6061-T6 ass déi Standard-Aluminiumlegierung fir Halbleiter-Vakuumkammerkierper, Grondplacken a Strukturrahmen. Si kombinéiert eng Hëtztbehandlungsfestigkeit vun 290~310 MPa mat enger exzellenter Bearbechtbarkeet an engem virauszesoen Dimensiounsverhalen no Spannungsentlastung. Dëse Guide beschreift seng chemesch Zesummesetzung, mechanesch a physikalesch Eegeschaften, déi véier Eegeschaften, déi tatsächlech de Kammerbau bestëmmen, an d'Ausrüstung, wou se benotzt gëtt, sou datt d'Legierung mat Ärer eegener Spezifikatioun iwwerpréift ka ginn.

Firwat 6061-T6 déi Standard-Kammerlegierung gouf

6061 ass e NidderschlagshärtungsmëttelAluminium-Magnesium-Silizium-LegierungSeng Stäerkt kënnt vun de Mg₂Si-Ausfäll, déi während der T6-Behandlung, der Léisungshëtzbehandlung gefollegt vun der kënschtlecher Alterung entstinn, an net duerch Kaltveraarbechtung. Dës Ënnerscheedung ass kommerziell wichteg: d'Stäerkt gëtt duerch d'Hëtzbehandlung vun der Mill festgeluecht, sou datt Dir d'Stäerkt kaaft anstatt se anzefräsen.

Dräi praktesch Eegeschafte halen 6061 uewen op der Spezifikatiounsblat:

• Bearbechtbarkeet. Et schneit fräi mat héijer Ofholgeschwindegkeet, wat e Kammerkierper verlaangt. Eng 200 mm Plack bis op eng 60 mm Wand erofzekréien ass eng Raubearbechtung, keng Finishbearbechtung.
• Verfügbar a schwéierer Blech. Kammerkierper ginn dacks aus engem eenzege monolithesche Block veraarbecht, a 6061 gëtt a groussen Déckten op Lager geliwwert - e 1,5-Tonne-Kierper brauch kee Goss oder eng Schweess.
• Schweessbarkeet. Am Géigesaz zu 2024 oder 7075 schweessst 6061 ouni Rëss, wat fir Flanschen, Bosse an Ofkillkanal-Asätz wichteg ass.

6061-T6 Chemesch Zesummesetzung

Notéiert de Kofferberäich. Et ass eng bewosst Legierungszousaz, anet ass och déi eenzeg heefegstGrënn, firwat e Client vun engem Hallefleeder 6061 fir eng prozess-ausgesate Uewerfläch refuséiert, kuckt ënnen.

6061-T6 Mechanesch a physikalesch Eegeschaften

Fir den Design vun der Kammer ass d'Wärmeleitfäegkeet vu ronn 152 W/(m·K) déi Zuel, déi déi meescht Entscheedungen beaflosst: héich genuch fir 6061 fir aktiv gekillte Kierper a Sockel-Réckplacken machbar ze maachen, niddreg genuch, datt thermesch Gradienten iwwer e grousse Kierper nach ëmmer modelléiert musse ginn.

Déi véier Eegeschaften, déi tatsächlech e Kammerbau entscheeden

1. Dimensiounsstabilitéit no der Bearbechtung

Reschtspannung a gewalzte Placken gëtt fräigesat wann d'Material ewechgeholl gëtt, sou datt e Kierper, deen an engem Duerchgang grob veraarbecht an dann fäerdeg gemaach gouf, sech beweegt. Déi Standard-Mitigatiounsmethod ass T651: Léisungshëtzbehandelt, Spannungsentlaaschtung duerch Strecken, dann künstlech gealtert. T651 huet am Fong déiselwecht mechanesch Eegeschafte wéi T6, awer eng vill besser dimensional Berechenbarkeet no schwéierer Materialspuerung.

Fir all Kierper, bei deem déi färdeg Wanddicke manner wéi ongeféier d'Halschent vun der Startplackendicke ass, spezifizéiert T651 a plant eng Spannungsentlastung oder eng Hallef-Finish-Duerchféierung tëscht dem Op- an dem Finishen.

2. Vakuumkompatibilitéit a Flächenbehandlung

Aluminium selwer ass e vernünftegt Vakuummaterial, blankt Aluminium huet eng relativ niddreg intrinsesch Ausgasung, an 6061 gëtt zënter laangem an der Konstruktioun vun ultrahéichen Vakuumkammeren benotzt. Anodiséieren funktionéiert awer géint Iech. Déi poréis anodesch Oxidschicht hält Waasserdamp fest a erhéicht seng Fräisetzung an d'Kammer wesentlech.

Vakuumsäiteg Uewerflächen: plakeg, chemesch gereinegt an passivéiert Aluminium. Uewerflächen, déi op de Prozessvolumen ausgeriicht sinn, net eloxéieren.

Atmosphärseiteg an net-Vakuumuewerflächen: Anodiséierung ass gutt a nëtzlech fir Verschleiung a Schutz géint Handhabung.

Wann eng Beschichtung op enger Vakuumsäiteger Uewerfläch obligatoresch ass: behandelt dat als eng Entscheedung fir d'Kammerkonditionéierung a berécksiichtegt déi zousätzlech Zäit fir d'Auspomplung.

3. Kupfergehalt op Prozess-exposéierten Uewerflächen

6061 enthält 0,15-0,40% Koffer, a Koffer ass e kontrolléierte Kontaminant an de meeschte Hallefleiterprozessëmfeld. Wa eng Uewerfläch dem Prozessvolumen ausgeriicht ass a Metallionenkontaminatioun e kontrolléierte Parameter ass, wiesselt déi üblech Wiel op eng 5000-Legierung mat wéineg Koffer – kuckt d'Guiden 5083 an 5052, déi hei ënnendrënner verlinkt sinn. Wa sech d'Uewerfläch op der Atmosphäresäit befënnt oder net am Prozesswee befënnt,De Kupfergehalt vum 6061 ass normalerweise kee Problem. Dëst ass eng Fro iwwer d'Uewerflächenexpositioun, déi Deel fir Deel beäntwert gëtt anstatt Legierung fir Legierung.

4. Schweessen, an d'Stäerkt déi Dir tatsächlech kritt

6061 schweess gutt mat TIG oder MIG mat 4043 oder 5356 Fëllstoff. Déi vun der Hëtzt betraff Zon verléiert dann de gréissten Deel vun hirer Nidderschlagshärtung a verhält sech ongeféier wéi T4-Material, e Stäerktverloscht vu ronn 40%. Ausser d'Montage gëtt nei lösungsbehandelt an gealt (selten praktesch bei engem grousse Kammerkierper), ass d'Designallaach beim Schweessen, déi vum Aluminium Design Manual recommandéiert gëtt, 165 MPa (24 ksi) nieft der Schweess, net 240 MPa.

Vollfestigkeit 6061 gehéiert dofir zu de maschinéierten Deeler vun enger Baugrupp, an déi geschweesst Elementer sollten op 165 MPa dimensionéiert sinn. Wa eng geschweesst Verbindung déi primär Belaaschtung droe muss, sollt iwwerluecht ginn, ob se duerch eng verschraubt, O-Ring-versiegelt oder Elektronestrahl-geschweesst Konfiguratioun ersat ka ginn.

Wou 6061-T6 a Hallefleiterausrüstung benotzt gëtt

Vakuumkammerkierper, Deckel an Enndeckelen

Grondplacken, Montageplacken a Werkzeugplacken, déi Flaachheet a Steifheet erfuerderen

Strukturkomponenten vun der Ladesperr an der Transferkammer

Gaszufuhrkrümmer, Ventilblöcke a MFC-Montagekierper

Kammerrahmen, Konsolen a Bauaarbechten am Ënnerbau

Réckplacken an net-prozess-exposéiert Elektrodenhardware

Komponenten vun der ultrahéijer Vakuumkammer, wou blankt (net eloxéiert) Material spezifizéiert ass

Kritt eng Offer

Schéckt d'Zeechnung oder den 3D-Modell, d'Legierung an d'Häertung, an d'Plackendicke, déi Dir berécksiichtegt. MIANDI METAL GROUP liwwert 6061-T6 an T651 aus Lager a gëtt e Präis fir d'Material mat der éischter Rohbearbechtung als Eenzelartikel.