Το 6061-T6 είναι το προεπιλεγμένο κράμα αλουμινίου για ημιαγωγικά σώματα θαλάμων κενού, πλάκες βάσης και δομικά πλαίσια. Συνδυάζει θερμικά επεξεργάσιμη αντοχή σε εφελκυσμό 290~310 MPa με εξαιρετική μηχανική κατεργασία και προβλέψιμη διαστατική συμπεριφορά μετά την ανακούφιση από την τάση. Αυτός ο οδηγός περιγράφει τη χημική του σύνθεση, τις μηχανικές και φυσικές του ιδιότητες, τις τέσσερις ιδιότητες που καθορίζουν την κατασκευή ενός θαλάμου και τον εξοπλισμό στον οποίο χρησιμοποιείται, ώστε το κράμα να μπορεί να ελεγχθεί με βάση τις δικές σας προδιαγραφές.

Γιατί το 6061-T6 έγινε το προεπιλεγμένο κράμα θαλάμου

Το 6061 είναι ένα σκλήρυνσης με καθίζησηκράμα αλουμινίου-μαγνησίου-πυριτίουΗ αντοχή του προέρχεται από τα ιζήματα Mg₂Si που σχηματίζονται κατά την επεξεργασία T6, τη θερμική επεξεργασία διαλύματος ακολουθούμενη από τεχνητή γήρανση, όχι από ψυχρή επεξεργασία. Αυτή η διάκριση έχει εμπορική σημασία: η αντοχή καθορίζεται από τη θερμική επεξεργασία του μύλου, επομένως αγοράζετε την αντοχή αντί να την επεξεργάζεστε μηχανικά.

Τρεις πρακτικές ιδιότητες διατηρούν το 6061 στην κορυφή του φύλλου προδιαγραφών:

• Δυνατότητα μηχανικής κατεργασίας. Κόβει ελεύθερα με υψηλούς ρυθμούς αφαίρεσης, κάτι που απαιτεί ένα σώμα θαλάμου. Η συμπίεση μιας πλάκας 200 mm σε ένα τοίχωμα 60 mm είναι μια εργασία χοντροκομμένης κατεργασίας, όχι τελικής επεξεργασίας.
• Διαθεσιμότητα σε βαριά πλάκα. Τα σώματα θαλάμων συχνά κατασκευάζονται από ένα μόνο μονολιθικό μπλοκ και το 6061 διατίθεται σε μεγάλα πάχη - ένα σώμα 1,5 τόνων δεν απαιτεί χύτευση ή συγκόλληση.
• Συγκολλησιμότητα. Σε αντίθεση με το 2024 ή το 7075, το 6061 συγκολλά χωρίς ρωγμές, κάτι που έχει σημασία για τις φλάντζες, τις προεξοχές και τα ένθετα καναλιών ψύξης.

6061-T6 Χημική Σύνθεση

Σημειώστε την περιοχή του χαλκού. Είναι μια σκόπιμη προσθήκη κράματος, καιείναι επίσης το πιο συνηθισμένοΟ λόγος για τον οποίο ένας πελάτης ημιαγωγών απορρίπτει το 6061 για μια επιφάνεια που εκτίθεται σε διεργασία, βλέπε παρακάτω.

6061-T6 Μηχανικές και Φυσικές Ιδιότητες

Για τον σχεδιασμό θαλάμων, η θερμική αγωγιμότητα περίπου 152 W/(m·K) είναι ο αριθμός που καθορίζει τις περισσότερες αποφάσεις: αρκετά υψηλή ώστε να καθιστά το 6061 βιώσιμο για ενεργά ψυχόμενα σώματα και πλάκες στήριξης βάθρου, αρκετά χαμηλή ώστε οι θερμικές διαβαθμίσεις σε ένα μεγάλο σώμα να πρέπει ακόμη να μοντελοποιηθούν.

Τα τέσσερα ακίνητα που πραγματικά καθορίζουν μια κατασκευή θαλάμου

1. Σταθερότητα διαστάσεων μετά την κατεργασία

Η υπολειμματική τάση στην κυλινδρική πλάκα απελευθερώνεται καθώς αφαιρείται το υλικό, επομένως ένα σώμα που έχει υποστεί χοντρή κατεργασία με ένα πέρασμα και στη συνέχεια έχει υποστεί τελική επεξεργασία θα κινηθεί. Ο τυπικός μετριασμός είναι το T651: θερμική επεξεργασία διαλύματος, ανακούφιση από την τάση με τέντωμα και στη συνέχεια τεχνητή γήρανση. Το T651 έχει ουσιαστικά τις ίδιες μηχανικές ιδιότητες με το T6 αλλά πολύ καλύτερη διαστατική προβλεψιμότητα μετά την αφαίρεση μεγάλου όγκου υλικού.

Για οποιοδήποτε σώμα όπου το πάχος του τελικού τοιχώματος είναι μικρότερο από περίπου το μισό του αρχικού πάχους της πλάκας, καθορίστε το T651 και σχεδιάστε ένα πέρασμα ανακούφισης από τις τάσεις ή ημιτελικού τελειώματος μεταξύ της χοντροκομμένης κατεργασίας και του τελικού τελείωμα.

2. Συμβατότητα με κενό και επιφανειακή επεξεργασία

Το ίδιο το αλουμίνιο είναι ένα λογικό υλικό κενού, το γυμνό αλουμίνιο έχει σχετικά χαμηλή εγγενή απαγωγή αερίων και το 6061 χρησιμοποιείται εδώ και καιρό στην κατασκευή θαλάμων εξαιρετικά υψηλού κενού. Η ανοδίωση, ωστόσο, λειτουργεί εναντίον σας. Το πορώδες στρώμα ανοδικού οξειδίου παγιδεύει τους υδρατμούς και αυξάνει σημαντικά την απελευθέρωσή τους στον θάλαμο.

Επιφάνειες στην πλευρά της ηλεκτρικής σκούπας: γυμνό, χημικά καθαρισμένο και παθητικοποιημένο αλουμίνιο. Μην υποβάλλετε σε ανοδίωση επιφάνειες που είναι στραμμένες προς τον όγκο διεργασίας.

Επιφάνειες στην πλευρά της ατμόσφαιρας και μη κενές επιφάνειες: η ανοδίωση είναι μια καλή μέθοδος και χρήσιμη για προστασία από τη φθορά και τον χειρισμό.

Εάν απαιτείται επίστρωση σε επιφάνεια στην πλευρά του κενού: αντιμετωπίστε την ως απόφαση προετοιμασίας θαλάμου και προϋπολογίστε τον επιπλέον χρόνο άντλησης.

3. Περιεκτικότητα σε χαλκό σε επιφάνειες που εκτίθενται σε διεργασίες

Το 6061 περιέχει 0,15-0,40% χαλκό και ο χαλκός είναι ένας ελεγχόμενος ρύπος στα περισσότερα περιβάλλοντα διεργασιών ημιαγωγών. Όταν μια επιφάνεια βλέπει στον όγκο της διεργασίας και η μόλυνση από μεταλλικά ιόντα είναι μια ελεγχόμενη παράμετρος, η συνήθης επιλογή μετατοπίζεται σε ένα κράμα 5000 χαμηλής περιεκτικότητας σε χαλκό - δείτε τους οδηγούς 5083 και 5052 που συνδέονται παρακάτω. Όταν η επιφάνεια βρίσκεται στην πλευρά της ατμόσφαιρας ή δεν βρίσκεται στην πορεία της διεργασίας,Η περιεκτικότητα σε χαλκό του 6061 είναι κανονικάένα μη ουσιώδες ζήτημα. Πρόκειται για μια ερώτηση που αφορά την έκθεση στην επιφάνεια, στην οποία απαντάται εν μέρει και όχι ανά κράμα.

4. Συγκόλληση και η αντοχή που πραγματικά αποκτάτε

Το 6061 συγκολλάται καλά με TIG ή MIG με υλικό πλήρωσης 4043 ή 5356. Η ζώνη που επηρεάζεται από τη θερμότητα χάνει στη συνέχεια το μεγαλύτερο μέρος της σκλήρυνσης λόγω καθίζησης και συμπεριφέρεται περίπου όπως το υλικό T4, με απώλεια αντοχής περίπου 40%. Εκτός εάν το συγκρότημα υποστεί επεξεργασία με εκ νέου διάλυμα και παλαιωθεί (σπάνια πρακτικό σε ένα μεγάλο σώμα θαλάμου), η ανοχή σχεδιασμού μετά τη συγκόλληση που συνιστάται από το Εγχειρίδιο Σχεδιασμού Αλουμινίου είναι 165 MPa (24 ksi) δίπλα στη συγκόλληση, όχι 240 MPa.

Συνεπώς, το 6061 πλήρους αντοχής ανήκει στα μηχανικά κατεργασμένα μέρη ενός συγκροτήματος και τα συγκολλημένα στοιχεία θα πρέπει να έχουν μέγεθος έναντι 165 MPa. Όπου μια συγκολλημένη σύνδεση πρέπει να φέρει το κύριο φορτίο, εξετάστε εάν μπορεί να αντικατασταθεί από μια διαμόρφωση με βίδες, στεγανοποίηση με δακτύλιο Ο ή συγκόλληση με δέσμη ηλεκτρονίων.

Όπου χρησιμοποιείται το 6061-T6 σε εξοπλισμό ημιαγωγών

Σώματα θαλάμων κενού, καπάκια και τελικά καλύμματα

Πλάκες βάσης, πλάκες στήριξης και πλάκες εργαλείων που απαιτούν επιπεδότητα και ακαμψία

Δομικά στοιχεία θαλάμου ασφάλισης φορτίου και θαλάμου μεταφοράς

Πολλαπλοί αγωγοί παροχής αερίου, μπλοκ βαλβίδων και σώματα στήριξης MFC

Σκελετοί θαλάμων, στηρίγματα και υποκατασκευαστικές δομικές εργασίες

Πλάκες υποστήριξης και υλικό ηλεκτροδίων που δεν εκτίθενται σε διεργασίες

Εξαρτήματα θαλάμου εξαιρετικά υψηλού κενού, όπου προδιαγράφεται γυμνό (μη ανοδιωμένο) υλικό

Λάβετε μια προσφορά

Στείλτε το σχέδιο ή το τρισδιάστατο μοντέλο, το κράμα και τη σκληρότητα, καθώς και το πάχος της πλάκας που εξετάζετε. Η MIANDI METAL GROUP προμηθεύει 6061-T6 και T651 από το απόθεμα και προσφέρει υλικό με πρώτη φάση χοντροκομμένης κατεργασίας ως μία μόνο γραμμή παραγωγής.