Мэргэшсэн мэргэжлийн үйлдвэрлэгчийн хувьдхөнгөн цагаан хавтан, саваа, хоолой болон нарийн боловсруулалтын үйлчилгээ, бид дэлхийн хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн зориулалтаар тусгайлан бүтээгдсэн өндөр хүчин чадалтай 5083 хөнгөн цагаан хайлш бүтээгдэхүүнээ бахархалтайгаар танилцуулж байна. Дулаанаар боловсруулдаггүй Al-Mg хайлш болох 5083 хөнгөн цагаан нь онцгой механик бат бөх чанар, хэт тогтвортой зэврэлтэд тэсвэртэй байдал, вакуумтай нийцтэй байдал, гайхалтай боловсруулалтын чадвараараа хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмж, вафли боловсруулах систем, цэвэр өрөөний эд ангиудад хамгийн өргөн хэрэглэгддэг бүтцийн материалын нэг юм. SEMI стандарт болон цэвэр өрөөний хатуу шаардлагыг хангахаар зохион бүтээгдсэн манай 5083 хөнгөн цагаан нь материалын цэвэр байдал, хэмжээст тогтвортой байдал, урт хугацааны найдвартай байдал зэрэг чухал хагас дамжуулагч хэрэглээнд хосгүй гүйцэтгэлийг өгдөг.

1. Химийн найрлага ба материалын цэвэр байдал (хагас дамжуулагчийн зэрэг)

Манай хагас дамжуулагч материалд зориулсан 5083 хөнгөн цагааныг электроникийн зэрэглэлийн материалын хамгийн өндөр цэвэршилтийн стандартыг хангасан, хэт бага хольцын түвшинг хангахын тулд хатуу металлургийн хяналтан дор үйлдвэрлэдэг.

- Хөнгөн цагаан (Al): Үлдэгдэл (≥93.5%)

- Магни (Mg): 4.0% – 4.9% (анхдагч бэхжүүлэгч элемент)

- Манган (Mn): 0.4% – 1.0% (үр тарианы цэвэршүүлэлт ба зэврэлтээс хамгаалах чадварыг нэмэгдүүлэх)

- Хром (Cr): 0.05% – 0.25% (мөхлөг хоорондын зэврэлтийг дарангуйлах)

- Ул мөр (Si, Fe, Cu, Zn, Ti): Нийт ≤0.2% хатуу хяналттай, хортой хүнд металл агуулаагүй

Энэхүү нарийн тохируулсан химийн найрлага нь дотоод согогийг арилгаж, хэт өндөр вакуум (UHV) нөхцөлд хийн ялгаралтын эрсдлийг бууруулж, хагас дамжуулагч сийлбэр, цэвэрлэгээ, тунадасжуулалтын процесст түгээмэл хэрэглэгддэг зэврэлттэй химийн бодисуудад онцгой тэсвэртэй байдлыг хангадаг. Стандарт үйлдвэрлэлийн 5083-аас ялгаатай нь манай хагас дамжуулагч зэрэглэлийн хувилбар нь гурвалсан цэвэршүүлэлт болон нэгэн төрлийн дулааны боловсруулалтад орж, өндөр үнэ цэнэтэй хагас дамжуулагч бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд субмикрон түвшний нарийвчлалыг хадгалахад чухал ач холбогдолтой тэг металл бус орцтой нэгэн төрлийн бичил бүтцийг бий болгодог.

2.Үндсэн механик ба физик шинж чанарууд (Хагас дамжуулагч орчинд оновчтой болгосон)

5083 хөнгөн цагаан нь бат бөх чанар, уян хатан чанар, тогтвортой байдлын хосгүй тэнцвэрийг санал болгодог тул хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн ачаалал даах чадвар болон нарийвчлалын эд ангиудад тохиромжтой.

- Суналтын бат бэх (H112/H321 Температур): 270 – 340 МПа

- Урсгалын бат бэх (0.2%-ийн нөхөн төлбөр): 120 – 215 МПа

- Суналт: 12% – 20% (нарийн төвөгтэй боловсруулалтад маш сайн хэлбэржүүлэлттэй)

- Нягт: 2.66 г/см³ (хөнгөн, тоног төхөөрөмжийн инерци болон эрчим хүчний зарцуулалтыг бууруулдаг)

- Дулаан дамжуулалт: 120 Вт/м·°C (дулааны мөчлөгийн процесст үр ашигтай дулаан тархалт)

- Дулааны тэлэлтийн коэффициент: 24.2×10⁻⁶/°C (температурын хэлбэлзлийн үед урьдчилан таамаглах боломжтой хэмжээст тогтвортой байдал)

- Цахилгаан дамжуулах чанар: 29% IACS (цахилгаан цахилгаан цэнэг алдалт (ESD)-ээр хянагддаг бүрэлдэхүүн хэсгүүдэд тохиромжтой)

- Хатуулаг (HV): 75 – 90 (өндөр давтамжтай харьцах системд элэгдэл болон деформацид тэсвэртэй)

5083 хөнгөн цагааны тодорхой давуу тал нь гагнуурын дараах бат бөх чанарыг маш сайн хадгалдаг (үндсэн материалын бат бөхийн ≥90%) бөгөөд гагнасан хагас дамжуулагч камер болон хоолойн угсралтын бүтцийн сул талыг арилгадаг. Цаашилбал, энэ нь гайхалтай криогенийн гүйцэтгэлийг харуулдаг: -196°C (шингэн азотын температур)-д суналтын бат бэх 30%-50% -иар нэмэгдэж, дээд зэргийн бат бөх чанарыг хадгалдаг тул бага температурт хагас дамжуулагч боловсруулах тоног төхөөрөмжид төгс тохирно.

3. Хагас дамжуулагчийн хэрэглээний гол давуу талууд

- Хэт өндөр зэврэлтээс хамгаалах чадвар ба цэвэр өрөөний нийцтэй байдал

5083 хөнгөн цагааны өндөр магнийн агууламж нь хагас дамжуулагч цэвэр өрөөнд түгээмэл тохиолддог үйлдвэрлэлийн химийн бодис, шүлтлэг цэвэрлэгээний бодис, плазмын исэлдүүлэгч бодис болон чийгэнд онцгой тэсвэртэй байдлыг хангадаг. Энэ нь материалын задрал, бөөмсийн бохирдлоос сэргийлж, нягт, хамгаалалтын исэл давхаргыг аяндаа үүсгэдэг. Манай бүтээгдэхүүнүүд гадаргуугийн тогтвортой байдлыг улам сайжруулахын тулд өмчийн идэвхгүйжүүлэлтийг хийдэг бөгөөд ингэснээр тэг ионы бохирдол, хэт өндөр хүчдэлийн системд зориулсан SEMI F72 хийн ялгаруулалтын стандартыг хангадаг.

- Хэмжээст тогтвортой байдал ба нарийвчлалтай боловсруулах чадвар

Хамгийн бага үлдэгдэл стресс болон онцгой бичил бүтцийн жигд байдалтай тул бидний стрессийг тайлдаг5083 хөнгөн цагаан (H112/H321 температур) тэсвэрлэдэгНарийн төвөгтэй CNC боловсруулалт, лазер зүсэлт болон гүн нүхний өрөмдлөгийн дараа нягт хэмжээст хүлцэл (±0.01мм). Энэ нь электро өнгөлгөө болон нарийн нунтаглалтын тусламжтайгаар хэт гөлгөр гадаргуугийн өнгөлгөөг (Ra ≤ 0.8μm) дэмждэг бөгөөд энэ нь вакуум камер болон вафли тээвэрлэгч дэх бөөмсийн наалдацыг бууруулахад чухал үүрэгтэй. Энэхүү тогтвортой байдал нь мянга мянган дулааны мөчлөг болон механик үйлдлүүдийн туршид тогтвортой гүйцэтгэлийг хангадаг.

- Дээд зэргийн гагнуурын чанар ба бүтцийн бүрэн бүтэн байдал

5083 нь хамгийн бат бөх, дулаанаар боловсруулдаггүй хөнгөн цагаан хайлш тул бат бөх чанараа мэдэгдэхүйц алдахгүйгээр TIG, MIG болон лазер гагнуураар бат бөх, согоггүй гагнуур хийх боломжийг олгодог. Энэ нь том форматын хагас дамжуулагч камерын бие, хийн түгээх хоолой болон захиалгат бүтцийн хүрээг жигд үйлдвэрлэх боломжийг олгож, гоожих замыг арилгаж, гелийн гоожих хурдыг <10⁻⁹ мбар·л/с байлгах боломжийг олгодог бөгөөд энэ нь хэт өндөр хүчдэлийн бүрэн бүтэн байдалд зайлшгүй шаардлагатай.

- Урт хугацааны найдвартай байдал ба зардлын үр ашиг

5083 хөнгөн цагаан нь мөчлөгийн механик стресс болон дулааны цочролын үед ядрахаас сэргийлж, 24/7 хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн орчинд хэдэн арван жилийн найдвартай үйлчилгээг үзүүлдэг. Хөнгөн жин нь ачааллын багтаамжийг алдагдуулахгүйгээр тоног төхөөрөмжийн жинг бууруулж, тээвэрлэлт, суурилуулалт болон ашиглалтын зардлыг бууруулдаг. Нарийвчлалтай боловсруулах чадвартай хослуулан материалын хаягдлыг багасгаж, үйлдвэрлэлийн хугацааг богиносгодог.

4. Хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн хэрэглээ

Манай 5083 хөнгөн цагаан хавтан, саваа, хоолой болон захиалгаар хийсэн эд ангиуд нь хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн чухал үе шатуудад үйлчилдэг:

- Вафли үйлдвэрлэх тоног төхөөрөмж: Камерын бүтэц, электродын хавтан, хийн хуваарилах коллектор, вафли зөөгч хүрээ, роботын гар

- Сийлбэр ба тунадасжуулалтын системүүд: Вакуум камерын эд ангиуд, бамбай цагираг, хийн цорго, хөргөлтийн хавтан

- Цэвэр өрөө болон боловсруулах системүүд: Нарийвчлалтай бэхэлгээ, шугаман хөдөлгөөний хөтөч, химийн хоолой болон нийтийн хэрэглээний суваг

- Туршилт ба үзлэгийн тоног төхөөрөмж: Хэмжээст тогтвортой суурь, датчик станцын бүрэлдэхүүн хэсгүүд болон оптик бэхэлгээ

- Тусгай бүрэлдэхүүн хэсгүүд: Криоген бамбай, зэврэлтээс хамгаалагдсан гэр, ESD-ээс хамгаалагдсан бүтцийн эд ангиуд

5. Манай үйлдвэрлэл ба чанарын баталгаа

Бид ISO 9001 болон хагас дамжуулагчийн чанарын удирдлагын системийн дагуу үйлдвэрлэсэн тээрмийн өнгөлгөөний хавтан (зузаан нь 0.5 мм-ээс 400 мм хүртэл), шахмал саваа (диаметр нь 3 мм-ээс 300 мм хүртэл), оёдолгүй хоолой (OD 5 мм-ээс 200 мм хүртэл) болон захиалгаар хийсэн CNC боловсруулсан эд анги зэрэг 5083 хөнгөн цагааны бүрэн спектрийн шийдлүүдийг санал болгодог.

- Материалын мөрдөх чадвар: Цуврал бүрийг тээрмийн бүрэн туршилтын тайлан (MTR) ашиглан гүйлгээнээс бэлэн болсон хэсэг хүртэл бүрэн мөрдөх боломжтой.

- Цэвэр өрөөний боловсруулалт: Тоосонцрын бохирдлоос урьдчилан сэргийлэхийн тулд 1000 ангиллын цэвэр өрөөнд гол эд ангиудыг боловсруулдаг

- Нарийвчлалын шинжилгээ: 100% хэт авианы шинжилгээ (UT), хуйлралын гүйдлийн шинжилгээ (ECT) болон хэмжээст үзлэг

- Тохируулга: Үйлчлүүлэгчийн зураг төслийн дагуу тохируулсан температур, гадаргуугийн боловсруулалт (цахилгаан өнгөлгөө, аноджуулалт, идэвхгүйжүүлэлт) болон хатуу тэсвэрлэх боловсруулалт

Бүтцийн бат бөх чанар, химийн идэвхгүй байдал, хэмжээст нарийвчлал болон өртгийн үр ашгийг хослуулсан материал шаарддаг хагас дамжуулагч үйлдвэрлэгчдэд зориулсан манай хагас дамжуулагч зэрэглэлийн бүтээгдэхүүн5083 хөнгөн цагаан хайлшхамгийн оновчтой сонголт болж байна. Хөнгөн цагаан боловсруулах болон нарийн боловсруулалтын чиглэлээр мэргэшсэн туршлагадаа тулгуурлан бид тоног төхөөрөмжийн гүйцэтгэлийг сайжруулж, ашиглалтын хугацааг уртасгаж, нийт эзэмшлийн зардлыг бууруулдаг өндөр цэвэршилттэй, тогтвортой чанартай бүтээгдэхүүнийг нийлүүлдэг. Танд стандарт хөнгөн цагаан хэв эсвэл бүрэн бэлэн болсон захиалгат эд анги хэрэгтэй эсэхээс үл хамааран бид хагас дамжуулагчийн салбарын хамгийн хатуу стандартыг давсан цогц шийдлүүдийг санал болгодог. Дэвшилтэт чип үйлдвэрлэлийн бүтээмж, найдвартай байдлыг хангах материалын давуу талыг ашиглан хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжөө сайжруулахын тулд бидэнтэй хамтран ажиллана уу.