லித்தோகிராஃபி ஸ்கேனர்களும் எட்ச் சிஸ்டம்களும் சிப் தயாரிப்பின் மணிமகுடங்களாகத் திகழ்கின்றன, மேலும் அவற்றின் விலை பெரும்பாலும் பல நூறு மில்லியன் டாலர்களில் இருக்கும். ஆயினும், இந்தத் துல்லியமான கருவிகளின் கட்டமைப்புச் சட்டகமும் உள் பாகங்களும், வெளித்தோற்றத்தில் ஒரே மாதிரியான பொருளால் கிட்டத்தட்ட முழுமையாக உருவாக்கப்படுகின்றன என்பதை இந்தத் துறைக்கு வெளியே உள்ள சிலரே உணர்ந்துள்ளனர்.எளிமையான மூலப்பொருள்: அலுமினியக் கலவைஇது கட்டிட ஜன்னல் சட்டங்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் வழக்கமான அலுமினியம் அல்ல, மாறாக, மிகவும் தூய்மையான, உயர் துல்லியமான இயக்கச் சூழல்களுக்காக பிரத்யேகமாக வடிவமைக்கப்பட்ட குறைக்கடத்தித் தர அலுமினியம் ஆகும். மேம்பட்ட குறைக்கடத்தி உற்பத்தி உபகரணங்களுக்கு ஆற்றலளிக்கும் ஆறு முக்கிய அலுமினியப் பொருள் அமைப்புகளின் முழுமையான விவரம் கீழே கொடுக்கப்பட்டுள்ளது.

1. பிரதான கட்டமைப்பு அலுமினியம்: உபகரணத்தின் பளு தாங்கும் கட்டமைப்பு

இந்த உலோகக் கலவைகள், செயல்முறை அறைகள், வேஃபர் பரிமாற்ற அறைகள் மற்றும் உபகரண ஆதரவுத் தளங்களின் அடித்தளக் கட்டமைப்பை உருவாக்குகின்றன.

6061 அலுமினியம் முதன்மைத் தரமாக விளங்குகிறது, மேலும் T651 பதப்படுத்தல் முக்கிய கட்டமைப்புப் பாகங்களுக்கு ஒரு சிறந்த தரநிலையாகச் செயல்படுகிறது.

T651 பதப்படுத்துதல் செயல்முறையானது, உள்ளக எஞ்சிய அழுத்தத்தை நீக்குவதற்காக, தணித்தலுக்குப் பிந்தைய கட்டுப்படுத்தப்பட்ட நீட்சியைப் பயன்படுத்துகிறது. இது உயர்-துல்லியமான CNC எந்திர வேலைக்குப் பிறகும் பரிமாண நிலைத்தன்மைக்கு உத்தரவாதம் அளிக்கிறது.

இந்த உள்ளார்ந்த நிலைத்தன்மை, மூடப்பட்ட வெற்றிட அறைகளுக்குள் ரோபோட்டிக் வேஃபர் கையாளும் கரங்கள் மைக்ரான் அளவிலான நிலைப்படுத்தல் துல்லியத்தை அடைய முடியும் என்பதை உறுதி செய்கிறது.

6061-T651 குறைக்கடத்தித் தர சுயவிவரங்களின் உள்நாட்டு உற்பத்தி முழு முதிர்ச்சியை எட்டியுள்ளது, இது உபகரண OEM-களுக்கு நம்பகமான, அளவிடக்கூடிய விநியோகத்தை வழங்குகிறது.

2. துல்லியமான குறைந்த அழுத்த எந்திரப் பொருட்கள்: அதி தட்டையான அடித்தள மேடைகள்

சேம்பர் லைனர்கள் மற்றும் துல்லியமான பேஸ் பிளேட்டுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் இந்த மூலப்பொருட்களுக்கு, சப்-மைக்ரான் தட்டையான தன்மையும், இயந்திர வேலைக்குப் பிந்தைய உருக்குலைவு இல்லாத நிலையும் அவசியமாகும்.

முதன்மை தரங்களில் 6061-T651 மற்றும் MIC-6 வார்ப்பு அலுமினிய கருவித் தகடுகள் அடங்கும்.

MIC-6 என்பது ஒரு துல்லியமாக வார்க்கப்பட்டஅலுமினியத் தகடு தயாரிக்கப்பட்டதுஇயல்பாகவே குறைந்த அழுத்தமுள்ள நுண்கட்டமைப்பு, கூடுதல் அழுத்தத் தணிப்புச் சிகிச்சை ஏதுமின்றி, உயர்-சகிப்புத்தன்மை கொண்ட எந்திரவேலைக்குத் தயாராக வழங்கப்படுகிறது.

உள்நாட்டு வழங்குநர்கள் பெரும் தொழில்நுட்ப முன்னேற்றம் அடைந்திருந்தாலும், மிகப் பெரிய அளவிலான உயர் துல்லியத் தகடுகள் இன்னும் பகுதியளவு இறக்குமதியையே சார்ந்துள்ளன, மேலும் உள்நாட்டு மாற்று வழிகள் செயல்திறன் இடைவெளியை வேகமாக குறைத்து வருகின்றன.

3. தகடு மற்றும் துணைக்கட்டமைப்புகள்: உபகரண உறை மற்றும் காற்றோட்டம்

இந்தப் பொருட்கள், உற்பத்தி வழித்தடங்கள் முழுவதும் உபகரண உறைகள், பாதுகாப்புப் பலகைகள் மற்றும் காற்றோட்டக் குழாய்களை உருவாக்குகின்றன.

5052 மற்றும் 3003 ஆகியவை இந்தப் பிரிவில் ஆதிக்கம் செலுத்துகின்றன. அவை சீரான அரிப்புத் தடுப்புத்திறன், சிறந்த பற்றவைப்புத் திறன் மற்றும் குறைந்த விலை ஆகியவற்றை வழங்குவதால், குறைக்கடத்தி ஆலைகளில் மிகவும் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படும் முக்கியமற்ற அலுமினியப் பொருட்களாகத் திகழ்கின்றன.

தரமான தகடு மற்றும் குழாய் விவரக்குறிப்புகளுக்காக வெளிநாட்டு மூலங்களைச் சார்ந்திருக்காமல், முழுமையான உள்நாட்டு விநியோகச் சங்கிலிகள் ஏற்கனவே நிறுவப்பட்டுள்ளன.

4. பிளாஸ்மா செயல்முறை நுகர்பொருட்கள்: அரிப்பு அறை தேய்மானக் கூறுகள்

செதுக்கு இயந்திரங்களுக்குள் அறை உறைகள், குவிய வளையங்கள் மற்றும் செயல்முறைத் தடுப்புகளாகப் பொருத்தப்படும் இந்தப் பாகங்கள், சிலிக்கான் தகடு செயலாக்கத்தின் போது தீவிரமான பிளாஸ்மாவின் தொடர்ச்சியான தாக்குதலை எதிர்கொள்கின்றன.

இங்கு 5083 அலுமினியக் கலவையே மறுக்க முடியாத சிறந்த தேர்வாக விளங்குகிறது.

இதில் உள்ள அதிக மெக்னீசியம் உள்ளடக்கம், கடுமையான பிளாஸ்மா சூழல்களில் சிறப்பான அரிப்புத் தடுப்பாற்றலையும் நீடித்த சேவைக்காலத்தையும் வழங்குவதால், இது பொறித்தல் கருவிகளுக்கான பிரதான நுகர்பொருளாகத் திகழ்கிறது.

5083 குறைக்கடத்தி நுகர்பொருட்களுக்கான உள்நாட்டு மாற்றுப் பயன்பாடு அதிவேகமாக அதிகரித்து வருகிறது, மேலும் பெரும்பாலான முக்கியப் பயன்பாடுகளில் உள்நாட்டு உற்பத்தியாளர்கள் இப்போது இறக்குமதி செய்யப்பட்ட பொருட்களின் செயல்திறனுக்கு இணையாக உள்ளனர்.

5. உயர் தூய்மை அலுமினியம்: தூய்மை அறையின் முக்கிய செயல்பாட்டுக் கூறுகள்

ஸ்பட்டரிங் இலக்குகள் மற்றும் வாயு ஷவர் ஹெட்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் இந்தக் கூறுகள், படிதல் மற்றும் அரித்தல் செயல்முறைகளின் போது வேஃபர்களுடன் நேரடியாகத் தொடர்பு கொள்கின்றன.

வழக்கமான தூய்மை நிலைகள் 4N5 (99.995%) முதல் 5N (99.999%) வரை இருக்கும்.

மாசுகளின் அளவு மிகக் குறைந்த அளவிலேயே கண்டிப்பாகக் கட்டுப்படுத்தப்பட வேண்டும், ஏனெனில் மிகச் சிறிய அளவிலான உலோகக் கலப்படம்கூட முழு வேஃபர் தொகுதிகளையும் பாழாக்கி, உற்பத்தி அளவைக் குறைத்துவிடும்.

வரலாற்று ரீதியாக ஜப்பானிய மற்றும் அமெரிக்க உற்பத்தியாளர்களின் ஆதிக்கத்தில் இருந்த, அதிகத் தடைகள் கொண்ட ஒரு தொழில்நுட்பப் பிரிவாக இது நீடிக்கிறது; இருப்பினும், உள்நாட்டு உற்பத்தியாளர்கள் முழுமையான உள்ளூர்மயமாக்கலை நோக்கித் தீவிரமான ஆராய்ச்சி மற்றும் மேம்பாட்டுப் பணிகளை மேற்கொண்டு வருகின்றனர்.

6. செயல்பாட்டு கலப்புப் பொருட்கள்: மேம்பட்ட வெப்ப மேலாண்மைத் தீர்வுகள்

உயர் சக்தி சில்லுகள் மற்றும் உபகரணங்களுக்குள் உள்ள நுண்ணலை சாதன உறைகளுக்கான வெப்பச் சிதறல் அடி மூலக்கூறுகளாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.

இந்த வகையில் அலுமினியம் சிலிக்கான் கார்பைடு (Al-SiC) கலவைப் பொருள் முன்னணி வகிக்கிறது.

இது இலகுரகத்தை ஒருங்கிணைக்கிறதுகுறைந்த அலுமினியத்தின் நன்மைபீங்கானின் வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் உயர் வெப்பக் கடத்துத்திறன், அதிக அடர்த்தி கொண்ட குறைக்கடத்தி உபகரணங்களில் நீண்டகாலமாக இருந்துவரும் வெப்ப மேலாண்மை சவால்களுக்குத் தீர்வு காண்கின்றன.

மேற்பரப்புப் பொறியியல்: இறுதி செயல்திறன் பெருக்கி

மூலப்பொருளின் தரம் அடித்தளத்தை அமைக்கிறது, ஆனால் மேற்பரப்புப் பூச்சுகளே அலுமினிய குறைக்கடத்தி பாகங்களின் உண்மையான சேவை ஆயுளையும் நீண்ட கால நிலைத்தன்மையையும் தீர்மானிக்கின்றன.

கடின அனோடைசிங் மற்றும் இட்ரியம் ஆக்சைடு (Y₂O₃) வெப்பத் தெளிப்புப் பூச்சுகள் போன்ற செயல்முறைகள், அலுமினியத் தளங்களை பிளாஸ்மா அரிப்பு மற்றும் இரசாயனத் தாக்குதலில் இருந்து பாதுகாக்கும் ஒரு அடர்த்தியான பாதுகாப்புத் தடையை உருவாக்குகின்றன.

முழுமையான உள்நாட்டு குறைக்கடத்தி உபகரணப் பொருட்களின் உள்ளூர்மயமாக்கலில், மேம்பட்ட மேற்பரப்புப் பூச்சுத் தொழில்நுட்பம் முக்கியத் தடைகளில் ஒன்றாகத் தொடர்கிறது.

6061 கட்டமைப்புச் சட்டங்கள் மற்றும் 5083 பிளாஸ்மா நுகர்பொருட்கள் முதல் உயர்-தூய்மை அலுமினிய செயல்பாட்டுக் கூறுகள் மற்றும் மேம்பட்ட மேற்பரப்புப் பூச்சுகள் வரை, முழுமையான அலுமினியப் பொருள் சூழலமைப்பு, துல்லியத்தை அடிப்படையாகக் கொண்ட சிப் உற்பத்தி உலகிற்கு அமைதியாக அடித்தளமாக விளங்குகிறது. குறைக்கடத்தித் தரத்திலான அலுமினியத் தகடுகள், கம்பிகள், குழாய்கள் மற்றும் துல்லியமான CNC எந்திரச் சேவைகளை வழங்கும் ஒரு சிறப்பு வாய்ந்த வழங்குநராக, நாங்கள் 6061, 5052, 5083 மற்றும் பிற தொழில்துறை-தரநிலை கலப்புலோகங்களின் முழுமையான தொகுப்பை வழங்குகிறோம்; இவை கடுமையான தூய்மை மற்றும் பரிமாண சகிப்புத்தன்மைத் தேவைகளுக்கு ஏற்பத் தயாரிக்கப்படுகின்றன. எங்கள் உள்ளக எந்திரக் குழு, குறைக்கடத்தி உபகரணங்களின் கட்டமைப்புப் பாகங்கள் மற்றும் நுகர்பொருட்களின் தனிப்பயன் உருவாக்கத்திற்கு ஆதரவளித்து, உலகளாவிய உபகரண OEM-கள் மீள்திறன் மிக்க, செலவு குறைந்த விநியோகச் சங்கிலிகளை உருவாக்க உதவுகிறது.