6061-T6 એ સેમિકન્ડક્ટર વેક્યુમ ચેમ્બર બોડીઝ, બેઝ પ્લેટ્સ અને સ્ટ્રક્ચરલ ફ્રેમ્સ માટે ડિફોલ્ટ એલ્યુમિનિયમ એલોય છે. તે 290~310 MPa ની ગરમીની સારવાર કરી શકાય તેવી શક્તિ અને તાણ રાહત પછી અનુમાનિત પરિમાણીય વર્તન સાથે જોડાયેલું છે. આ માર્ગદર્શિકા તેની રાસાયણિક રચના, યાંત્રિક અને ભૌતિક ગુણધર્મો, ચેમ્બર બિલ્ડ નક્કી કરતા ચાર ગુણધર્મો અને તેનો ઉપયોગ ક્યાં થાય છે તે સાધનો દર્શાવે છે, જેથી એલોયને તમારા પોતાના સ્પષ્ટીકરણ સામે ચકાસી શકાય.

શા માટે 6061-T6 ડિફોલ્ટ ચેમ્બર એલોય બન્યું

૬૦૬૧ એ વરસાદ-સખ્તાઇ છેએલ્યુમિનિયમ-મેગ્નેશિયમ-સિલિકોન એલોય. તેની તાકાત T6 ટ્રીટમેન્ટ દરમિયાન બનેલા Mg₂Si અવક્ષેપમાંથી આવે છે, સોલ્યુશન હીટ ટ્રીટમેન્ટ પછી કૃત્રિમ વૃદ્ધત્વ દ્વારા કોલ્ડ વર્કથી નહીં. આ તફાવત વ્યાપારી રીતે મહત્વપૂર્ણ છે: તાકાત મિલની હીટ ટ્રીટમેન્ટ દ્વારા સેટ કરવામાં આવે છે, તેથી તમે તેને મશીનમાં નાખવાને બદલે તાકાત ખરીદો.

ત્રણ વ્યવહારુ ગુણધર્મો 6061 ને સ્પષ્ટીકરણ શીટની ટોચ પર રાખે છે:

• મશીનરી ક્ષમતા. તે ઉચ્ચ દૂર કરવાના દરે મુક્તપણે કાપે છે, જે ચેમ્બર બોડી માટે જરૂરી છે. 200 મીમી પ્લેટને 60 મીમી દિવાલ સુધી નીચે ખેંચવી એ એક રફિંગ ઓપરેશન છે, ફિનિશિંગ નહીં.
• ભારે પ્લેટમાં ઉપલબ્ધતા. ચેમ્બર બોડી ઘણીવાર એક જ મોનોલિથિક બ્લોકમાંથી મશિન કરવામાં આવે છે, અને 6061 મોટી જાડાઈમાં સ્ટોક કરવામાં આવે છે - 1.5-ટન બોડીને કાસ્ટિંગ અથવા વેલ્ડમેન્ટની જરૂર નથી.
• વેલ્ડેબિલિટી. 2024 અથવા 7075 થી વિપરીત, 6061 વેલ્ડ ક્રેકીંગ વગર, જે ફ્લેંજ, બોસ અને કૂલિંગ-ચેનલ ઇન્સર્ટ માટે મહત્વપૂર્ણ છે.

6061-T6 રાસાયણિક રચના

તાંબાની શ્રેણી પર ધ્યાન આપો. તે ઇરાદાપૂર્વકનો મિશ્રધાતુ ઉમેરો છે, અનેતે સૌથી સામાન્ય પણ છેસેમિકન્ડક્ટર ગ્રાહક પ્રક્રિયા-ખુલ્લા સપાટી માટે 6061 ને કેમ નકારે છે તે નીચે જુઓ.

6061-T6 યાંત્રિક અને ભૌતિક ગુણધર્મો

ચેમ્બર ડિઝાઇન માટે, 152 W/(m·K) ની આસપાસ થર્મલ વાહકતા એ સંખ્યા છે જે મોટાભાગના નિર્ણયો લે છે: સક્રિય રીતે ઠંડુ કરાયેલા શરીર અને પેડેસ્ટલ બેકિંગ પ્લેટો માટે 6061 ને સક્ષમ બનાવવા માટે પૂરતી ઊંચી, એટલી ઓછી કે મોટા શરીર પર થર્મલ ગ્રેડિયન્ટ્સનું મોડેલિંગ કરવાનું બાકી રહે.

ચાર મિલકતો જે ખરેખર ચેમ્બરનું નિર્માણ નક્કી કરે છે

1. મશીનિંગ પછી પરિમાણીય સ્થિરતા

રોલ પ્લેટમાં રહેલો તણાવ સામગ્રી દૂર થતાં જ મુક્ત થાય છે, તેથી એક જ પાસમાં રફ-મશીન કરેલ અને પછી સમાપ્ત થયેલ શરીર ખસેડશે. પ્રમાણભૂત શમન T651 છે: દ્રાવણ ગરમીની સારવાર, ખેંચાણ દ્વારા તણાવ-મુક્તિ, પછી કૃત્રિમ રીતે વૃદ્ધ. T651 માં મૂળભૂત રીતે T6 જેવા જ યાંત્રિક ગુણધર્મો છે પરંતુ ભારે સ્ટોક દૂર કર્યા પછી પરિમાણીય આગાહી ઘણી સારી છે.

કોઈપણ બોડી માટે જ્યાં ફિનિશ્ડ દિવાલની જાડાઈ શરૂઆતની પ્લેટની જાડાઈના અડધા કરતા ઓછી હોય, T651 નો ઉલ્લેખ કરો અને રફિંગ અને ફિનિશિંગ વચ્ચે તણાવ-રાહત અથવા અર્ધ-ફિનિશ પાસની યોજના બનાવો.

2. વેક્યુમ સુસંગતતા અને સપાટીની સારવાર

એલ્યુમિનિયમ પોતે એક વાજબી શૂન્યાવકાશ સામગ્રી છે, ખુલ્લા એલ્યુમિનિયમમાં પ્રમાણમાં ઓછું આંતરિક આઉટગેસિંગ હોય છે, અને 6061 લાંબા સમયથી અલ્ટ્રા-હાઈ વેક્યુમ ચેમ્બર બાંધકામમાં ઉપયોગમાં લેવાય છે. જોકે, એનોડાઇઝિંગ તમારી વિરુદ્ધ કામ કરે છે. છિદ્રાળુ એનોડિક ઓક્સાઇડ સ્તર પાણીની વરાળને ફસાવે છે અને ચેમ્બરમાં તેના પ્રકાશનમાં નોંધપાત્ર વધારો કરે છે.

વેક્યુમ-સાઇડ સપાટીઓ: ખુલ્લી, રાસાયણિક રીતે સાફ અને નિષ્ક્રિય એલ્યુમિનિયમ. પ્રક્રિયા વોલ્યુમનો સામનો કરતી સપાટીઓને એનોડાઇઝ કરશો નહીં.

વાતાવરણ-બાજુ અને શૂન્યાવકાશ સિવાયની સપાટીઓ: એનોડાઇઝિંગ સારું છે, અને ઘસારો અને હેન્ડલિંગ સુરક્ષા માટે ઉપયોગી છે.

જો કોટિંગ વેક્યુમ-સાઇડ સપાટી પર ફરજિયાત હોય: તો તેને ચેમ્બર કન્ડીશનીંગ નિર્ણય તરીકે ગણો અને વધારાના પંપ-ડાઉન સમયનું બજેટ બનાવો.

૩. પ્રક્રિયા-ખુલ્લા સપાટીઓ પર તાંબાનું પ્રમાણ

6061 માં 0.15-0.40% તાંબુ હોય છે, અને મોટાભાગના સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયા વાતાવરણમાં તાંબુ એક નિયંત્રિત દૂષક છે. જ્યાં સપાટી પ્રક્રિયા વોલ્યુમનો સામનો કરે છે અને ધાતુ-આયન દૂષણ એક નિયંત્રિત પરિમાણ છે, ત્યાં સામાન્ય પસંદગી ઓછી-તાંબુ 5000 એલોય પર બદલાય છે - નીચે લિંક કરેલ 5083 અને 5052 માર્ગદર્શિકાઓ જુઓ. જ્યાં સપાટી વાતાવરણ બાજુ પર હોય છે, અથવા પ્રક્રિયા માર્ગમાં નથી,6061′s તાંબાનું પ્રમાણ સામાન્ય રીતેઆ મુદ્દો નથી. આ એક સપાટી-પ્રદર્શન પ્રશ્ન છે, જેનો જવાબ એલોય બાય એલોયને બદલે આંશિક રીતે આપવામાં આવ્યો છે.

૪. વેલ્ડીંગ, અને તમને ખરેખર મળતી તાકાત

6061 4043 અથવા 5356 ફિલર સાથે TIG અથવા MIG દ્વારા સારી રીતે વેલ્ડ કરે છે. ગરમીથી પ્રભાવિત ઝોન પછી તેના મોટાભાગના વરસાદના સખ્તાઇ ગુમાવે છે અને લગભગ T4 સામગ્રી જેવું વર્તન કરે છે, લગભગ 40% ની તાકાત ગુમાવે છે. જ્યાં સુધી એસેમ્બલીને ફરીથી સોલ્યુશન ટ્રીટ કરવામાં ન આવે અને વૃદ્ધ ન કરવામાં આવે (મોટા ચેમ્બર બોડી પર ભાગ્યે જ વ્યવહારુ), એલ્યુમિનિયમ ડિઝાઇન મેન્યુઅલ દ્વારા ભલામણ કરાયેલ એઝ-વેલ્ડેડ ડિઝાઇન ભથ્થું વેલ્ડની બાજુમાં 165 MPa (24 ksi) છે, 240 MPa નહીં.

તેથી, પૂર્ણ-શક્તિ 6061 એ એસેમ્બલીના મશીનવાળા ભાગોમાં શામેલ છે, અને વેલ્ડેડ સુવિધાઓ 165 MPa ની સામે માપવામાં આવવી જોઈએ. જ્યાં વેલ્ડેડ જોઈન્ટ પ્રાથમિક ભાર વહન કરે છે, ત્યાં ધ્યાનમાં લો કે શું તેને બોલ્ટેડ, O-રિંગ-સીલ્ડ અથવા ઇલેક્ટ્રોન-બીમ-વેલ્ડેડ ગોઠવણી દ્વારા બદલી શકાય છે.

સેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાં 6061-T6 નો ઉપયોગ ક્યાં થાય છે?

વેક્યુમ ચેમ્બર બોડીઝ, ઢાંકણા અને છેડાના કવર

બેઝ પ્લેટ્સ, માઉન્ટિંગ પ્લેટ્સ અને ટૂલિંગ પ્લેટ્સ જેને સપાટતા અને કઠોરતાની જરૂર હોય છે.

લોડ-લોક અને ટ્રાન્સફર-ચેમ્બર માળખાકીય ઘટકો

ગેસ ડિલિવરી મેનીફોલ્ડ્સ, વાલ્વ બ્લોક્સ અને MFC માઉન્ટિંગ બોડીઝ

ચેમ્બર ફ્રેમ્સ, કૌંસ અને સબ-ફેબ સ્ટ્રક્ચરલ વર્ક

બેકિંગ પ્લેટ્સ અને નોન-પ્રોસેસ-એક્સપોઝ્ડ ઇલેક્ટ્રોડ હાર્ડવેર

અલ્ટ્રા-હાઈ વેક્યુમ ચેમ્બર ઘટકો, જ્યાં એકદમ (અનએનોડાઇઝ્ડ) સામગ્રીનો ઉલ્લેખ કરવામાં આવ્યો છે

અવતરણ મેળવો

ડ્રોઇંગ અથવા 3D મોડેલ, એલોય અને ટેમ્પર અને તમે જે પ્લેટની જાડાઈનો વિચાર કરી રહ્યા છો તે મોકલો. MIANDI METAL GROUP સ્ટોકમાંથી 6061-T6 અને T651 સપ્લાય કરે છે અને સિંગલ લાઇન આઇટમ તરીકે ફર્સ્ટ ઓપરેશન રફ મશીનિંગ સાથે સામગ્રીને ક્વોટ કરે છે.