Kaip profesionalus gamintojas, kuris specializuojasialiuminio plokštės, strypai, vamzdžiai ir tikslaus apdirbimo paslaugosDidžiuojamės galėdami pristatyti savo aukštos kokybės 5083 aliuminio lydinio gaminius, pritaikytus išskirtinai pasaulinei puslaidininkių pramonei. 5083 aliuminis, tipiškas termiškai neapdorojamas Al-Mg lydinys, išsiskiria kaip viena iš plačiausiai naudojamų konstrukcinių medžiagų puslaidininkių gamybos įrangoje, plokštelių apdorojimo sistemose ir švarių patalpų komponentuose dėl išskirtinio mechaninio atsparumo, itin stabilaus atsparumo korozijai, puikaus suderinamumo vakuume ir puikaus apdirbamumo. Sukurtas taip, kad atitiktų SEMI standartus ir griežtus švarių patalpų reikalavimus, mūsų 5083 aliuminis pasižymi neprilygstamomis savybėmis kritinėse puslaidininkių taikymo srityse, kur medžiagos grynumas, matmenų stabilumas ir ilgalaikis patikimumas yra neginčijami.

1. Cheminė sudėtis ir medžiagos grynumas (puslaidininkių klasė)

Mūsų puslaidininkiams skirtas 5083 aliuminis gaminamas laikantis griežtų metalurgijos kontrolės reikalavimų, siekiant užtikrinti itin mažą priemaišų lygį ir atitikti aukščiausius elektronikos medžiagoms keliamus grynumo standartus.

- Aliuminis (Al): Likutis (≥93,5 %)

- Magnis (Mg): 4,0–4,9 % (pagrindinis stiprinamasis elementas)

- Manganas (Mn): 0,4 %–1,0 % (grūdelių smulkinimas ir atsparumo korozijai didinimas)

- Chromas (Cr): 0,05 %–0,25 % (tarpkristalinės korozijos slopinimas)

- Pėdsakai (Si, Fe, Cu, Zn, Ti): Griežtai kontroliuojamas kiekis ≤0,2 %, be kenksmingų sunkiųjų metalų

Ši tiksliai sukalibruota cheminė formulė pašalina vidinius defektus, sumažina dujų išsiskyrimo riziką itin aukšto vakuumo (UHV) sąlygomis ir užtikrina išskirtinį atsparumą korozinėms cheminėms medžiagoms, dažniausiai naudojamoms puslaidininkių ėsdinimo, valymo ir nusodinimo procesuose. Skirtingai nuo standartinio pramoninio 5083, mūsų puslaidininkinės klasės variantas yra trigubai rafinuojamas ir homogenizuojamas terminiu apdorojimu, siekiant homogeninės mikrostruktūros be jokių nemetalinių intarpų, o tai labai svarbu norint išlaikyti submikroninį tikslumą didelės vertės puslaidininkiniuose komponentuose.

2.Pagrindinės mechaninės ir fizinės savybės (optimizuotos puslaidininkių aplinkai)

5083 aliuminis pasižymi neprilygstamu stiprumo, plastiškumo ir stabilumo balansu, todėl idealiai tinka puslaidininkių įrangos apkrovą laikantiems ir tiksliems komponentams.

- Tempimo stipris (H112/H321 grūdinimas): 270–340 MPa

- Takumo riba (0,2 % poslinkis): 120–215 MPa

- Pailgėjimas: 12–20 % (puikus formavimas sudėtingam apdirbimui)

- Tankis: 2,66 g/cm³ (lengvas, sumažina įrangos inerciją ir energijos suvartojimą)

- Šilumos laidumas: 120 W/m·°C (efektyvus šilumos išsklaidymas terminio ciklavimo procesams)

- Šiluminio plėtimosi koeficientas: 24,2 × 10⁻⁶/°C (nuspėjamas matmenų stabilumas esant temperatūros svyravimams)

- Elektros laidumas: 29 % IACS (tinka elektrostatinės iškrovos (ESD) valdomiems komponentams)

- Kietumas (HV): 75–90 (atsparus dilimui ir deformacijai aukšto dažnio apdirbimo sistemose)

Išskirtinis 5083 aliuminio privalumas yra puikus stiprumo išlaikymas po suvirinimo (≥90 % pagrindinės medžiagos stiprumo), todėl pašalinami struktūriniai trūkumai suvirintose puslaidininkių kamerose ir vamzdynų mazguose. Be to, jis pasižymi išskirtinėmis kriogeninėmis savybėmis: esant -196 °C (skysto azoto temperatūrai), tempiamasis stipris padidėja 30–50 %, išlaikant išskirtinį tvirtumą, todėl jis puikiai tinka žemos temperatūros puslaidininkių apdorojimo įrangai.

3. Pagrindiniai puslaidininkių taikymų privalumai

- Itin didelis atsparumas korozijai ir suderinamumas su švariomis patalpomis

Dėl didelio magnio kiekio 5083 aliuminis pasižymi išskirtiniu atsparumu pramoninėms cheminėms medžiagoms, šarminėms valymo priemonėms, plazmos ėsdintuvams ir drėgmei, būdingoms puslaidininkių švarioms patalpoms. Jis savaime suformuoja tankų, apsauginį oksido sluoksnį, kuris apsaugo nuo medžiagos irimo ir dalelių užteršimo. Mūsų gaminiams taikomas patentuotas pasyvavimo procesas, siekiant dar labiau padidinti paviršiaus stabilumą, užtikrinti nulinį jonų užterštumą ir atitiktį SEMI F72 dujų išmetimo standartams, skirtiems UHV sistemoms.

- Matmenų stabilumas ir tikslus apdirbamumas

Dėl minimalaus liekamojo įtempio ir išskirtinio mikrostruktūrinio vienodumo mūsų įtempių mažinimo sistema5083 aliuminis (H112/H321 grūdinimas) išlaikoGriežti matmenų tolerancijos lygiai (±0,01 mm) po sudėtingo CNC apdirbimo, lazerinio pjovimo ir gilių skylių gręžimo. Elektropoliravimo ir tikslaus šlifavimo būdu pasiekiamas itin lygus paviršius (Ra ≤ 0,8 μm), o tai labai svarbu siekiant sumažinti dalelių sukibimą vakuuminėse kamerose ir plokštelių laikikliuose. Šis stabilumas užtikrina pastovų veikimą per tūkstančius terminių ciklų ir mechaninių operacijų.

- Puikus suvirinamumas ir konstrukcijos vientisumas

5083, kaip tvirčiausias termiškai neapdorojamas aliuminio lydinys, leidžia užtikrinti tvirtą, be defektų suvirinimą TIG, MIG ir lazeriu be reikšmingų stiprumo nuostolių. Tai leidžia sklandžiai gaminti didelio formato puslaidininkinius kamerinius korpusus, dujų paskirstymo vamzdynus ir individualius konstrukcinius rėmus, pašalinant nuotėkio takus ir užtikrinant helio nuotėkio greitį <10⁻⁹ mbar·L/s, kuris yra būtinas itin aukštos temperatūros (UHV) vientisumui.

- Ilgalaikis patikimumas ir ekonomiškumas

5083 aliuminis yra atsparus nuovargio įtrūkimams esant cikliniam mechaniniam įtempimui ir terminiam šokui, todėl dešimtmečius patikimai tarnauja 24 valandas per parą, 7 dienas per savaitę puslaidininkių gamybos aplinkoje. Dėl lengvo svorio sumažėja įrangos svoris neprarandant keliamosios galios, taip sumažinant transportavimo, montavimo ir eksploatavimo išlaidas. Kartu su mūsų tikslaus apdirbimo galimybėmis, jis sumažina medžiagų atliekas ir sutrumpina gamybos laiką.

4. Puslaidininkių pramonės taikymas

Mūsų 5083 aliuminio plokštės, strypai, vamzdžiai ir pagal užsakymą pagaminti komponentai naudojami svarbiausiuose puslaidininkių gamybos etapuose:

- Plokštelių gamybos įranga: kamerinės konstrukcijos, elektrodų plokštės, dujų paskirstymo kolektoriai, plokštelių nešėjų rėmai ir robotų rankos

- Ėsdinimo ir nusodinimo sistemos: vakuuminės kameros komponentai, apsauginiai žiedai, dujų purkštukai ir aušinimo plokštės

- Švarių patalpų ir tvarkymo sistemos: tikslūs įrenginiai, linijinio judėjimo kreiptuvai, cheminiai vamzdynai ir komunaliniai vamzdžiai

- Bandymo ir patikros įranga: matmenis išlaikantys pagrindai, zondavimo stočių komponentai ir optiniai laikikliai

- Specialūs komponentai: kriogeniniai skydai, atsparūs korozijai korpusai ir ESD saugios konstrukcinės dalys

5. Mūsų gamyba ir kokybės užtikrinimas

Mes siūlome platų 5083 aliuminio sprendimų spektrą, įskaitant frezavimo apdailos plokštes (storis nuo 0,5 mm iki 400 mm), ekstruzinius strypus (skersmuo nuo 3 mm iki 300 mm), besiūlius vamzdžius (išorinis skersmuo nuo 5 mm iki 200 mm) ir pagal užsakymą pagamintas CNC apdirbtas detales, visas pagamintas pagal ISO 9001 ir puslaidininkiams skirtas kokybės valdymo sistemas.

- Medžiagų atsekamumas: kiekvienai partijai pateikiamos pilnos gamyklos bandymų ataskaitos (MTR), užtikrinančios visišką atsekamumą nuo luito iki galutinės detalės

- Švarių patalpų apdorojimas: pagrindiniai komponentai apdirbami 1000 klasės švariose patalpose, siekiant išvengti užteršimo dalelėmis

- Tikslumo bandymai: 100 % ultragarsinis bandymas (UT), sūkurinių srovių bandymas (ECT) ir matmenų patikrinimas

- Individualus pritaikymas: individualus grūdinimas, paviršiaus apdorojimas (elektropoliravimas, anodavimas, pasyvavimas) ir griežtų tolerancijų apdirbimas pagal kliento brėžinius

Puslaidininkių gamintojams, kuriems reikalingi konstrukcinio stiprumo, cheminio inertiškumo, matmenų tikslumo ir ekonomiškumo deriniai, mūsų puslaidininkių klasės produktai5083 aliuminio lydinysyra optimalus pasirinkimas. Remdamiesi savo aliuminio apdirbimo ir tikslaus mechaninio apdirbimo patirtimi, tiekiame didelio grynumo, pastovios kokybės gaminius, kurie pagerina įrangos našumą, pailgina tarnavimo laiką ir sumažina bendras eksploatavimo išlaidas. Nesvarbu, ar jums reikia standartinių aliuminio formų, ar visiškai pagamintų individualių komponentų, mes teikiame išsamius sprendimus, sukurtus taip, kad viršytų griežčiausius puslaidininkių pramonės standartus. Bendradarbiaukite su mumis, kad pagerintumėte savo puslaidininkių įrangos medžiagų kokybę, kuri skatina našumą ir patikimumą pažangioje lustų gamyboje.