लिथोग्राफी स्क्यानर र इच प्रणालीहरू चिप निर्माणको मुकुट रत्नको रूपमा खडा हुन्छन्, प्रायः करोडौंमा मूल्य ट्यागहरू बोक्छन्। तर उद्योग बाहिरका थोरैले मात्र बुझ्छन् कि यी परिशुद्धता उपकरणहरूको संरचनात्मक कंकाल र आन्तरिक घटकहरू लगभग पूर्ण रूपमा देखिने देखिनेबाट बनेका छन्।कमसल सामग्री: एल्युमिनियम मिश्र धातु। यो वास्तुकला झ्याल फ्रेमहरूको लागि प्रयोग गरिने मानक एल्युमिनियम होइन, तर अति-स्वच्छ, उच्च-परिशुद्धता सञ्चालन वातावरणको लागि तयार पारिएको विशेष रूपमा इन्जिनियर गरिएको अर्धचालक ग्रेड एल्युमिनियम हो। तल उन्नत अर्धचालक उत्पादन उपकरणहरूलाई शक्ति दिने छ कोर एल्युमिनियम सामग्री प्रणालीहरूको पूर्ण ब्रेकडाउन छ।

१. मुख्य संरचनात्मक आल्मुनियम: उपकरणको लोड-बेयरिङ फ्रेमवर्क

यी मिश्र धातुहरूले प्रक्रिया कक्षहरू, वेफर स्थानान्तरण कक्षहरू र उपकरण समर्थन प्लेटफर्महरूको आधारभूत संरचना बनाउँछन्।

फ्ल्यागशिप ग्रेड ६०६१ आल्मुनियम हो, जसमा T651 टेम्परले महत्वपूर्ण संरचनात्मक भागहरूको लागि सुनको मानकको रूपमा काम गर्दछ।

T651 टेम्परले आन्तरिक अवशिष्ट तनाव हटाउन नियन्त्रित पोस्ट-क्वेन्च स्ट्रेचिङ लागू गर्दछ, उच्च-परिशुद्धता CNC मेसिनिंग पछि पनि आयामी स्थिरताको ग्यारेन्टी गर्दछ।

यो अन्तर्निहित स्थिरताले रोबोटिक वेफर ह्यान्डलिङ आर्महरूले सिल गरिएको भ्याकुम चेम्बरहरू भित्र माइक्रोन-स्तरको स्थिति सटीकता प्राप्त गर्न सक्छन् भन्ने कुरा सुनिश्चित गर्दछ।

६०६१-T६५१ अर्धचालक-ग्रेड प्रोफाइलहरूको घरेलु उत्पादन पूर्ण परिपक्वतामा पुगेको छ, जसले उपकरण OEM हरूको लागि भरपर्दो, स्केलेबल आपूर्ति प्रदान गर्दछ।

२. प्रेसिजन कम-तनाव मेसिनिङ सामग्रीहरू: अल्ट्रा-फ्ल्याट सब्सट्रेट प्लेटफर्महरू

चेम्बर लाइनर र प्रेसिजन बेस प्लेटहरूको लागि प्रयोग गरिने, यी सामग्रीहरूले उप-माइक्रोन समतलता र शून्य पोस्ट-मेसिनिंग विकृतिको माग गर्छन्।

प्राथमिक ग्रेडहरूमा ६०६१-T651 र MIC-6 कास्ट एल्युमिनियम टुलिङ प्लेट समावेश छन्।

MIC-6 एक सटीक कास्ट होएल्युमिनियम प्लेट निर्मितएक स्वाभाविक रूपमा कम तनाव भएको माइक्रोस्ट्रक्चर, अतिरिक्त तनाव राहत उपचार बिना उच्च-सहिष्णुता मेसिनिङको लागि तयार डेलिभर गरिएको।

घरेलु आपूर्तिकर्ताहरूले ठूलो प्राविधिक प्रगति गरे तापनि, अतिरिक्त ठूला ढाँचाका उच्च परिशुद्धता प्लेटहरू अझै पनि आंशिक रूपमा आयातमा निर्भर छन्, घरेलु विकल्पहरूले कार्यसम्पादन अन्तरलाई द्रुत रूपमा बन्द गर्छन्।

३. पाता धातु र सहायक संरचनाहरू: उपकरण खाम र भेन्टिलेसन

यी सामग्रीहरूले फ्याब उत्पादन लाइनहरूमा उपकरणको घेरा, सुरक्षात्मक प्यानल र भेन्टिलेसन डक्टवर्क बनाउँछन्।

यस खण्डमा ५०५२ र ३००३ ले प्रभुत्व जमाएका छन्। तिनीहरूले सन्तुलित जंग प्रतिरोध, उत्कृष्ट वेल्डेबिलिटी र लागत प्रभावी मूल्य निर्धारण प्रदान गर्छन्, जसले गर्दा तिनीहरूलाई अर्धचालक सुविधाहरूमा सबैभन्दा व्यापक रूपमा प्रयोग हुने गैर-महत्वपूर्ण आल्मुनियम सामग्री बनाउँछ।

पूर्ण घरेलु आपूर्ति शृङ्खलाहरू पहिले नै स्थापित भइसकेका छन्, मानक पाना र ट्यूब विशिष्टताहरूको लागि विदेशी स्रोतहरूमा कुनै भर पर्दैन।

४. प्लाज्मा प्रक्रिया उपभोग्य वस्तुहरू: एच चेम्बर वेयर कम्पोनेन्टहरू

चेम्बर लाइनर, फोकस रिङ र प्रोसेस बाफलको रूपमा एचरहरू भित्र स्थापित, यी भागहरूले वेफर प्रशोधनको क्रममा आक्रामक प्लाज्माबाट निरन्तर बमबारी सामना गर्छन्।

५०८३ आल्मुनियम मिश्र धातु यहाँको निर्विवाद रोजाइको सामग्री हो।

यसको उच्च म्याग्नेसियम सामग्रीले कठोर प्लाज्मा वातावरणमा असाधारण जंग प्रतिरोध र विस्तारित सेवा जीवन प्रदान गर्दछ, जसले गर्दा यसलाई इचिंग उपकरणहरूको लागि मुख्य उपभोग्य बनाउँछ।

५०८३ अर्धचालक उपभोग्य वस्तुहरूको घरेलु प्रतिस्थापन द्रुत गतिमा तीव्र गतिमा भइरहेको छ, घरेलु उत्पादकहरूले अब धेरैजसो मुख्यधारा अनुप्रयोगहरूमा आयातित सामग्रीको प्रदर्शनसँग मेल खाँदैछन्।

५. उच्च-शुद्धता एल्युमिनियम: सफा कोठा महत्वपूर्ण कार्यात्मक घटकहरू

स्पटरिंग टार्गेट र ग्यास शावर हेडहरूको लागि प्रयोग गरिने, यी कम्पोनेन्टहरू निक्षेपण र नक्काशी प्रक्रियाहरूको क्रममा वेफरहरूसँग प्रत्यक्ष सम्पर्कमा आउँछन्।

सामान्य शुद्धता स्तर ४N५ (९९.९९५%) देखि ५N (९९.९९९%) सम्म हुन्छ।

अशुद्धताको स्तरलाई ट्रेस स्तरहरूमा कडाइका साथ नियन्त्रण गर्नुपर्छ, किनकि सानो धातुको प्रदूषणले पनि सम्पूर्ण वेफर ब्याचहरूलाई नष्ट गर्न सक्छ र उत्पादन घटाउन सक्छ।

यो अझै पनि उच्च-अवरोध प्रविधि क्षेत्र हो, ऐतिहासिक रूपमा जापानी र अमेरिकी निर्माताहरूको प्रभुत्व रहेको छ, यद्यपि घरेलु उत्पादकहरूले पूर्ण स्थानीयकरणतर्फ आक्रामक अनुसन्धान र विकास प्रगति गरिरहेका छन्।

६. कार्यात्मक समग्र सामग्री: उन्नत थर्मल व्यवस्थापन समाधानहरू

उपकरण भित्र उच्च-शक्ति चिप्स र माइक्रोवेभ उपकरण प्याकेजिङको लागि ताप अपव्यय सब्सट्रेटको रूपमा प्रयोग गरिन्छ।

यस श्रेणीमा एल्युमिनियम सिलिकन कार्बाइड (Al-SiC) कम्पोजिट अग्रणी सामग्री हो।

यसले हल्का तौललाई संयोजन गर्दछकम भएको एल्युमिनियमको फाइदासिरेमिकको थर्मल विस्तार र उच्च थर्मल चालकता, उच्च-घनत्व अर्धचालक उपकरणहरूमा लामो समयदेखि रहेको थर्मल व्यवस्थापन चुनौतीहरू समाधान गर्दै।

सतह इन्जिनियरिङ: अन्तिम प्रदर्शन गुणक

आधारभूत सामग्रीको गुणस्तरले जग तय गर्छ, तर सतह कोटिंग्सले एल्युमिनियम अर्धचालक घटकहरूको वास्तविक सेवा जीवन र दीर्घकालीन स्थिरता निर्धारण गर्छ।

हार्ड एनोडाइजिङ र यट्रियम अक्साइड (Y₂O₃) थर्मल स्प्रे कोटिंग्स जस्ता प्रक्रियाहरूले बाक्लो सुरक्षात्मक अवरोध सिर्जना गर्दछ जसले प्लाज्मा क्षरण र रासायनिक आक्रमणबाट एल्युमिनियम सब्सट्रेटहरूलाई जोगाउँछ।

उन्नत सतह कोटिंग प्रविधि पूर्ण घरेलु अर्धचालक उपकरण सामग्री स्थानीयकरणमा मुख्य बाधाहरू मध्ये एक हो।

६०६१ संरचनात्मक फ्रेमहरू र ५०८३ प्लाज्मा उपभोग्य वस्तुहरूदेखि उच्च-शुद्धता एल्युमिनियम कार्यात्मक घटकहरू र उन्नत सतह कोटिंग्ससम्म, पूर्ण एल्युमिनियम सामग्री इकोसिस्टमले चुपचाप चिप निर्माणको परिशुद्धता-संचालित संसारलाई आधार दिन्छ। अर्धचालक-ग्रेड एल्युमिनियम पानाहरू, बारहरू, ट्यूबहरू र परिशुद्धता CNC मेसिनिङ सेवाहरूको एक विशेष आपूर्तिकर्ताको रूपमा, हामी कडा सफाई र आयामी सहिष्णुता आवश्यकताहरूमा निर्मित ६०६१, ५०५२, ५०८३ र अन्य उद्योग-मानक मिश्र धातुहरूको पूर्ण पोर्टफोलियो प्रदान गर्दछौं। हाम्रो इन-हाउस मेसिनिङ टोलीले अर्धचालक उपकरण संरचनात्मक भागहरू र उपभोग्य वस्तुहरूको अनुकूलन निर्माणलाई समर्थन गर्दछ, जसले विश्वव्यापी उपकरण OEM हरूलाई लचिलो, लागत-प्रभावी आपूर्ति श्रृंखलाहरू निर्माण गर्न मद्दत गर्दछ।