Як прафесійны вытворца, які спецыялізуецца наалюмініевыя пласціны, пруткі, трубы і паслугі па дакладнай апрацоўцы, мы з гонарам прадстаўляем нашы высокапрадукцыйныя вырабы з алюмініевага сплаву 5083, распрацаваныя выключна для сусветнай паўправадніковай прамысловасці. Алюміній 5083, тыповы нетэрмічна апрацаваны сплаў Al-Mg, вылучаецца як адзін з найбольш шырока распаўсюджаных канструкцыйных матэрыялаў у абсталяванні для вырабу паўправаднікоў, сістэмах апрацоўкі пласцін і кампанентах для чыстых памяшканняў дзякуючы сваёй выключнай механічнай трываласці, ультрастабільнай каразійнай устойлівасці, выдатнай сумяшчальнасці з вакуумам і выдатнай апрацоўваемасці. Распрацаваны ў адпаведнасці са стандартамі SEMI і строгімі патрабаваннямі да чыстых памяшканняў, наш алюміній 5083 забяспечвае непераўзыдзеную прадукцыйнасць для крытычна важных паўправадніковых прымяненняў, дзе чысціня матэрыялу, стабільнасць памераў і доўгатэрміновая надзейнасць не паддаюцца абмеркаванню.

1. Хімічны склад і чысціня матэрыялу (паўправадніковы клас)

Наш паўправадніковы алюміній 5083 вырабляецца пад строгім металургічным кантролем, каб забяспечыць звышнізкі ўзровень прымешак і адпавядаць самым высокім стандартам чысціні для электронных матэрыялаў.

- Алюміній (Al): Астатняе (≥93,5%)

- Магній (Mg): 4,0% – 4,9% (асноўны ўмацоўваючы элемент)

- Марганец (Mn): 0,4% – 1,0% (драбненне зерня і павышэнне каразійнай стойкасці)

- Хром (Cr): 0,05% – 0,25% (інгібіраванне міжкрышталітнай карозіі)

- Сляды (Si, Fe, Cu, Zn, Ti): строга кантраляваная колькасць ≤0,2% у агульнай складанасці, без шкодных цяжкіх металаў

Гэтая дакладна адкалібраваная хімічная формула ліквідуе ўнутраныя дэфекты, мінімізуе рызыку выдзялення газаў ва ўмовах звышвысокага вакууму (UHV) і забяспечвае выключную ўстойлівасць да агрэсіўных хімічных рэчываў, якія звычайна выкарыстоўваюцца ў працэсах травлення, ачысткі і нанясення паўправаднікоў. У адрозненне ад стандартнага прамысловага 5083, наш паўправадніковы варыянт праходзіць трайную рафінавальную і гамагенізацыйную тэрмічную апрацоўку, дасягаючы аднароднай мікраструктуры без неметалічных уключэнняў, што вельмі важна для падтрымання дакладнасці на субмікронным узроўні ў высакаякасных паўправадніковых кампанентах.

2.Асноўныя механічныя і фізічныя ўласцівасці (аптымізаваныя для паўправадніковых асяроддзяў)

Алюміній 5083 прапануе беспрэцэдэнтны баланс трываласці, пластычнасці і стабільнасці, што робіць яго ідэальным для выкарыстання ў паўправадніковых прыладах, якія нясуць нагрузку, і для вырабу дакладных кампанентаў.

- Трываласць на расцяжэнне (H112/H321): 270 – 340 МПа

- Мяжа цякучасці (зрушэнне 0,2%): 120 – 215 МПа

- Падаўжэнне: 12% – 20% (выдатная фармавальнасць для складанай апрацоўкі)

- Шчыльнасць: 2,66 г/см³ (лёгкая, зніжае інэрцыю абсталявання і спажыванне энергіі)

- Цеплаправоднасць: 120 Вт/м·°C (эфектыўнае рассейванне цяпла для тэрмацыклічных працэсаў)

- Каэфіцыент цеплавога пашырэння: 24,2×10⁻⁶/°C (прадказальная стабільнасць памераў пры ваганнях тэмпературы)

- Электраправоднасць: 29% IACS (падыходзіць для кампанентаў з кантролем электрастатычнага разраду (ESD)

- Цвёрдасць (HV): 75 – 90 (устойлівасць да зносу і дэфармацыі ў высокачастотных сістэмах апрацоўкі)

Вызначальнай перавагай алюмінію 5083 з'яўляецца выдатнае захаванне трываласці пасля зваркі (≥90% ад трываласці асноўнага матэрыялу), што ліквідуе структурныя недахопы ў звараных паўправадніковых камерах і трубаправодах. Акрамя таго, ён дэманструе выдатныя крыягенныя характарыстыкі: пры -196°C (тэмпература вадкага азоту) трываласць на разрыў павялічваецца на 30%-50%, захоўваючы пры гэтым высокую трываласць, што робіць яго ідэальным для нізкатэмпературнага абсталявання для апрацоўкі паўправаднікоў.

3. Асноўныя перавагі паўправадніковых прымяненняў

- Звышвысокая каразійная ўстойлівасць і сумяшчальнасць з чыстымі памяшканнямі

Высокае ўтрыманне магнію ў алюмініі 5083 забяспечвае выключную ўстойлівасць да прамысловых хімікатаў, шчолачных ачышчальных сродкаў, плазменных травільнікаў і вільгаці, што звычайна выкарыстоўваецца ў чыстых памяшканнях для паўправаднікоў. Ён самаадвольна ўтварае шчыльны ахоўны аксідны пласт, прадухіляючы дэградацыю матэрыялу і забруджванне часціцамі. Нашы вырабы праходзяць запатэнтаваную пасівацыйную апрацоўку для далейшага павышэння стабільнасці паверхні, забяспечваючы нулявое забруджванне іонамі і адпаведнасць стандартам дэгазацыі SEMI F72 для сістэм звышвысокага ціску.

- Стабільнасць памераў і дакладнасць апрацоўкі

Дзякуючы мінімальным рэшткавым напружанням і выключнай аднастайнасці мікраструктуры, нашы матэрыялы са зняццем напружанняАлюміній 5083 (марка H112/H321) падтрымліваеЖорсткія дапушчальныя памеры (±0,01 мм) пасля складанай апрацоўкі на станках з ЧПУ, лазернай рэзкі і глыбокага свідравання адтулін. Забяспечвае звышгладкую аздабленне паверхняў (Ra ≤ 0,8 мкм) дзякуючы электрапаліроўцы і дакладнаму шліфаванню, што вельмі важна для зніжэння адгезіі часціц у вакуумных камерах і носьбітах пласцін. Гэтая стабільнасць забяспечвае стабільную прадукцыйнасць на працягу тысяч тэрмічных цыклаў і механічных аперацый.

- Выдатная зварвальнасць і структурная цэласнасць

Як самы трывалы алюмініевы сплаў, які не паддаецца тэрмічнай апрацоўцы, 5083 дазваляе надзейна і бездэфектна зварваць з дапамогай TIG, MIG і лазернай зваркі без значнай страты трываласці. Гэта дазваляе вырабляць корпусы паўправадніковых камер вялікага фармату, газаразмеркавальныя трубаправоды і канструкцыйныя рамы па індывідуальнай замове, ліквідуючы шляхі ўцечкі і забяспечваючы хуткасць уцечкі гелія <10⁻⁹ мбар·л/с, што неабходна для цэласнасці звышвысокага ціску.

- Доўгатэрміновая надзейнасць і эканамічная эфектыўнасць

Алюміній 5083 устойлівы да стомленасці пры цыклічных механічных нагрузках і цеплавых ударах, забяспечваючы надзейную службу на працягу дзесяцігоддзяў у кругласутачных умовах вытворчасці паўправаднікоў. Яго лёгкая канструкцыя памяншае вагу абсталявання без шкоды для грузападымальнасці, зніжаючы выдаткі на транспарціроўку, мантаж і эксплуатацыю. У спалучэнні з нашымі магчымасцямі дакладнай апрацоўкі гэта мінімізуе адходы матэрыялу і скарачае тэрміны вытворчасці.

4. Прымяненне ў паўправадніковай прамысловасці

Нашы алюмініевыя пласціны, пруткі, трубкі і вырабленыя на заказ кампаненты з алюмінію 5083 выкарыстоўваюцца ў найважнейшых этапах вытворчасці паўправаднікоў:

- Абсталяванне для вырабу пласцін: канструкцыі камер, электродныя пласціны, газаразмеркавальныя калектары, рамы для пласцін і рабатызаваныя маніпулятары

- Сістэмы травлення і нанясення пакрыццяў: кампаненты вакуумнай камеры, ахоўныя кольцы, газавыя сопла і астуджальныя пласціны

- Сістэмы для чыстых памяшканняў і апрацоўкі: дакладныя прыстасаванні, лінейныя накіроўвалыя, хімічныя трубаправоды і камунальныя трубаправоды

- Выпрабавальнае і кантрольнае абсталяванне: памерна стабільныя падставы, кампаненты зондавых станцый і аптычныя мацавання

- Спецыяльныя кампаненты: крыягенныя экраны, каразійна-ўстойлівыя корпусы і канструкцыйныя дэталі, абароненыя ад электрастатычнага разраду

5. Наша вытворчасць і забеспячэнне якасці

Мы прапануем поўны спектр рашэнняў з алюмінію 5083, у тым ліку пласціны з аздабленнем з дапамогай пракатнага станка (таўшчынёй ад 0,5 мм да 400 мм), экструдаваныя пруткі (дыяметрам ад 3 мм да 300 мм), бясшвовыя трубы (з вонкавым дыяметрам ад 5 мм да 200 мм) і дэталі, вырабленыя на станках з ЧПУ на заказ, усе вырабы вырабляюцца ў адпаведнасці са стандартам ISO 9001 і сістэмамі кіравання якасцю, спецыфічнымі для паўправаднікоў.

- Адсочванне матэрыялаў: поўныя справаздачы аб выпрабаваннях на станках (MTR) для кожнай партыі, што забяспечвае поўную адсочвальнасць ад злітка да гатовай дэталі

- Апрацоўка ў чыстых памяшканнях: ключавыя кампаненты апрацоўваюцца ў чыстых памяшканнях класа 1000 для прадухілення забруджвання часціцамі

- Дакладныя выпрабаванні: 100% ультрагукавы кантроль (UT), кантроль віхравымі токамі (ECT) і кантроль памераў

- Налада: індывідуальныя рэжымы адпалу, апрацоўка паверхняў (электрапаліроўка, анадаванне, пасівацыя) і апрацоўка з высокімі дапушчальнымі адхіленнямі ў адпаведнасці з чарцяжамі заказчыка

Для вытворцаў паўправаднікоў, якім патрэбныя матэрыялы, якія спалучаюць у сабе структурную трываласць, хімічную інертнасць, памерную дакладнасць і эканамічную эфектыўнасць, наш паўправадніковы клас...5083 алюмініевы сплаўз'яўляецца аптымальным выбарам. Абапіраючыся на наш вопыт у апрацоўцы алюмінію і дакладнай механічнай апрацоўцы, мы пастаўляем прадукцыю высокай чысціні і стабільнай якасці, якая паляпшае прадукцыйнасць абсталявання, падаўжае тэрмін службы і зніжае агульныя выдаткі на ўтрыманне. Незалежна ад таго, патрэбныя вам стандартныя алюмініевыя формы або цалкам гатовыя кампаненты на заказ, мы прапануем комплексныя рашэнні, распрацаваныя такім чынам, каб пераўзысці самыя строгія стандарты паўправадніковай прамысловасці. Супрацоўнічайце з намі, каб павысіць якасць вашага паўправадніковага абсталявання, выкарыстоўваючы дасканаласць матэрыялаў, што павышае прадукцыйнасць і надзейнасць у вытворчасці перадавых мікрасхем.