6061-T6 hija l-liga tal-aluminju awtomatika għal korpi ta' kmamar tal-vakwu semikondutturi, pjanċi bażi u frejms strutturali. Tgħaqqad saħħa ta' trattament bis-sħana ta' 290~310 MPa ta' saħħa tensili aħħarija ma' makkinabbiltà eċċellenti u mġiba dimensjonali prevedibbli wara t-tnaqqis tal-istress. Din il-gwida tistabbilixxi l-kompożizzjoni kimika tagħha, il-proprjetajiet mekkaniċi u fiżiċi, l-erba' proprjetajiet li fil-fatt jiddeċiedu l-bini ta' kamra, u t-tagħmir fejn tintuża, sabiex il-liga tkun tista' tiġi vverifikata mal-ispeċifikazzjoni tiegħek stess.

Għaliex 6061-T6 Saret il-Liga tal-Kamra Default

6061 huwa twebbis bil-preċipitazzjoniliga tal-aluminju-manjeżju-silikonIs-saħħa tiegħu ġejja mill-preċipitati tal-Mg₂Si ffurmati matul it-trattament T6, trattament bis-sħana tas-soluzzjoni segwit minn tixjiħ artifiċjali mhux minn xogħol fil-kesħa. Dik id-distinzjoni hija importanti kummerċjalment: is-saħħa hija stabbilita mit-trattament bis-sħana tal-mitħna, għalhekk tixtri s-saħħa aktar milli tissawwarha bil-magna.

Tliet proprjetajiet prattiċi jżommu 6061 fil-quċċata tal-folja tal-ispeċifikazzjoni:

• Makkinabbiltà. Jaqta' liberament b'rati għoljin ta' tneħħija, li huwa dak li jeħtieġ korp tal-kamra. It-tqattigħ ta' pjanċa ta' 200 mm sa ħajt ta' 60 mm hija operazzjoni ta' tqattigħ mhux ta' finitura.
• Disponibbiltà fi pjanċa tqila. Il-korpi tal-kompartimenti spiss jiġu mmaxinjati minn blokka monolitika waħda, u 6061 jiġi maħżun fi ħxuna kbira – korp ta' 1.5 tunnellati ma jeħtieġx ikkastjar jew iwweldjar.
• Weldabbiltà. Għall-kuntrarju ta' 2024 jew 7075, 6061 jissalda mingħajr ma jixxaqqaq, li huwa importanti għall-flanġijiet, il-boxxli u l-inserzjonijiet tal-kanali tat-tkessiħ.

Kompożizzjoni Kimika 6061-T6

Innota l-firxa tar-ram. Hija żieda apposta ta' liga, uhuwa wkoll l-aktar komuniIr-raġuni għaliex klijent tas-semikondutturi jirrifjuta 6061 għal wiċċ espost għall-proċess ara hawn taħt.

6061-T6 Proprjetajiet Mekkaniċi u Fiżiċi

Għad-disinn tal-kamra, il-konduttività termali ta' madwar 152 W/(m·K) hija n-numru li jmexxi l-biċċa l-kbira tad-deċiżjonijiet: għolja biżżejjed biex tagħmel 6061 vijabbli għal korpi mkessħin b'mod attiv u pjanċi ta' rinforz tal-pedestall, baxxa biżżejjed li l-gradjenti termali fuq korp kbir xorta jridu jiġu mmudellati.

L-Erba' Proprjetajiet Li Fil-fatt Jiddeċiedu l-Bini ta' Kamra

1. Stabbiltà dimensjonali wara l-magni

L-istress residwu fil-pjanċa rrumblata jiġi rilaxxat hekk kif il-materjal jitneħħa, għalhekk korp maħdum b'mod mhux maħdum f'pass wieħed u mbagħad lest jiċċaqlaq. Il-mitigazzjoni standard hija T651: trattat bis-sħana f'soluzzjoni, imnaqqas mill-istress permezz ta' tiġbid, imbagħad imqaddem artifiċjalment. T651 għandu essenzjalment l-istess proprjetajiet mekkaniċi bħal T6 iżda prevedibbiltà dimensjonali ferm aħjar wara tneħħija qawwija ta' stokk.

Għal kwalunkwe korp fejn il-ħxuna tal-ħajt lest hija inqas minn madwar nofs il-ħxuna tal-pjanċa tal-bidu, speċifika T651 u ppjana pass ta' serħan mill-istress jew semi-finitura bejn it-tħaffir u l-irfinar.

2. Kompatibilità mal-vakwu u trattament tal-wiċċ

L-aluminju nnifsu huwa materjal raġonevoli għall-vakwu, l-aluminju vojt għandu ħruġ ta' gass intrinsiku relattivament baxx, u l-6061 ilu jintuża fil-kostruzzjoni ta' kmamar tal-vakwu ultra-għoli. Madankollu, l-anodizzazzjoni taħdem kontrik. Is-saff poruż tal-ossidu anodiku jaqbad il-fwar tal-ilma u jżid sostanzjalment ir-rilaxx tiegħu fil-kamra.

Uċuħ fuq in-naħa tal-vakwu: aluminju vojt, imnaddaf kimikament u passivat. M'għandekx tanodizza uċuħ li jħarsu lejn il-volum tal-proċess.

Uċuħ fuq in-naħa tal-atmosfera u mhux vakwu: l-anodizzazzjoni hija tajba, u utli għall-protezzjoni kontra l-użu u l-immaniġġjar.

Jekk kisi huwa obbligatorju fuq wiċċ fuq in-naħa tal-vakwu: ittrattah bħala deċiżjoni ta' kondizzjonament tal-kompartiment u bbaġitja l-ħin addizzjonali tal-ippumpjar.

3. Kontenut tar-ram fuq uċuħ esposti għall-proċess

6061 fih 0.15-0.40% ram, u r-ram huwa kontaminant ikkontrollat ​​fil-biċċa l-kbira tal-ambjenti tal-proċess tas-semikondutturi. Fejn wiċċ iħares lejn il-volum tal-proċess u l-kontaminazzjoni tal-joni tal-metall hija parametru kkontrollat, l-għażla tas-soltu tinbidel għal liga 5000 b'kontenut baxx ta' ram – ara l-gwidi 5083 u 5052 marbuta hawn taħt. Fejn il-wiċċ ikun fuq in-naħa tal-atmosfera, jew ma jkunx fil-mogħdija tal-proċess,Il-kontenut tar-ram ta' 6061 normalment ikunmhux kwistjoni. Din hija mistoqsija dwar l-espożizzjoni tal-wiċċ, imwieġba parti b'parti aktar milli liga b'liga.

4. L-iwweldjar, u s-saħħa li fil-fatt tikseb

6061 jissaldja tajjeb permezz ta' TIG jew MIG b'mili 4043 jew 5356. Iż-żona affettwata mis-sħana mbagħad titlef il-biċċa l-kbira tat-twebbis tal-preċipitazzjoni tagħha u taġixxi bejn wieħed u ieħor bħal materjal T4, telf ta' saħħa ta' madwar 40%. Sakemm l-assemblaġġ ma jiġix trattat b'soluzzjoni mill-ġdid u mqaddem (rarament prattiku fuq korp ta' kamra kbira), l-allowance tad-disinn kif iwweldjat rakkomandata mill-Manwal tad-Disinn tal-Aluminju hija ta' 165 MPa (24 ksi) biswit il-weldjatura, mhux 240 MPa.

Għalhekk, 6061 b'saħħa sħiħa jappartjeni għall-partijiet immaxinjati ta' assemblaġġ, u l-karatteristiċi wweldjati għandhom ikunu ddaqsjati kontra 165 MPa. Fejn ġonta wweldjata trid iġġorr it-tagħbija primarja, ikkunsidra jekk tistax tiġi sostitwita b'konfigurazzjoni boltjata, issiġillata b'O-ring jew iwweldjata b'raġġ ta' elettroni minflok.

Fejn 6061-T6 Jintuża f'Tagħmir Semikonduttur

Korpi, għotjien u għata tat-truf tal-kompartiment tal-vakwu

Pjanċi bażi, pjanċi tal-immuntar u pjanċi tal-għodda li jeħtieġu ċattità u ebusija

Komponenti strutturali tas-serratura tat-tagħbija u tal-kamra tat-trasferiment

Manifolds tal-kunsinna tal-gass, blokki tal-valvijiet u korpi tal-immuntar tal-MFC

Qafas tal-kamra, parentesi u xogħol strutturali tas-subfabbrika

Pjanċi ta' rinforz u ħardwer tal-elettrodi mhux esposti għall-proċess

Komponenti tal-kamra tal-vakwu ultra-għoli, fejn huwa speċifikat materjal mikxuf (mhux anodizzat)

Ikseb Kwotazzjoni

Ibgħat id-disinn jew il-mudell 3D, il-liga u t-tempra, u l-ħxuna tal-pjanċa li qed tikkunsidra. MIANDI METAL GROUP tforni 6061-T6 u T651 mill-istokk u tikkwota l-materjal bl-ewwel operazzjoni ta' makkinar mhux maħdum bħala oġġett ta' linja waħda.