6061-T6 ለሴሚኮንዳክተር የቫክዩም ክፍል አካላት፣ ለመሠረት ሰሌዳዎች እና ለመዋቅራዊ ክፈፎች ነባሪ የአሉሚኒየም ቅይጥ ነው። የሙቀት ሊታከም የሚችል ጥንካሬ 290~310 MPa ከፍተኛ የመሸከም ጥንካሬን ከጥሩ የማሽን አቅም እና ከጭንቀት እፎይታ በኋላ ሊገመት የሚችል የልኬት ባህሪን ያጣምራል። ይህ መመሪያ የኬሚካል ስብስቡን፣ ሜካኒካል እና አካላዊ ባህሪያትን፣ የክፍል ግንባታን የሚወስኑትን አራት ባህሪያት እና ጥቅም ላይ የሚውልባቸውን መሳሪያዎች ያስቀምጣል፣ ስለዚህ ቅይጡ ከራስዎ ዝርዝር መግለጫ ጋር ሊረጋገጥ ይችላል።

ለምን 6061-T6 ነባሪው የቻምበር ቅይጥ ሆነ

6061 የዝናብ-ጠንካራነት ነውየአሉሚኒየም-ማግኒዚየም-ሲሊከን ቅይጥጥንካሬው የሚመጣው በT6 ሕክምና ወቅት ከተፈጠሩት የMg₂Si ፈንጂዎች ነው፣ የመፍትሄ ሙቀት ሕክምና ከዚያም ከቀዝቃዛ ሥራ ሳይሆን ከአርቲፊሻል እርጅና ነው። ይህ ልዩነት ለንግድ አስፈላጊ ነው፡ ጥንካሬው የሚወሰነው በወፍጮው የሙቀት ሕክምና ነው፣ ስለዚህ ጥንካሬውን ከማሽን ይልቅ ይግዙ።

ሶስት ተግባራዊ ባህሪያት 6061ን በመግለጫ ወረቀቱ አናት ላይ ያስቀምጣሉ፡

• የማሽን አቅም። በከፍተኛ የማስወገጃ ፍጥነት በነፃነት ይቆርጣል፣ ይህም የክፍል አካል የሚፈልገው ነው። የ200 ሚሜ ሳህን ወደ 60 ሚሜ ግድግዳ ዝቅ ማድረግ ሻካራ አሠራር ነው፣ ማጠናቀቂያ አይደለም።
• በከባድ ሳህን ውስጥ ይገኛል። የቻምበር ቦዲዎች ብዙውን ጊዜ ከአንድ ሞኖሊቲክ ብሎክ የተሠሩ ሲሆኑ፣ 6061 ደግሞ በትላልቅ ውፍረት የተከማቸ ነው - 1.5 ቶን የሚመዝን አካል መጣል ወይም መገጣጠም አያስፈልገውም።
• የመገጣጠም አቅም። ከ2024 ወይም 7075 በተለየ መልኩ፣ 6061 ያለ ስንጥቅ ይገጣጠማል፣ ይህም ለፍላንጅስ፣ ለቦስ እና ለማቀዝቀዣ ቻናል ማስገቢያዎች አስፈላጊ ነው።

6061-T6 የኬሚካል ቅንብር

የመዳብ ክልሉን ልብ ይበሉ። ሆን ተብሎ የተቀነባበረ ቅይጥ ነው፣ እናእንዲሁም በጣም የተለመደው አንድ ነውየሴሚኮንዳክተር ደንበኛ ለሂደት የተጋለጠ ወለል 6061 ን ውድቅ ያደረገበት ምክንያት ከዚህ በታች ይመልከቱ።

6061-T6 ሜካኒካል እና ፊዚካል ባህሪያት

ለክፍል ዲዛይን፣ በ152 W/(m·K) አካባቢ የሙቀት አማቂ ኃይል (thermal conductivity) አብዛኛዎቹን ውሳኔዎች የሚመራው ቁጥር ነው፡- 6061ን በንቃት ለሚቀዘቅዙ አካላት እና ለእግረኛ መቀመጫ ሰሌዳዎች ተግባራዊ ለማድረግ የሚያስችል ከፍተኛ መጠን ያለው ሲሆን፣ በትልቅ አካል ላይ ያሉት የሙቀት ቅልጥፍናዎች አሁንም ሞዴል መሆን አለባቸው።

የክፍል ግንባታን የሚወስኑት አራቱ ንብረቶች

1. ከማሽን በኋላ የመለኪያ መረጋጋት

በተጠቀለለ ሳህን ውስጥ ያለው ቀሪ ውጥረት ቁሱ ሲወገድ ይለቀቃል፣ ስለዚህ አንድ አካል በአንድ ማለፊያ ውስጥ ሻካራ በሆነ መንገድ ተጭኖ ከዚያም ተጠናቅቋል ይንቀሳቀሳል። መደበኛው ቅነሳ T651 ነው፡ መፍትሄው በሙቀት ታክሞ፣ በመለጠጥ ውጥረትን ያስታግሳል፣ ከዚያም በሰው ሰራሽ ያረጀ። T651 በመሠረቱ ከ T6 ጋር ተመሳሳይ የሆነ ሜካኒካል ባህሪያት አሉት ነገር ግን ከባድ ክምችት ከተወገዱ በኋላ በጣም የተሻለ ልኬት ያለው ትንበያ አለው።

የተጠናቀቀው የግድግዳ ውፍረት ከመነሻ ሰሌዳው ውፍረት ከግማሽ በታች ለሆነ ማንኛውም አካል፣ T651 ን ይግለጹ እና በሻካራነት እና በማጠናቀቂያ መካከል የጭንቀት እፎይታ ወይም ከፊል-ማጠናቀቂያ ማለፊያ ያቅዱ።

2. የቫኩም ተኳሃኝነት እና የገጽታ ህክምና

አልሙኒየም ራሱ ተመጣጣኝ የቫክዩም ቁሳቁስ ነው፣ ባዶ አልሙኒየም በአንጻራዊ ሁኔታ ዝቅተኛ ውስጣዊ ጋዝ ማስወጣት አለው፣ እና 6061 ለረጅም ጊዜ እጅግ በጣም ከፍተኛ በሆነ የቫክዩም ክፍል ግንባታ ውስጥ ጥቅም ላይ ውሏል። ይሁን እንጂ አኖዳይዚንግ እርስዎን ይቃወማል። ቀዳዳው የአኖዲክ ኦክሳይድ ንብርብር የውሃ ትነት ይይዛል እና ወደ ክፍሉ ውስጥ መልቀቁን በከፍተኛ ሁኔታ ይጨምራል።

የቫክዩም-ጎን ገጽታዎች፡- ባዶ፣ በኬሚካል የተጸዳ እና ፓስሳይቬትድ አልሙኒየም። የሂደቱን መጠን የሚጋፈጡ ቦታዎችን አኖዳይዝ አታድርጉ።

ከባቢ አየር-ጎን እና ቫክዩም ያልሆኑ ገጽታዎች፡ አኖዳይዜሽን ጥሩ ነው፣ እና ለአለባበስ እና ለአያያዝ ጥበቃ ጠቃሚ ነው።

ሽፋን በቫክዩም-ጎን ወለል ላይ ከተገደደ፡ እንደ የክፍል ኮንዲሽነር ውሳኔ አድርገው ይመለከቱት እና ተጨማሪውን የፓምፕ-ማውረጃ ጊዜ ይመድቡ።

3. በሂደት ላይ ባሉ ቦታዎች ላይ የመዳብ ይዘት

6061 ከ0.15-0.40% መዳብ ይዟል፣ እና መዳብ በአብዛኛዎቹ የሴሚኮንዳክተር ሂደት አካባቢዎች ውስጥ ቁጥጥር የሚደረግበት ብክለት ነው። አንድ ወለል የሂደቱን መጠን የሚመለከት ከሆነ እና የብረት-አዮን ብክለት ቁጥጥር የሚደረግበት መለኪያ ሲሆን፣ የተለመደው ምርጫ ወደ ዝቅተኛ የመዳብ 5000 ቅይጥ ይቀየራል - ከታች የተገናኙትን የ5083 እና 5052 መመሪያዎችን ይመልከቱ። ወለሉ በከባቢ አየር ጎን ላይ ከሆነ ወይም በሂደቱ መንገድ ላይ ካልሆነ፣የ6061 የመዳብ ይዘት በተለምዶ ነውችግር የለውም። ይህ የገጽታ መጋለጥ ጥያቄ ሲሆን ከቅይጥ በቅይጥ ይልቅ በከፊል የተመለሰ ነው።

4. ብየዳ፣ እና በእውነቱ የሚያገኙት ጥንካሬ

6061 በ TIG ወይም MIG በ4043 ወይም 5356 መሙያ በደንብ ይገጣጠማል። ከዚያም በሙቀት የተጎዳው ዞን አብዛኛውን የዝናብ ጥንካሬውን ያጣ ሲሆን እንደ T4 ቁሳቁስ በግምት ይሠራል፣ ይህም የጥንካሬ መቀነስ 40% ነው። ውህዱ እንደገና መፍትሄ ካገኘ እና ካረጀ (በትላልቅ የክፍል አካል ላይ እምብዛም ተግባራዊ ካልሆነ) በስተቀር፣ በአሉሚኒየም ዲዛይን መመሪያው የሚመከር እንደ ተበየደው የዲዛይን አበል 165 MPa (24 ksi) ከዌልዱ አጠገብ ነው፣ 240 MPa አይደለም።

ስለዚህ ሙሉ ጥንካሬ ያለው 6061 በማሽን በተሠሩት የመገጣጠሚያ ክፍሎች ውስጥ የሚገኝ ሲሆን የተገጣጠሙ ባህሪያት ደግሞ ከ165 MPa ጋር እኩል መሆን አለባቸው። የተገጣጠመ መገጣጠሚያ ዋናውን ጭነት መሸከም ካለበት፣ በምትኩ በቦልት፣ ኦ-ሪንግ-በታሸገ ወይም በኤሌክትሮን-ቢም-በታሸገ ውቅር መተካት ይቻል እንደሆነ ያስቡበት።

6061-T6 በሴሚኮንዳክተር መሳሪያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውልበት ቦታ

የቫኩም ክፍል አካላት፣ ክዳኖች እና የመጨረሻ ሽፋኖች

ጠፍጣፋ እና ግትርነትን የሚጠይቁ የመሠረት ሰሌዳዎች፣ የመጫኛ ሰሌዳዎች እና የመሳሪያ ሰሌዳዎች

የጭነት መቆለፊያ እና የማስተላለፊያ ክፍል መዋቅራዊ ክፍሎች

የጋዝ አቅርቦት ማኒፎልዶች፣ የቫልቭ ብሎኮች እና የMFC መጫኛ አካላት

የክፍል ክፈፎች፣ ቅንፎች እና ንዑስ-ፋብል መዋቅራዊ ስራዎች

የኋላ ሰሌዳዎች እና ሂደት-ያልተጋለጡ የኤሌክትሮድ ሃርድዌር

እጅግ በጣም ከፍተኛ የቫኩም ክፍል ክፍሎች፣ ባዶ (ያልተናደደ) ቁሳቁስ የተገለጸበት

የዋጋ ዝርዝር ያግኙ

ስዕሉን ወይም 3D ሞዴልን፣ ቅይጥ እና የሙቀት መጠኑን እና የሳህኑን ውፍረት ይላኩ። MIANDI METAL GROUP 6061-T6 እና T651 ከክምችት ያቀርባል እና እንደ አንድ መስመር ንጥል የመጀመሪያ ኦፕሬሽን ሻካራ ማሽነሪ ቁሳቁሶችን ይጠቅሳል።