนทานสูง

โลหะผสมอะลูมิเนียม 5083 เป็นโลหะผสมอะลูมิเนียมที่ไม่สามารถอบชุบความร้อนได้ที่แข็งแกร่งที่สุด ทำให้สามารถเชื่อมได้อย่างแข็งแรงและปราศจากข้อบกพร่องด้วยวิธีการเชื่อม TIG, MIG และเลเซอร์ โดยไม่สูญเสียความแข็งแรงอย่างมีนัยสำคัญ これにより ทำให้สามารถผลิตตัวถังห้องเซมิคอนดักเตอร์ขนาดใหญ่ ท่อส่งก๊าซ และโครงสร้างเฟรมแบบกำหนดเองได้อย่างราบรื่น ขจัดจุดรั่วซึม และรับประกันอัตราการรั่วไหลของฮีเลียม <10⁻⁹ มิลลิบาร์·ลิตร/วินาที ซึ่งเป็นสิ่งสำคัญสำหรับความสมบูรณ์ของระบบสุญญากาศสูงยิ่งยวด (UHV)

- ความน่าเชื่อถือในระยะยาวและความคุ้มค่าด้านต้นทุน

อะลูมิเนียม 5083 ทนทานต่อความล้าจากการรับแรงทางกลและแรงกระแทกจากความร้อน ทำให้สามารถใช้งานได้อย่างน่าเชื่อถือยาวนานหลายสิบปีในสภาพแวดล้อมการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ทำงานตลอด 24 ชั่วโมง 7 วันต่อสัปดาห์ ด้วยคุณสมบัติที่เบาช่วยลดน้ำหนักของอุปกรณ์โดยไม่ลดความสามารถในการรับน้ำหนัก ลดต้นทุนการขนส่ง การติดตั้ง และการดำเนินงาน เมื่อผนวกกับความสามารถในการกลึงที่แม่นยำของเรา จะช่วยลดของเสียจากวัสดุและลดระยะเวลาในการผลิตลงได้

4. การประยุกต์ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

แผ่น แท่ง ท่อ และชิ้นส่วนกลึงขึ้นรูปตามสั่งที่ทำจากอลูมิเนียม 5083 ของเรา มีส่วนสำคัญในขั้นตอนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์:

- อุปกรณ์การผลิตเวเฟอร์: โครงสร้างห้อง, แผ่นอิเล็กโทรด, ท่อจ่ายก๊าซ, โครงยึดเวเฟอร์ และแขนหุ่นยนต์

- ระบบการกัดและเคลือบ: ส่วนประกอบของห้องสุญญากาศ วงแหวนป้องกัน หัวฉีดแก๊ส และแผ่นระบายความร้อน

- ระบบห้องปลอดเชื้อและระบบขนถ่ายวัสดุ: อุปกรณ์จับยึดที่มีความแม่นยำสูง รางนำทางเชิงเส้น ท่อส่งสารเคมี และท่อร้อยสายสาธารณูปโภค

- อุปกรณ์ทดสอบและตรวจสอบ: ฐานที่มีความเสถียรทางมิติ ส่วนประกอบของสถานีทดสอบ และแท่นยึดอุปกรณ์ทางแสง

- ชิ้นส่วนพิเศษ: แผ่นป้องกันความเย็นจัด, ตัวเรือนทนการกัดกร่อน และชิ้นส่วนโครงสร้างที่ปลอดภัยจากไฟฟ้าสถิต (ESD)

5. กระบวนการผลิตและการประกันคุณภาพของเรา

เราให้บริการโซลูชันอลูมิเนียม 5083 ครบวงจร รวมถึงแผ่นอลูมิเนียมผิวเรียบ (ความหนา 0.5 มม. ถึง 400 มม.) แท่งอลูมิเนียมอัดขึ้นรูป (เส้นผ่านศูนย์กลาง 3 มม. ถึง 300 มม.) ท่อไร้รอยต่อ (เส้นผ่านศูนย์กลางภายนอก 5 มม. ถึง 200 มม.) และชิ้นส่วนกลึง CNC ตามสั่ง ซึ่งทั้งหมดผลิตภายใต้ระบบการจัดการคุณภาพ ISO 9001 และระบบการจัดการคุณภาพเฉพาะสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์

- การตรวจสอบย้อนกลับของวัสดุ: รายงานการทดสอบจากโรงงาน (MTR) ฉบับสมบูรณ์สำหรับทุกชุดการผลิต ช่วยให้สามารถตรวจสอบย้อนกลับได้อย่างครบถ้วนตั้งแต่แท่งโลหะจนถึงชิ้นส่วนสำเร็จรูป

- กระบวนการผลิตในห้องปลอดเชื้อ: ชิ้นส่วนสำคัญต่างๆ ผลิตในห้องปลอดเชื้อระดับ Class 1000 เพื่อป้องกันการปนเปื้อนของอนุภาค

- การทดสอบความแม่นยำสูง: การทดสอบด้วยคลื่นอัลตราโซนิค (UT) 100%, การทดสอบด้วยกระแสไหลวน (ECT) และการตรวจสอบขนาด

- การปรับแต่ง: การปรับสภาพผิว การเคลือบผิว (การขัดเงาด้วยไฟฟ้า การชุบอะโนไดซ์ การทำให้เกิดชั้นป้องกัน) และการกลึงขึ้นรูปด้วยความแม่นยำสูงตามแบบของลูกค้า

สำหรับผู้ผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องการวัสดุที่ผสานความแข็งแรงทางโครงสร้าง ความเฉื่อยทางเคมี ความแม่นยำของขนาด และความคุ้มค่า วัสดุเกรดเซมิคอนดักเตอร์ของเราคือคำตอบโลหะผสมอลูมิเนียม 5083เราคือตัวเลือกที่ดีที่สุด ด้วยความเชี่ยวชาญของเราในการแปรรูปอลูมิเนียมและการผลิตชิ้นส่วนด้วยเครื่องจักรที่มีความแม่นยำสูง เราจึงส่งมอบผลิตภัณฑ์ที่มีความบริสุทธิ์สูงและคุณภาพสม่ำเสมอ ซึ่งช่วยเพิ่มประสิทธิภาพการทำงานของอุปกรณ์ ยืดอายุการใช้งาน และลดต้นทุนการเป็นเจ้าของโดยรวม ไม่ว่าคุณจะต้องการชิ้นส่วนอลูมิเนียมมาตรฐานหรือชิ้นส่วนสั่งทำพิเศษที่เสร็จสมบูรณ์แล้ว เราก็มีโซลูชันแบบครบวงจรที่ออกแบบมาเพื่อเกินมาตรฐานอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ที่เข้มงวดที่สุด ร่วมมือกับเราเพื่อยกระดับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ของคุณด้วยความเป็นเลิศด้านวัสดุที่ขับเคลื่อนประสิทธิภาพและความน่าเชื่อถือในการผลิตชิปขั้นสูง