Литографийн сканнер болон сийлбэрийн системүүд нь чип үйлдвэрлэлийн титэм эрдэнэс болж, ихэвчлэн хэдэн зуун сая долларын үнэтэй байдаг. Гэсэн хэдий ч эдгээр нарийн багаж хэрэгслийн бүтцийн араг яс болон дотоод эд ангиуд нь бараг бүхэлдээ гаднаас баригдсан гэдгийг салбараас гадуур цөөхөн хүн хүлээн зөвшөөрдөг.даруухан материал: хөнгөн цагаан хайлшЭнэ нь архитектурын цонхны хүрээнд ашигладаг стандарт хөнгөн цагаан биш, харин хэт цэвэр, өндөр нарийвчлалтай ажиллах орчинд зориулан тусгайлан зохион бүтээсэн хагас дамжуулагч зэрэглэлийн хөнгөн цагаан юм. Дэвшилтэт хагас дамжуулагч үйлдвэрлэлийн тоног төхөөрөмжийг ажиллуулдаг зургаан цөмт хөнгөн цагаан материалын системийн бүрэн задаргааг доор харуулав.

1. Үндсэн бүтцийн хөнгөн цагаан: Тоног төхөөрөмжийн ачаалал даах хүрээ

Эдгээр хайлшууд нь процессын камер, вафли дамжуулах камер болон тоног төхөөрөмжийн тулгуур тавцангийн суурь бүтцийг бүрдүүлдэг.

Гол зэрэг нь 6061 хөнгөн цагаан бөгөөд T651 температур нь чухал бүтцийн эд ангиудын алтан стандарт болдог.

T651 температур нь өндөр нарийвчлалтай CNC боловсруулалтын дараа ч хэмжээст тогтвортой байдлыг баталгаажуулахын тулд дотоод үлдэгдэл стрессийг арилгахын тулд хянаж, бөхөөсний дараах суналтыг ашигладаг.

Энэхүү төрөлхийн тогтвортой байдал нь робот вафли баригч гар нь битүүмжилсэн вакуум камер дотор микрон түвшний байрлалын нарийвчлалд хүрэх боломжийг олгодог.

6061-T651 хагас дамжуулагч зэрэглэлийн профайлын дотоодын үйлдвэрлэл бүрэн боловсорч гүйцсэн бөгөөд тоног төхөөрөмжийн үйлдвэрлэгчдэд найдвартай, өргөжүүлэх боломжтой хангамжийг бий болгож байна.

2. Нарийвчлал багатай боловсруулах материал: Хэт хавтгай суурьтай платформууд

Камерын доторлогоо болон нарийн суурь хавтангуудад ашигладаг эдгээр материалууд нь микроноос бага тэгш байдал болон боловсруулалтын дараах хэв гажилтгүй байхыг шаарддаг.

Анхан шатны зэрэглэлд 6061-T651 болон MIC-6 цутгамал хөнгөн цагаан багажны хавтан орно.

MIC-6 нь нарийн цутгамал юмхөнгөн цагаан хавтан үйлдвэрлэсэннэмэлт стресс тайлах боловсруулалтгүйгээр өндөр тэсвэрлэлттэй боловсруулалтад бэлэн болсон, угаасаа бага стресстэй бичил бүтэцтэй.

Дотоодын ханган нийлүүлэгчид технологийн томоохон дэвшил гаргасан ч илүү том хэмжээтэй өндөр нарийвчлалтай хавтан нь импортоос хэсэгчлэн хамааралтай хэвээр байгаа бөгөөд дотоодын хувилбарууд нь гүйцэтгэлийн зөрүүг хурдан нөхөж байна.

3. Хуудас металл ба туслах байгууламж: Тоног төхөөрөмжийн дугтуй ба агааржуулалт

Эдгээр материалууд нь үйлдвэрийн үйлдвэрлэлийн шугамууд дээрх тоног төхөөрөмжийн хаалт, хамгаалалтын хавтан, агааржуулалтын сувгийг бүрдүүлдэг.

5052 болон 3003 нь энэ сегментэд давамгайлдаг. Эдгээр нь тэнцвэртэй зэврэлтэнд тэсвэртэй, маш сайн гагнах чадвартай, өртөг хэмнэлттэй үнийг санал болгодог тул хагас дамжуулагч байгууламжид хамгийн өргөн хэрэглэгддэг чухал бус хөнгөн цагаан материал болгодог.

Стандарт хуудас болон хоолойн үзүүлэлтүүдийн хувьд гадаадын эх үүсвэрээс хамааралгүйгээр дотоодын бүрэн хангамжийн сүлжээ аль хэдийн бий болсон.

4. Плазмын процессын хэрэглээний материалууд: Зүсэх камерын элэгдлийн бүрэлдэхүүн хэсгүүд

Зүсэгч машины дотор талд камерын доторлогоо, фокусын цагираг болон процессын хаалт болгон суурилуулсан эдгээр эд ангиуд нь хавтангийн боловсруулалтын явцад түрэмгий плазмын тасралтгүй бөмбөгдөлтөд өртдөг.

5083 хөнгөн цагааны хайлш нь энд маргаангүй сонголттой материал юм.

Магнийн өндөр агууламж нь зэврэлтээс онцгой тэсвэртэй бөгөөд хатуу плазмын орчинд удаан эдэлгээтэй байдаг тул сийлбэрийн тоног төхөөрөмжийн гол хэрэглээ болдог.

5083 хагас дамжуулагч хэрэглээний материалыг дотоодын үйлдвэрлэгчид импортын материалын гүйцэтгэлийг ихэнх өргөн хэрэглээнд ашиглаж байгаа тул дотоодын үйлдвэрлэгчид хурдацтай хөгжиж байна.

5. Өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагаан: Цэвэр өрөөний чухал функциональ бүрэлдэхүүн хэсгүүд

Бай болон хийн шүршүүрийн толгойг шүршихэд ашигладаг эдгээр бүрэлдэхүүн хэсгүүд нь тунадасжуулалт болон сийлбэрийн процессын үед вафлитай шууд хүрэлцдэг.

Ердийн цэвэршилтийн түвшин 4N5 (99.995%) -аас 5N (99.999%) хооронд хэлбэлздэг.

Металлын багахан бохирдол ч гэсэн бүхэл бүтэн вафлийн багцыг сүйтгэж, гарцыг бууруулж болзошгүй тул хольцын түвшинг ул мөрийн түвшинд хатуу хянах ёстой.

Энэ нь Япон, АНУ-ын үйлдвэрлэгчид түүхэндээ давамгайлсан өндөр саадтай технологийн сегмент хэвээр байгаа ч дотоодын үйлдвэрлэгчид бүрэн нутагшуулах чиглэлээр эрчимтэй судалгаа, хөгжүүлэлт хийж байна.

6. Функциональ нийлмэл материалууд: Дэвшилтэт дулааны менежментийн шийдлүүд

Тоног төхөөрөмжийн дотор өндөр хүчин чадалтай чипс болон богино долгионы төхөөрөмжийн савлагаанд дулаан тархалтын суурь болгон ашигладаг.

Хөнгөн цагаан цахиурын карбид (Al-SiC) нийлмэл материал нь энэ ангилалд тэргүүлэгч материал юм.

Энэ нь хөнгөн байдлыг хослуулсанхөнгөн цагааны давуу тал нь багакерамикийн дулааны тэлэлт ба өндөр дулаан дамжуулалт нь өндөр нягтралтай хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн дулааны менежментийн урт хугацааны бэрхшээлийг шийдвэрлэхэд оршино.

Гадаргуугийн инженерчлэл: Эцсийн гүйцэтгэлийн үржүүлэгч

Суурь материалын чанар нь суурийг тогтоодог боловч гадаргуугийн бүрхүүл нь хөнгөн цагаан хагас дамжуулагч эд ангийн бодит ашиглалтын хугацаа болон урт хугацааны тогтвортой байдлыг тодорхойлдог.

Хатуу аноджуулалт болон иттрий исэл (Y₂O₃)-ийн дулааны шүршигч бүрхүүл зэрэг процессууд нь хөнгөн цагааны суурь материалыг плазмын элэгдэл болон химийн халдлагаас хамгаалдаг нягт хамгаалалтын хаалт үүсгэдэг.

Дэвшилтэт гадаргуугийн бүрэх технологи нь дотоодын хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн материалыг бүрэн нутагшуулах гол саад бэрхшээлүүдийн нэг хэвээр байна.

6061 бүтцийн хүрээ болон 5083 плазмын хэрэглээний материалаас эхлээд өндөр цэвэршилттэй хөнгөн цагааны функциональ эд анги, дэвшилтэт гадаргуугийн бүрхүүл хүртэл хөнгөн цагаан материалын бүрэн экосистем нь чип үйлдвэрлэлийн нарийвчлалд суурилсан ертөнцийг чимээгүйхэн дэмжиж байдаг. Хагас дамжуулагч зэрэглэлийн хөнгөн цагаан хуудас, баар, хоолой болон нарийн CNC боловсруулах үйлчилгээний мэргэшсэн нийлүүлэгчийн хувьд бид 6061, 5052, 5083 болон бусад салбарын стандартын хайлшийн бүрэн багцыг санал болгодог бөгөөд хатуу цэвэр байдал, хэмжээст хүлцлийн шаардлагыг хангасан үйлдвэрлэдэг. Манай дотоод боловсруулах баг нь хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжийн бүтцийн эд анги, хэрэглээний материалыг захиалгаар үйлдвэрлэхийг дэмжиж, дэлхийн тоног төхөөрөмжийн OEM-үүдэд уян хатан, зардал багатай хангамжийн сүлжээг бий болгоход тусалдаг.