Aluminium 6061-T6 pikeun Kamar Vakum Semikonduktor: Komposisi sareng Sipat

6061-T6 nyaéta aloi aluminium standar pikeun awak rohangan vakum semikonduktor, pelat dasar, sareng pigura struktural. Ieu ngagabungkeun kakuatan anu tiasa diubaran panas 290 ~ 310 MPa kakuatan tarik pamungkas kalayan kamampuan mesin anu saé sareng paripolah diménsi anu tiasa diprediksi saatos ngaleungitkeun setrés. Pituduh ieu netepkeun komposisi kimia, sipat mékanis sareng fisikna, opat sipat anu leres-leres nangtukeun pangwangunan rohangan, sareng alat-alat dimana éta dianggo, supados aloi tiasa dipariksa ngalawan spésifikasi anjeun nyalira.

Naha 6061-T6 Janten Paduan Kamar Standar

6061 nyaéta pengerasan présipitasipaduan aluminium-magnésium-silikonKakuatanana asalna tina endapan Mg₂Si anu kabentuk nalika perlakuan T6, perlakuan panas larutan dituturkeun ku penuaan jieunan sanés tina padamelan tiis. Bédana éta penting sacara komersil: kakuatan ditetepkeun ku perlakuan panas pabrik, janten anjeun mésér kakuatanna tinimbang nganggo mesin.

Tilu sipat praktis ngajaga 6061 tetep aya di luhur lambar spésifikasi:

  • Kamampuh ngolah. Motong kalawan bébas dina laju panyabutan anu luhur, nyaéta anu diperyogikeun ku awak rohangan. Ngarojong pelat 200 mm ka témbok 60 mm mangrupikeun operasi kasar, sanés finishing.
  • Sadia dina pelat anu beurat. Awak chamber sering dimesin tina hiji blok monolitik, sareng 6061 disimpen dina ketebalan anu ageung - awak 1,5 ton henteu meryogikeun cor atanapi las.
  • Kamampuh las. Teu siga 2024 atawa 7075, las 6061 tanpa retakan, nu penting pikeun flensa, bos, jeung sisipan saluran pendingin.

Komposisi Kimia 6061-T6

Unsur Min (%) beurat Maks (beurat%)
Aluminium 95.85 98.56
Magnésium 0.80 1.20
Silikon 0.40 0.80
Beusi - 0.70
Tambaga 0.15 0.40
Kromium - 0.35
Séng - 0.25
Titanium - 0.15
Mangan - 0.15

Catet rentang tambaga. Éta mangrupikeun tambahan paduan anu disengaja, sarengéta ogé hiji-hijina anu paling umumAlesan konsumén semikonduktor nolak 6061 pikeun permukaan anu kakeunaan prosés tingali di handap.

6061-T6 Sipat Mékanis sareng Fisik

Properti Nilai Catetan
Kakuatan tarik pamungkas 290 MPa mnt / 310 MPa khas (42 / 45 ksi) Temperamen T6
Kakuatan luluh tarik 240 MPa mnt / 270 MPa khas (35 / 39 ksi) Temperamen T6
Pemanjangan 8% (≤6,35 mm) / 10% (bagian anu langkung kandel) Pelat anu kandel langkung ulet dina tegangan
Modulus Young 68~69 GPa Éféktif teu gumantung kana amarah
Kapadetan 2,70 g/cm³  
Konduktivitas termal ≈152 W/(m·K) dina 25 °C Kira-kira dua per tilu tina aluminium murni
Koefisien ékspansi termal 23,2 × 10⁻⁶ /K Relevan pikeun kamekaran flens-to-flens
Karasa ≈93 HB  

Pikeun desain rohangan, konduktivitas termal sakitar 152 W/(m·K) nyaéta angka anu ngadorong kaseueuran kaputusan: cukup luhur pikeun ngajantenkeun 6061 layak pikeun awak anu didinginkan sacara aktif sareng pelat pendukung pedestal, cukup handap sahingga gradien termal dina awak anu ageung masih kedah dimodelkeun.

Opat Properti Anu Sabenerna Nangtukeun Pangwangunan Kamar Mandi

1. Stabilitas diménsi saatos dimesin

Tegangan sésa dina pelat anu digulung dileupaskeun nalika bahan dipiceun, janten awak anu dikerjakeun sacara kasar dina hiji léngkah teras réngsé bakal gerak. Mitigasi standar nyaéta T651: larutan dipanaskeun, dikirangan tegangan ku cara manjangkeun, teras diawetkeun sacara jieunan. T651 dasarna gaduh sipat mékanis anu sami sareng T6 tapi prediktabilitas diménsi anu langkung saé saatos miceun stok anu beurat.

Pikeun awak naon waé anu ketebalan témbok réngséna kirang ti satengah ketebalan pelat awal, tangtukeun T651 sareng rencanakeun léngkah ngaleungitkeun setrés atanapi satengah réngsé antara roughing sareng finishing.

2. Kompatibilitas vakum sareng perawatan permukaan

Aluminium sorangan mangrupa bahan vakum anu lumrah, aluminium polos mibanda outgassing intrinsik anu relatif handap, sareng 6061 parantos lami dianggo dina konstruksi ruang vakum ultra-luhur. Nanging, anodising tiasa ngahalangan anjeun. Lapisan oksida anodik anu porous ngajebak uap cai sareng sacara substansial ningkatkeun pelepasanana kana ruang éta.

Beungeut sisi vakum: aluminium polos, dibersihkeun sacara kimiawi sareng dipasifkeun. Ulah ngaanodikeun permukaan anu nyanghareup ka volume prosés.

Beungeut sisi atmosfir sareng non-vakum: anodising teu nanaon, sareng mangpaat pikeun panyalindungan tina karusakan sareng penanganan.

Upami palapis diwajibkeun dina permukaan sisi vakum: anggap éta salaku kaputusan pangondisian kamar sareng anggaran waktos pompa-down tambahan.

3. Kandungan tambaga dina permukaan anu kakeunaan prosés

6061 ngandung 0,15-0,40% tambaga, sareng tambaga mangrupikeun kontaminan anu dikontrol dina kalolobaan lingkungan prosés semikonduktor. Nalika hiji permukaan nyanghareupan volume prosés sareng kontaminasi ion logam mangrupikeun parameter anu dikontrol, pilihan anu biasana ngalih ka paduan tambaga rendah 5000 - tingali pituduh 5083 sareng 5052 anu ditautan di handap. Nalika permukaan aya di sisi atmosfir, atanapi henteu aya dina jalur prosés,Kandungan tambaga 6061 biasanalain masalah. Ieu mangrupikeun patarosan ngeunaan paparan permukaan, anu dijawab sabagian-sabagian tinimbang paduan demi paduan.

4. Las, sareng kakuatan anu anjeun kéngingkeun

6061 dilas kalawan alus ku TIG atawa MIG kalawan bahan pangisi 4043 atawa 5356. Zona anu kapangaruhan ku panas tuluy kaleungitan kalolobaan pengerasan présipitasina sarta kalakuanana kawas bahan T4, leungitna kakuatan kira-kira 40%. Kajaba rakitanna diolah deui jeung diumurkeun (jarang praktis dina awak rohangan badag), tunjangan desain sakumaha dilas anu disarankeun ku Manual Desain Aluminium nyaéta 165 MPa (24 ksi) gigireun las, lain 240 MPa.

Ku kituna, 6061 kakuatan pinuh kaasup kana bagian mesin tina hiji rakitan, sareng fitur anu dilas kedah diukur ngalawan 165 MPa. Upami sambungan anu dilas kedah nahan beban primér, pertimbangkeun naha éta tiasa digentos ku konfigurasi anu dibaut, disegel O-ring atanapi dilas sinar éléktron.

Dimana 6061-T6 Dianggo dina Peralatan Semikonduktor

Awak, tutup, sareng panutup tungtung ruang vakum

Pelat dasar, pelat pemasangan, sareng pelat perkakas anu meryogikeun kerataan sareng kaku

Komponen struktural load-lock sareng transfer-chamber

Manifold pangiriman gas, blok klep sareng badan pemasangan MFC

Rangka kamar, braket, sareng padamelan struktural sub-fabrikasi

Pelat pangrojong sareng perangkat keras éléktroda anu henteu kakeunaan prosés

Komponen ruang vakum ultra-luhur, dimana bahan polos (tanpa anodisasi) ditangtukeun

Kéngingkeun Kutipan

Kirimkeun gambar atanapi modél 3D, paduan sareng temper, sareng ketebalan pelat anu anjeun pertimbangkeun. MIANDI METAL GROUP nyayogikeun 6061-T6 sareng T651 tina stok sareng nyutat bahan kalayan mesin kasar operasi munggaran salaku item baris tunggal.

https://www.aviationaluminum.com/


Waktos posting: 15-Sep-2026
Obrolan Online WhatsApp!