६०६१-T6 अर्धचालक भ्याकुम चेम्बर बडी, बेस प्लेट र संरचनात्मक फ्रेमहरूको लागि पूर्वनिर्धारित एल्युमिनियम मिश्र धातु हो। यसले २९० ~ ३१० MPa को ताप उपचार योग्य शक्तिलाई उत्कृष्ट मेशिनेबिलिटी र तनाव राहत पछि अनुमानित आयामी व्यवहारसँग जोड्दछ। यो गाइडले यसको रासायनिक संरचना, मेकानिकल र भौतिक गुणहरू, वास्तवमा चेम्बर निर्माण निर्णय गर्ने चार गुणहरू, र यो प्रयोग हुने उपकरणहरू सेट गर्दछ, त्यसैले मिश्र धातुलाई तपाईंको आफ्नै विशिष्टता विरुद्ध जाँच गर्न सकिन्छ।
किन ६०६१-T६ पूर्वनिर्धारित चेम्बर मिश्र बन्यो
६०६१ वर्षा-कठोर पार्ने होआल्मुनियम-म्याग्नेसियम-सिलिकन मिश्र धातु। यसको शक्ति T6 उपचारको क्रममा बनेको Mg₂Si अवक्षेपणबाट आउँछ, घोल ताप उपचार पछि कृत्रिम बुढ्यौलीबाट आउँछ, चिसो कामबाट होइन। त्यो भिन्नता व्यावसायिक रूपमा महत्त्वपूर्ण छ: शक्ति मिलको ताप उपचारद्वारा सेट गरिन्छ, त्यसैले तपाईंले यसलाई मेसिनमा लगाउनुको सट्टा शक्ति किन्नुहुन्छ।
तीन व्यावहारिक गुणहरूले ६०६१ लाई स्पेसिफिकेशन पानाको शीर्षमा राख्छन्:
- मेशिनेबिलिटी। यसले उच्च हटाउने दरमा स्वतन्त्र रूपमा काट्छ, जुन चेम्बर बडीले माग गर्छ। २०० मिमी प्लेटलाई ६० मिमी भित्तामा राख्नु एउटा खस्रो काम हो, फिनिशिङ होइन।
- भारी प्लेटमा उपलब्धता। चेम्बर बडीहरू प्रायः एउटै मोनोलिथिक ब्लकबाट मेसिन गरिन्छन्, र ६०६१ ठूलो मोटाईमा स्टक गरिएको हुन्छ - १.५-टन बडीलाई कास्टिङ वा वेल्डमेन्टको आवश्यकता पर्दैन।
- वेल्डेबिलिटी। २०२४ वा ७०७५ भन्दा फरक, क्र्याक बिना ६०६१ वेल्डहरू, जुन फ्ल्याङ्गहरू, बोसहरू र कुलिङ-च्यानल इन्सर्टहरूको लागि महत्त्वपूर्ण छ।
६०६१-T६ रासायनिक संरचना
| तत्व | न्यूनतम (wt%) | अधिकतम (wt%)) |
| एल्युमिनियम | ९५.८५ | ९८.५६ |
| म्याग्नेसियम | ०.८० | १.२० |
| सिलिकन | ०.४० | ०.८० |
| फलाम | - | ०.७० |
| तामा | ०.१५ | ०.४० |
| क्रोमियम | - | ०.३५ |
| जिंक | - | ०.२५ |
| टाइटेनियम | - | ०.१५ |
| म्याङ्गनीज | - | ०.१५ |
तामाको दायरालाई ध्यान दिनुहोस्। यो जानाजानी मिश्र धातु थपिएको हो, रयो सबैभन्दा सामान्य पनि होअर्धचालक ग्राहकले प्रक्रिया-उघडिएको सतहको लागि 6061 अस्वीकार गर्नुको कारण तल हेर्नुहोस्।
६०६१-T६ मेकानिकल र भौतिक गुणहरू
| सम्पत्ति | मूल्य | नोटहरू |
| परम तन्य शक्ति | 290 MPa मिनेट / 310 MPa विशिष्ट (42 / 45 ksi) | T6 स्वभाव |
| तन्य उपज शक्ति | 240 MPa मिनेट / 270 MPa विशिष्ट (35 / 39 ksi) | T6 स्वभाव |
| लम्बाइ | ८% (≤६.३५ मिमी) / १०% (बाक्लो खण्ड) | बाक्लो प्लेट तनावमा बढी नरम हुन्छ |
| यंगको मापांक | ६८~६९ जिपीए | प्रभावकारी रूपमा स्वभाव-स्वतन्त्र |
| घनत्व | २.७० ग्राम/सेमी³ | |
| तापीय चालकता | २५ डिग्री सेल्सियसमा ≈१५२ वाट/(मिलीकेलेटर) | शुद्ध आल्मुनियमको लगभग दुई तिहाइ |
| थर्मल विस्तारको गुणांक | २३.२ × १०⁻⁶ /K | फ्ल्यान्ज-टु-फ्ल्यान्ज वृद्धिको लागि सान्दर्भिक |
| कठोरता | ≈९३ एचबी |
चेम्बर डिजाइनको लागि, १५२ W/(m·K) वरिपरिको थर्मल चालकता भनेको धेरैजसो निर्णयहरू चलाउने संख्या हो: सक्रिय रूपमा चिसो बडीहरू र पेडेस्टल ब्याकिङ प्लेटहरूको लागि ६०६१ लाई व्यवहार्य बनाउन पर्याप्त उच्च, ठूलो बडीमा थर्मल ग्रेडियन्टहरू अझै पनि मोडेल गर्न बाँकी रहेको पर्याप्त कम।
चेम्बर निर्माणको निर्णय गर्ने चार सम्पत्तिहरू
१. मेसिनिङ पछि आयामी स्थिरता
सामग्री हटाउँदा रोल गरिएको प्लेटमा रहेको अवशिष्ट तनाव रिलिज हुन्छ, त्यसैले एक पासबाट रफ-मेसिन गरिएको र त्यसपछि समाप्त भएको शरीर सर्नेछ। मानक न्यूनीकरण T651 हो: समाधान ताप उपचार गरिन्छ, स्ट्रेचिंग द्वारा तनाव कम गरिन्छ, त्यसपछि कृत्रिम रूपमा पुरानो हुन्छ। T651 मा अनिवार्य रूपमा T6 जस्तै मेकानिकल गुणहरू छन् तर भारी स्टक हटाउने पछि धेरै राम्रो आयामी भविष्यवाणी योग्यता छ।
कुनै पनि बडीको लागि जहाँ समाप्त भित्ताको मोटाई सुरुवाती प्लेटको मोटाईको लगभग आधा भन्दा कम छ, T651 निर्दिष्ट गर्नुहोस् र रफिंग र फिनिशिंग बीच तनाव-राहत वा अर्ध-समाप्त पास योजना गर्नुहोस्।
२. भ्याकुम अनुकूलता र सतह उपचार
एल्युमिनियम आफैंमा एक उचित भ्याकुम सामग्री हो, खाली एल्युमिनियममा तुलनात्मक रूपमा कम आन्तरिक आउटग्यासिङ हुन्छ, र ६०६१ लामो समयदेखि अल्ट्रा-हाई भ्याकुम चेम्बर निर्माणमा प्रयोग हुँदै आएको छ। यद्यपि, एनोडाइजिङले तपाईंको विरुद्धमा काम गर्छ। छिद्रपूर्ण एनोडिक अक्साइड तहले पानीको वाष्पलाई फँसाउँछ र चेम्बरमा यसको रिलिजलाई उल्लेखनीय रूपमा बढाउँछ।
भ्याकुम-साइड सतहहरू: नाङ्गो, रासायनिक रूपमा सफा गरिएको र निष्क्रिय आल्मुनियम। प्रक्रियाको मात्राको सामना गर्ने सतहहरूलाई एनोडाइज नगर्नुहोस्।
वायुमण्डल-साइड र गैर-भ्याकुम सतहहरू: एनोडाइजिङ ठीक छ, र पहिरन र ह्यान्डलिङ सुरक्षाको लागि उपयोगी छ।
यदि भ्याकुम-साइड सतहमा कोटिंग अनिवार्य गरिएको छ भने: यसलाई चेम्बर कन्डिसनिङ निर्णयको रूपमा व्यवहार गर्नुहोस् र थप पम्प-डाउन समय बजेट गर्नुहोस्।
३. प्रक्रिया-उपस्थित सतहहरूमा तामाको मात्रा
६०६१ मा ०.१५-०.४०% तामा हुन्छ, र धेरैजसो अर्धचालक प्रक्रिया वातावरणमा तामा एक नियन्त्रित दूषित पदार्थ हो। जहाँ सतह प्रक्रियाको मात्राको सामना गर्छ र धातु-आयन प्रदूषण एक नियन्त्रित प्यारामिटर हो, त्यहाँ सामान्य छनोट कम-तामा ५००० मिश्र धातुमा सर्छ - तल लिङ्क गरिएको ५०८३ र ५०५२ गाइडहरू हेर्नुहोस्। जहाँ सतह वायुमण्डल तर्फ छ, वा प्रक्रिया मार्गमा छैन,६०६१ को तामाको मात्रा सामान्यतयायो मुद्दा होइन। यो सतह-एक्सपोजर प्रश्न हो, जसको उत्तर मिश्र धातुद्वारा मिश्र धातुको सट्टा आंशिक रूपमा दिइएको छ।
४. वेल्डिङ, र तपाईंले वास्तवमा प्राप्त गर्ने बल
६०६१ ले ४०४३ वा ५३५६ फिलरको साथ TIG वा MIG द्वारा राम्रोसँग वेल्ड गर्छ। त्यसपछि ताप प्रभावित क्षेत्रले यसको अधिकांश वर्षा कडापन गुमाउँछ र लगभग T4 सामग्री जस्तै व्यवहार गर्छ, लगभग ४०% को शक्ति हानि। जबसम्म एसेम्बली पुन: समाधान उपचार र पुरानो (ठूलो चेम्बर बडीमा विरलै व्यावहारिक) हुँदैन, एल्युमिनियम डिजाइन म्यानुअल द्वारा सिफारिस गरिएको एज-वेल्डेड डिजाइन भत्ता वेल्डको छेउमा १६५ MPa (२४ ksi) हुन्छ, २४० MPa होइन।
त्यसैले पूर्ण-शक्ति ६०६१ एसेम्बलीको मेसिन गरिएका भागहरूमा पर्छ, र वेल्डेड सुविधाहरू १६५ MPa विरुद्ध आकारको हुनुपर्छ। जहाँ वेल्डेड जोइन्टले प्राथमिक भार बोक्नुपर्छ, त्यहाँ यसलाई बोल्ट गरिएको, O-रिङ-सिल गरिएको वा इलेक्ट्रोन-बीम-वेल्डेड कन्फिगरेसनले प्रतिस्थापन गर्न सकिन्छ कि भनेर विचार गर्नुहोस्।
जहाँ 6061-T6 अर्धचालक उपकरणमा प्रयोग गरिन्छ
भ्याकुम चेम्बर बडीहरू, ढक्कनहरू र अन्तिम कभरहरू
समतलता र कठोरता चाहिने बेस प्लेटहरू, माउन्टिङ प्लेटहरू र टुलिङ प्लेटहरू
लोड-लक र ट्रान्सफर-चेम्बर संरचनात्मक घटकहरू
ग्यास डेलिभरी मेनिफोल्डहरू, भल्भ ब्लकहरू र MFC माउन्टिङ बडीहरू
चेम्बर फ्रेम, कोष्ठक र सब-फ्याब संरचनात्मक कार्य
ब्याकिङ प्लेटहरू र गैर-प्रक्रिया-एक्सपोज्ड इलेक्ट्रोड हार्डवेयर
अति-उच्च भ्याकुम चेम्बर कम्पोनेन्टहरू, जहाँ नाङ्गो (अनएनोडाइज्ड) सामग्री निर्दिष्ट गरिएको छ।
उद्धरण प्राप्त गर्नुहोस्
तपाईंले विचार गरिरहनुभएको रेखाचित्र वा थ्रीडी मोडेल, मिश्र धातु र टेम्पर, र प्लेटको मोटाई पठाउनुहोस्। MIANDI METAL GROUP ले स्टकबाट ६०६१-T6 र T651 आपूर्ति गर्दछ र एकल लाइन वस्तुको रूपमा पहिलो अपरेशन रफ मेसिनिङको साथ सामग्री उद्धृत गर्दछ।
पोस्ट समय: सेप्टेम्बर-१५-२०२६