6061-T6 е стандардната алуминиумска легура за полупроводнички тела на вакуумски комори, основни плочи и структурни рамки. Таа комбинира термичка обработка со максимална цврстина на затегнување од 290~310 MPa со одлична обработливост и предвидливо димензионално однесување по ослободување од стрес. Ова упатство ги наведува нејзиниот хемиски состав, механички и физички својства, четирите својства што всушност ја одредуваат конструкцијата на комората и опремата каде што се користи, така што легурата може да се провери според вашите сопствени спецификации.

Зошто 6061-T6 стана стандардна легура на комори

6061 е стврднувач со врнежилегура од алуминиум-магнезиум-силициумНеговата јачина доаѓа од талогите од Mg₂Si формирани за време на третманот со T6, термичка обработка во раствор проследена со вештачко стареење, а не од ладна обработка. Таа разлика е комерцијално важна: јачината се одредува со термичката обработка на мелницата, па затоа ја купувате јачината, наместо да ја обработувате.

Три практични својства го одржуваат 6061 на врвот од спецификацискиот лист:

• Машинска обработка. Сече слободно со високи стапки на отстранување, што е она што го бара телото на комората. Намалувањето на плоча од 200 mm до ѕид од 60 mm е груба операција, а не завршна обработка.
• Достапност во тешка плоча. Телата на коморите често се машински изработени од еден монолитен блок, а 6061 се испорачува во големи дебелини - тело од 1,5 тони не бара леење или заварување.
• Заварливост. За разлика од 2024 или 7075, 6061 заварува без пукање, што е важно за прирабници, шалтери и влошки за канали за ладење.

6061-T6 Хемиски состав

Обрнете внимание на опсегот на бакар. Тоа е намерно додавање на легирање, итоа е исто така и најчестиотпричината зошто купувачот на полупроводници го одбива 6061 за површина изложена на процес, видете подолу.

6061-T6 Механички и физички својства

За дизајн на комори, топлинската спроводливост околу 152 W/(m·K) е бројката што ги движи повеќето одлуки: доволно висока за да го направи 6061 одржлив за активно ладени тела и потпорни плочи на пиедестал, доволно ниска за да треба да се моделираат топлинските градиенти низ големо тело.

Четирите имоти што всушност одлучуваат за изградба на комора

1. Димензионална стабилност по машинската обработка

Преостанатиот стрес кај валаната плоча се ослободува со отстранувањето на материјалот, па затоа телото кое е грубо обработено во едно поминување, а потоа доработено, ќе се движи. Стандардното ублажување е T651: термичка обработка со раствор, ослободување од стрес со истегнување, а потоа вештачко стареење. T651 има во суштина исти механички својства како T6, но многу подобра димензионална предвидливост по отстранување на голем материјал.

За секое тело каде што дебелината на завршениот ѕид е помала од околу половина од почетната дебелина на плочата, наведете T651 и испланирајте премин за ослободување од стрес или полузавршен премин помеѓу грубата обработка и завршната обработка.

2. Вакуумска компатибилност и површинска обработка

Самиот алуминиум е разумен вакуумски материјал, голиот алуминиум има релативно ниско внатрешно испуштање гасови, а 6061 долго време се користи во конструкцијата на комори со ултра висок вакуум. Анодизацијата, сепак, работи против вас. Порозниот слој од аноден оксид ја заробува водната пареа и значително го зголемува нејзиното ослободување во комората.

Површини од страната на вакуум: гол, хемиски исчистен и пасивиран алуминиум. Не анодизирајте површини кои се свртени кон волуменот на процесот.

Површини од страната на атмосферата и невакуумски површини: анодизацијата е во ред и корисна за заштита од абење и ракување.

Ако е потребно премачкување на површина од вакуумската страна: третирајте го тоа како одлука за кондиционирање во комората и предвидете го дополнителното време за прекин на пумпањето.

3. Содржина на бакар на површини изложени на процесот

6061 содржи 0,15-0,40% бакар, а бакарот е контролиран загадувач во повеќето полупроводнички процесни средини. Кога површината е свртена кон волуменот на процесот и контаминацијата со метални јони е контролиран параметар, вообичаениот избор се префрла на легура 5000 со ниска содржина на бакар - видете ги упатствата 5083 и 5052 поврзани подолу. Кога површината е на страната на атмосферата или не е во патеката на процесот,Содржината на бакар во 6061 е нормалноне е проблем. Ова е прашање за површинска експозиција, на кое се одговара дел по дел, а не легура по легура.

4. Заварување и јачината што всушност ја добивате

6061 добро се заварува со TIG или MIG со филер 4043 или 5356. Зоната погодена од топлина потоа го губи поголемиот дел од своето стврднување со врнежи и се однесува приближно како материјал T4, со губење на цврстината од околу 40%. Освен ако склопот не е повторно третиран со раствор и старее (ретко практично на големо тело на комора), дозволената вредност за дизајн на заварување препорачана од Прирачникот за дизајн на алуминиум е 165 MPa (24 ksi) во близина на заварот, а не 240 MPa.

Затоа, 6061 со полна цврстина припаѓа во машински обработените делови од склопот, а заварените елементи треба да бидат димензионирани во однос на 165 MPa. Кога заварениот спој мора да го носи примарното оптоварување, размислете дали може да се замени со завртена, запечатена со О-прстен или заварена со електронски сноп конфигурација.

Каде се користи 6061-T6 во полупроводничка опрема

Тела, капаци и крајни капаци на вакуумските комори

Основни плочи, монтажни плочи и алатни плочи што бараат рамност и цврстина

Структурни компоненти за товарно-заклучување и преносна комора

Разводници за довод на гас, блокови на вентили и монтажни тела на MFC

Рамки за комори, држачи и подфабрички структурни работи

Подлоги за задни плочи и хардвер за електроди кои не се изложени на процес

Компоненти на комора со ултра висок вакуум, каде што е наведен голиот (неанодизиран) материјал

Добијте понуда

Испратете го цртежот или 3D моделот, легурата и темпераментот, како и дебелината на плочата што ја разгледувате. MIANDI METAL GROUP испорачува 6061-T6 и T651 од залиха и нуди понуда за материјал со груба обработка во прва фаза како единечна ставка.