Литографиялық сканерлер мен ою жүйелері чип жасаудың ең үздіктері болып табылады, олардың бағасы көбінесе жүздеген миллион долларды құрайды. Дегенмен, саладан тыс жерде бұл дәлдік құралдарының құрылымдық қаңқасы мен ішкі компоненттері толығымен дерлік бір нәрседен жасалғанын білетіндер аз.қарапайым материал: алюминий қорытпасыБұл сәулеттік терезе жақтауларында қолданылатын стандартты алюминий емес, ультра таза, жоғары дәлдіктегі жұмыс орталары үшін арнайы жасалған жартылай өткізгіш сапалы алюминий. Төменде озық жартылай өткізгіш өндіріс жабдықтарын қуаттандыратын алты негізгі алюминий материалдық жүйелерінің толық сипаттамасы берілген.

1. Негізгі құрылымдық алюминий: жабдықтың жүк көтергіш қаңқасы

Бұл қорытпалар технологиялық камералардың, пластиналарды тасымалдау камераларының және жабдықты тіреу платформаларының негізгі құрылымын құрайды.

Негізгі маркасы - 6061 алюминий, ал T651 температурасы маңызды құрылымдық бөлшектер үшін алтын стандарт болып табылады.

T651 температурасы ішкі қалдық кернеуді жою үшін бақыланатын сөндіруден кейінгі созылуды қолданады, бұл жоғары дәлдіктегі CNC өңдеуден кейін де өлшемдік тұрақтылықты қамтамасыз етеді.

Бұл тұрақтылық роботталған пластиналарды өңдеу қолдарының тығыздалған вакуумдық камералардың ішінде микрон деңгейіндегі позициялау дәлдігіне қол жеткізуін қамтамасыз етеді.

6061-T651 жартылай өткізгіш профильдерінің отандық өндірісі толық жетілуге ​​жетті, бұл жабдық өндірушілері үшін сенімді, масштабталатын жеткізілімді қамтамасыз етеді.

2. Дәлдік төмен кернеулі өңдеу материалдары: ультра жалпақ негіз платформалары

Камера төсемдері мен дәлдіктегі негізгі тақталар үшін қолданылатын бұл материалдар субмикронды тегістікті және өңдеуден кейінгі деформацияның нөлдік деңгейін талап етеді.

Бастапқы сорттарға 6061-T651 және MIC-6 құйылған алюминий аспаптық тақтайшалары жатады.

MIC-6 - дәл құйылғаналюминий пластинасы жасалғанқосымша кернеуді жеңілдетусіз жоғары төзімділікпен өңдеуге дайын жеткізілетін, өзіндік төмен кернеулі микроқұрылым.

Отандық жеткізушілер айтарлықтай технологиялық жетістіктерге жеткенімен, өте үлкен форматты жоғары дәлдіктегі пластиналар әлі де ішінара импортқа тәуелді, ал отандық баламалар өнімділік алшақтығын тез арада жояды.

3. Металл қаңылтыр және көмекші құрылымдар: жабдық конверті және желдету

Бұл материалдар фабрика өндіріс желілері арқылы жабдық қоршауларын, қорғаныс панельдерін және желдету құбырларын құрайды.

Бұл сегментте 5052 және 3003 басым. Олар коррозияға төзімділіктің теңгерімділігін, тамаша дәнекерлеуді және тиімді бағаны ұсынады, бұл оларды жартылай өткізгіш қондырғыларда ең кең таралған маңызды емес алюминий материалдарына айналдырады.

Толық отандық жеткізу тізбектері қазірдің өзінде бар, стандартты парақтар мен түтіктердің сипаттамалары бойынша шетелдік көздерге тәуелділік жоқ.

4. Плазмалық өңдеудің шығын материалдары: өңдеу камерасының тозу компоненттері

Ою машиналарының ішіне камера төсемдері, фокустау сақиналары және өңдеу бөгеттері ретінде орнатылған бұл бөлшектер пластиналарды өңдеу кезінде агрессивті плазманың үздіксіз бомбалануына ұшырайды.

5083 алюминий қорытпасы мұнда даусыз таңдау материалы болып табылады.

Оның жоғары магний құрамы қатал плазмалық ортада коррозияға төзімділікті және қызмет ету мерзімін ұзартуды қамтамасыз етеді, бұл оны өңдеу жабдықтары үшін негізгі тұтыну материалына айналдырады.

5083 жартылай өткізгіш материалдарын отандық нарықта ауыстыру жылдам қарқынмен жүріп жатыр, қазіргі уақытта отандық өндірушілер импортталған материалдардың өнімділігін көптеген негізгі қолданбаларда салыстыра бастады.

5. Жоғары тазалықтағы алюминий: Таза бөлменің маңызды функционалды компоненттері

Нысаналар мен газды душ бастарын шашырату үшін қолданылатын бұл компоненттер тұндыру және өңдеу процестері кезінде пластиналармен тікелей жанасады.

Әдеттегі тазалық деңгейлері 4N5 (99,995%) мен 5N (99,999%) аралығында болады.

Қоспа деңгейлері іздік деңгейде қатаң бақылануы керек, себебі тіпті аздаған металл ластануы да пластина партияларын толығымен бұзып, өнімділікті төмендетуі мүмкін.

Бұл жапондық және американдық өндірушілер тарихи тұрғыдан басым болған жоғары кедергілі технологиялық сегмент болып қала береді, дегенмен отандық өндірушілер толық локализациялауға қарай қарқынды ғылыми-зерттеу және тәжірибелік-конструкторлық жұмыстар жүргізуде.

6. Функционалды композиттік материалдар: жылуды басқарудың озық шешімдері

Жабдықтың ішіндегі жоғары қуатты чиптер мен микротолқынды құрылғыларды қаптау үшін жылу таратушы субстрат ретінде қолданылады.

Алюминий кремний карбиді (Al-SiC) композиті осы санаттағы жетекші материал болып табылады.

Ол жеңіл салмақты біріктіредіалюминийдің төмен тиімділігімен артықшылығыкерамиканың жылу кеңеюі және жоғары жылу өткізгіштігі, жоғары тығыздықтағы жартылай өткізгіш жабдықтардағы ұзақ уақыт бойы термиялық басқару мәселелерін шешу.

Беттік инженерия: соңғы өнімділік көбейткіші

Негізгі материалдың сапасы негізді белгілейді, бірақ беткі жабындар алюминий жартылай өткізгіш компоненттерінің нақты қызмет ету мерзімін және ұзақ мерзімді тұрақтылығын анықтайды.

Қатты анодтау және иттрий оксиді (Y₂O₃) термиялық бүріккіш жабындар сияқты процестер алюминий негіздерін плазма эрозиясынан және химиялық шабуылдан қорғайтын тығыз қорғаныс тосқауылын жасайды.

Жетілдірілген беттік жабын технологиясы отандық жартылай өткізгіш жабдықтардың материалдарын толықтай локализациялаудағы негізгі кедергілердің бірі болып қала береді.

6061 құрылымдық жақтаулар мен 5083 плазмалық шығын материалдарынан бастап жоғары тазалықтағы алюминий функционалды компоненттері мен озық беттік жабындарға дейін, толық алюминий материалдық экожүйесі чип өндірісінің дәлдікке негізделген әлемін тыныш қолдайды. Жартылай өткізгіштік алюминий парақтарының, шыбықтарының, түтіктерінің және дәл CNC өңдеу қызметтерінің мамандандырылған жеткізушісі ретінде біз қатаң тазалық пен өлшемдік төзімділік талаптарына сәйкес жасалған 6061, 5052, 5083 және басқа да салалық стандартты қорытпалардың толық портфолиосын ұсынамыз. Біздің ішкі өңдеу тобымыз жартылай өткізгіш жабдықтардың құрылымдық бөлшектері мен шығын материалдарын тапсырыс бойынша дайындауды қолдайды, бұл әлемдік жабдық өндірушілеріне берік, үнемді жеткізу тізбектерін құруға көмектеседі.