लिथोग्राफी स्कॅनर आणि एच सिस्टीम हे चिप निर्मिती क्षेत्रातील अत्यंत मौल्यवान उपकरणे मानली जातात, ज्यांची किंमत अनेकदा कोट्यवधींमध्ये असते. तरीही, या उद्योगाबाहेरील फार कमी लोकांना हे माहीत आहे की, या अचूक उपकरणांचा संरचनात्मक सांगाडा आणि अंतर्गत घटक हे जवळजवळ पूर्णपणे एका वरवर पाहता साध्या दिसणाऱ्या घटकांपासून बनवलेले असतात.सामान्य सामग्री: अॅल्युमिनियम मिश्रधातूहे वास्तुशास्त्रीय खिडक्यांच्या चौकटींसाठी वापरले जाणारे सामान्य ॲल्युमिनियम नाही, तर अत्यंत स्वच्छ आणि उच्च-सुस्पष्ट कार्य वातावरणासाठी खास तयार केलेले सेमीकंडक्टर ग्रेड ॲल्युमिनियम आहे. प्रगत सेमीकंडक्टर उत्पादन उपकरणांना ऊर्जा देणाऱ्या सहा मुख्य ॲल्युमिनियम मटेरियल सिस्टीमचा संपूर्ण तपशील खाली दिला आहे.

१. मुख्य संरचनात्मक ॲल्युमिनियम: उपकरणाची भार-वाहक चौकट

हे मिश्रधातू प्रोसेस चेंबर्स, वेफर ट्रान्सफर चेंबर्स आणि इक्विपमेंट सपोर्ट प्लॅटफॉर्म्सची पायाभूत रचना तयार करतात.

प्रमुख दर्जा 6061 ॲल्युमिनियम आहे, आणि महत्त्वाच्या संरचनात्मक भागांसाठी T651 टेम्पर हे सर्वोत्तम मानक मानले जाते.

T651 टेम्पर प्रक्रियेत, अंतर्गत अवशिष्ट ताण नाहीसा करण्यासाठी क्वेंचिंगनंतर नियंत्रित ताणण्याची प्रक्रिया वापरली जाते, ज्यामुळे उच्च-सुस्पष्टता असलेल्या सीएनसी मशीनिंगनंतरही आयामी स्थिरतेची हमी मिळते.

या अंगभूत स्थिरतेमुळे, रोबोटिक वेफर हँडलिंग आर्म्स सीलबंद व्हॅक्यूम चेंबर्सच्या आत मायक्रॉन-स्तरीय पोझिशनिंग अचूकता साध्य करू शकतात.

6061-T651 सेमीकंडक्टर-ग्रेड प्रोफाइलचे देशांतर्गत उत्पादन पूर्ण परिपक्वतेपर्यंत पोहोचले आहे, ज्यामुळे उपकरणे बनवणाऱ्या कंपन्यांना (OEMs) विश्वसनीय आणि वाढवता येण्याजोगा पुरवठा होत आहे.

२. अचूक कमी-ताण यंत्रण साहित्य: अति-सपाट आधार मंच

चेंबर लायनर्स आणि प्रिसिजन बेस प्लेट्ससाठी वापरल्या जाणाऱ्या या सामग्रीला सब-मायक्रॉन सपाटपणा आणि मशीनिंगनंतर शून्य विरूपण आवश्यक असते.

प्रमुख ग्रेडमध्ये 6061-T651 आणि MIC-6 कास्ट ॲल्युमिनियम टूलिंग प्लेटचा समावेश आहे.

एमआयसी-६ हे एक अचूक ओतकाम आहेॲल्युमिनियम प्लेटपासून बनवलेलेस्वाभाविकपणे कमी ताण असलेली सूक्ष्मसंरचना, जी कोणत्याही अतिरिक्त ताणमुक्ती उपचारांशिवाय उच्च-सहिष्णुता मशीनिंगसाठी तयार असते.

जरी देशांतर्गत पुरवठादारांनी मोठी तांत्रिक प्रगती केली असली तरी, एक्स्ट्रा लार्ज फॉरमॅट हाय प्रिसीजन प्लेट्स अजूनही अंशतः आयातीवर अवलंबून आहेत, तर देशांतर्गत पर्याय कामगिरीतील ही तफावत वेगाने भरून काढत आहेत.

३. पत्र्याचे काम आणि सहायक संरचना: उपकरणांचे बाह्य आवरण आणि वायुवीजन

या सामग्रीपासून फॅब उत्पादन लाइनवर उपकरणांची आवरणे, संरक्षक पॅनेल आणि व्हेंटिलेशन डक्टवर्क तयार केले जातात.

या विभागात ५०५२ आणि ३००३ यांचे वर्चस्व आहे. ते संतुलित गंज-प्रतिरोध, उत्कृष्ट वेल्डिंगक्षमता आणि किफायतशीर किंमत देतात, ज्यामुळे ते सेमीकंडक्टर प्रकल्पांमध्ये सर्वाधिक वापरले जाणारे गैर-महत्त्वाचे ॲल्युमिनियम साहित्य बनले आहेत.

संपूर्ण देशांतर्गत पुरवठा साखळी आधीच स्थापित असून, मानक शीट आणि ट्यूब विनिर्देशांसाठी परदेशी स्रोतांवर अवलंबून राहण्याची गरज नाही.

४. प्लाझ्मा प्रक्रियेतील उपभोग्य वस्तू: एच चेंबरचे झीज होणारे घटक

एचरमध्ये चेंबर लाइनर, फोकस रिंग आणि प्रोसेस बॅफल म्हणून बसवलेल्या या भागांना वेफर प्रक्रियेदरम्यान तीव्र प्लाझ्माच्या सततच्या माऱ्याला सामोरे जावे लागते.

येथे ५०८३ ॲल्युमिनियम मिश्रधातू ही निर्विवादपणे सर्वोत्तम सामग्री आहे.

त्यातील मॅग्नेशियमचे उच्च प्रमाण कठोर प्लाझ्मा वातावरणात उत्कृष्ट गंज-प्रतिरोधकता आणि दीर्घायुष्य प्रदान करते, ज्यामुळे ते एचिंग उपकरणांसाठी एक मुख्य उपभोग्य घटक बनते.

5083 सेमीकंडक्टर उपभोग्य वस्तूंच्या देशांतर्गत प्रतिस्थापनेला वेगाने गती मिळत आहे, आणि आता देशांतर्गत उत्पादक बहुतेक मुख्य प्रवाहातील अनुप्रयोगांमध्ये आयात केलेल्या सामग्रीच्या कामगिरीशी बरोबरी करत आहेत.

५. उच्च-शुद्धतेचे ॲल्युमिनियम: क्लीनरूममधील महत्त्वपूर्ण कार्यात्मक घटक

स्पटरिंग टार्गेट आणि गॅस शॉवर हेडसाठी वापरले जाणारे हे घटक, डिपॉझिशन आणि एचिंग प्रक्रियेदरम्यान वेफर्सच्या थेट संपर्कात येतात.

शुद्धतेचे सामान्य स्तर 4N5 (99.995%) पासून 5N (99.999%) पर्यंत असतात.

अशुद्धतेची पातळी अत्यंत कमी प्रमाणात काटेकोरपणे नियंत्रित केली पाहिजे, कारण अगदी सूक्ष्म धातूच्या दूषणामुळेही वेफरची संपूर्ण बॅच खराब होऊ शकते आणि उत्पादन घटू शकते.

हा एक उच्च-अडथळ्यांचा तंत्रज्ञान विभाग आहे, ज्यावर ऐतिहासिकदृष्ट्या जपानी आणि अमेरिकन उत्पादकांचे वर्चस्व राहिले आहे, तरीही देशांतर्गत उत्पादक पूर्ण स्थानिकीकरणाच्या दिशेने संशोधन आणि विकासामध्ये आक्रमकपणे प्रगती करत आहेत.

६. कार्यात्मक संमिश्र साहित्य: प्रगत औष्णिक व्यवस्थापन उपाययोजना

उपकरणांमध्ये उच्च-शक्तीच्या चिप्स आणि मायक्रोवेव्ह डिव्हाइस पॅकेजिंगसाठी उष्णता शमन सब्सट्रेट म्हणून वापरले जाते.

ॲल्युमिनियम सिलिकॉन कार्बाइड (Al-SiC) कंपोझिट हे या श्रेणीतील प्रमुख मटेरियल आहे.

यात हलकेपणाचा समावेश आहेकमी असलेल्या ॲल्युमिनियमचा फायदासिरॅमिकचा औष्णिक विस्तार आणि उच्च औष्णिक वाहकता, उच्च घनतेच्या सेमीकंडक्टर उपकरणांमधील दीर्घकाळच्या औष्णिक व्यवस्थापन आव्हानांचे निराकरण करते.

पृष्ठभाग अभियांत्रिकी: अंतिम कार्यक्षमता गुणक

मूळ सामग्रीची गुणवत्ता पाया घालते, परंतु पृष्ठभागावरील लेप ॲल्युमिनियम सेमीकंडक्टर घटकांचे प्रत्यक्ष सेवा आयुष्य आणि दीर्घकालीन स्थिरता निश्चित करतात.

हार्ड अॅनोडायझिंग आणि यट्रियम ऑक्साइड (Y₂O₃) थर्मल स्प्रे कोटिंग्ज यांसारख्या प्रक्रिया एक दाट संरक्षक थर तयार करतात, जो ॲल्युमिनियम सब्सट्रेट्सचे प्लाझ्मा इरोजन आणि रासायनिक हल्ल्यापासून संरक्षण करतो.

सेमीकंडक्टर उपकरणांसाठी लागणाऱ्या सामग्रीचे संपूर्ण स्वदेशी उत्पादन करण्यामधील प्रगत पृष्ठभाग लेपन तंत्रज्ञान हे एक प्रमुख अडथळा ठरत आहे.

6061 स्ट्रक्चरल फ्रेम्स आणि 5083 प्लाझ्मा कन्झ्युमेबल्सपासून ते उच्च-शुद्धतेच्या ॲल्युमिनियम फंक्शनल कंपोनंट्स आणि प्रगत सरफेस कोटिंग्सपर्यंत, संपूर्ण ॲल्युमिनियम मटेरियल इकोसिस्टम चिप मॅन्युफॅक्चरिंगच्या अचूकतेवर आधारित जगाला शांतपणे आधार देते. सेमीकंडक्टर-ग्रेड ॲल्युमिनियम शीट्स, बार्स, ट्यूब्स आणि अचूक सीएनसी मशिनिंग सेवांचे विशेष पुरवठादार म्हणून, आम्ही 6061, 5052, 5083 आणि इतर उद्योग-मानक मिश्रधातूंचा संपूर्ण पोर्टफोलिओ सादर करतो, जे स्वच्छतेच्या आणि डायमेंशनल टॉलरन्सच्या कठोर आवश्यकतांनुसार तयार केले जातात. आमची इन-हाउस मशिनिंग टीम सेमीकंडक्टर उपकरणांचे स्ट्रक्चरल पार्ट्स आणि कन्झ्युमेबल्सच्या कस्टम फॅब्रिकेशनला समर्थन देते, ज्यामुळे जागतिक उपकरण ओईएमना (OEMs) लवचिक आणि किफायतशीर पुरवठा साखळी तयार करण्यास मदत होते.