6061-T6, yarı iletken vakum odası gövdeleri, taban plakaları ve yapısal çerçeveler için varsayılan alüminyum alaşımıdır. Isıl işlemle elde edilebilen 290~310 MPa nihai çekme dayanımı ile mükemmel işlenebilirliği ve gerilim giderme işleminden sonra öngörülebilir boyutsal davranışı bir araya getirir. Bu kılavuz, alaşımın kimyasal bileşimini, mekanik ve fiziksel özelliklerini, bir oda yapımını belirleyen dört özelliği ve kullanıldığı ekipmanı açıklayarak, alaşımın kendi spesifikasyonlarınızla karşılaştırılmasını sağlar.

6061-T6 Neden Varsayılan Namlu Alaşımı Oldu?

6061, çökelme ile sertleşen bir alaşımdır.alüminyum-magnezyum-silikon alaşımıMukavemeti, soğuk işlemden değil, T6 işlemi sırasında oluşan Mg₂Si çökeltilerinden, yani çözelti ısıl işleminden ve ardından yapay yaşlandırmadan kaynaklanmaktadır. Bu ayrım ticari açıdan önemlidir: mukavemet, fabrikanın ısıl işlemiyle belirlenir, bu nedenle mukavemeti makineyle işlemek yerine satın alırsınız.

6061 alaşımını teknik özellikler listesinin en üstünde tutan üç pratik özellik şunlardır:

• İşlenebilirlik. Yüksek talaş kaldırma oranlarında serbestçe kesim yapar, bu da bir hazne gövdesinin gerektirdiği şeydir. 200 mm'lik bir plakayı 60 mm duvar kalınlığına kadar inceltmek, ince işleme değil, kaba işleme işlemidir.
• Kalın levha olarak mevcuttur. Hazne gövdeleri genellikle tek bir monolitik bloktan işlenir ve 6061 alaşımı büyük kalınlıklarda stoklanır; 1,5 tonluk bir gövde döküm veya kaynak gerektirmez.
• Kaynaklanabilirlik. 2024 veya 7075'in aksine, 6061 çatlamadan kaynaklanır; bu da flanşlar, bağlantı parçaları ve soğutma kanalı ek parçaları için önemlidir.

6061-T6 Kimyasal Bileşimi

Bakır aralığına dikkat edin. Bu, kasıtlı olarak eklenen bir alaşımdır veAynı zamanda en yaygın olanıdır.Yarı iletken sektöründe çalışan bir müşterinin, işlem sırasında maruz kalan bir yüzey için 6061 malzemesini reddetmesinin nedeni aşağıda açıklanmıştır.

6061-T6 Mekanik ve Fiziksel Özellikleri

Oda tasarımı için, 152 W/(m·K) civarındaki termal iletkenlik değeri çoğu kararı yönlendiren sayıdır: 6061'i aktif olarak soğutulan gövdeler ve kaide destek plakaları için uygun hale getirecek kadar yüksek, ancak büyük bir gövde boyunca termal gradyanların hala modellenmesi gerekecek kadar düşük.

Bir Odanın Yapımını Gerçekten Belirleyen Dört Özellik

1. İşleme sonrası boyutsal kararlılık

Haddeleme yöntemiyle üretilen levhalarda malzeme çıkarıldıkça artık gerilim serbest kalır; bu nedenle tek seferde kaba işlenmiş ve ardından son işlemden geçirilmiş bir gövde hareket edecektir. Standart çözüm T651'dir: çözelti ısıl işlemine tabi tutulur, gerdirme yoluyla gerilim giderilir ve ardından yapay olarak yaşlandırılır. T651, esasen T6 ile aynı mekanik özelliklere sahiptir, ancak ağır malzeme çıkarıldıktan sonra çok daha iyi boyutsal öngörülebilirlik sağlar.

Bitmiş duvar kalınlığının başlangıç ​​plaka kalınlığının yaklaşık yarısından az olduğu herhangi bir gövde için T651'i belirtin ve kaba işleme ile ince işleme arasında bir gerilim giderme veya yarı ince işleme geçişi planlayın.

2. Vakum uyumluluğu ve yüzey işlemi

Alüminyumun kendisi vakum için uygun bir malzemedir; ham alüminyumun doğal gaz salınımı nispeten düşüktür ve 6061 alüminyum uzun zamandır ultra yüksek vakum odası yapımında kullanılmaktadır. Ancak anotlama işlemi dezavantaj oluşturur. Gözenekli anodik oksit tabakası su buharını hapseder ve odaya salınımını önemli ölçüde artırır.

Vakum tarafındaki yüzeyler: ham, kimyasal olarak temizlenmiş ve pasifleştirilmiş alüminyum. İşlem hacmine bakan yüzeyleri anotlamayın.

Atmosfer tarafındaki ve vakumsuz yüzeyler: Anodizasyon uygundur ve aşınmaya ve kullanıma karşı koruma sağlar.

Vakum tarafındaki bir yüzeye kaplama yapılması zorunluysa: bunu bir oda şartlandırma kararı olarak değerlendirin ve ek vakum boşaltma süresini hesaba katın.

3. İşlem gören yüzeylerdeki bakır içeriği

6061 alaşımı %0,15-0,40 oranında bakır içerir ve bakır, çoğu yarı iletken işlem ortamında kontrol altında tutulan bir kirleticidir. Yüzeyin işlem hacmine baktığı ve metal iyonu kirliliğinin kontrol altında tutulan bir parametre olduğu durumlarda, genellikle düşük bakırlı 5000 alaşımı tercih edilir – aşağıda bağlantısı verilen 5083 ve 5052 kılavuzlarına bakınız. Yüzey atmosfer tarafındaysa veya işlem yolunda değilse,6061'in bakır içeriği normalde şöyledir:Bu bir sorun değil. Bu, alaşım alaşım değil, parça parça yanıtlanması gereken bir yüzey maruziyeti sorusu.

4. Kaynak ve elde edeceğiniz gerçek dayanıklılık

6061, 4043 veya 5356 dolgu teli ile TIG veya MIG kaynağında iyi sonuç verir. Isıdan etkilenen bölge daha sonra çökelme sertleşmesinin çoğunu kaybeder ve yaklaşık %40'lık bir mukavemet kaybıyla T4 malzemesi gibi davranır. Montaj yeniden çözelti işlemine tabi tutulmadığı ve yaşlandırılmadığı sürece (büyük bir oda gövdesinde nadiren pratiktir), Alüminyum Tasarım Kılavuzu tarafından önerilen kaynaklı tasarım toleransı, kaynağa bitişik olarak 240 MPa değil, 165 MPa (24 ksi)'dir.

Bu nedenle, tam mukavemetli 6061 alaşımı, bir montajın işlenmiş parçalarında kullanılmalıdır ve kaynaklı özellikler 165 MPa'ya göre boyutlandırılmalıdır. Kaynaklı birleşim yerinin birincil yükü taşıması gerekiyorsa, bunun yerine cıvatalı, O-ring contalı veya elektron ışın kaynaklı bir konfigürasyonun kullanılıp kullanılamayacağı değerlendirilmelidir.

6061-T6'nın Yarı İletken Ekipmanlarında Kullanıldığı Yerler

Vakum odası gövdeleri, kapakları ve uç kapakları

Düzlük ve rijitlik gerektiren taban plakaları, montaj plakaları ve takım plakaları

Yük kilidi ve transfer odası yapısal bileşenleri

Gaz dağıtım manifoldları, vana blokları ve MFC montaj gövdeleri

Oda çerçeveleri, destekler ve alt imalat yapısal işleri

Destek plakaları ve işlemle temas etmeyen elektrot donanımı

Yüksek vakum odası bileşenleri, burada işlenmemiş (anodize edilmemiş) malzeme belirtilmiştir.

Fiyat Teklifi Alın

Çizimi veya 3B modeli, alaşımı ve sertlik derecesini ve düşündüğünüz levha kalınlığını gönderin. MIANDI METAL GROUP, 6061-T6 ve T651'i stoktan temin eder ve ilk işlem kaba işleme dahil malzeme fiyatını tek bir kalem olarak sunar.