6061-T6 је подразумевана легура алуминијума за тела полупроводничких вакуумских комора, основне плоче и структурне оквире. Комбинује чврстоћу на затезање под утицајем топлоте од 290~310 MPa са одличном обрадивошћу и предвидљивим димензионалним понашањем након отпуштања напона. Овај водич наводи њен хемијски састав, механичка и физичка својства, четири својства која заправо одлучују о изради коморе и опрему у којој се користи, тако да се легура може проверити у односу на ваше спецификације.

Зашто је 6061-Т6 постала подразумевана легура за комору

6061 је таложно очвршћавајућилегура алуминијума, магнезијума и силицијумаЊегова чврстоћа потиче од Mg₂Si талога формираних током Т6 обраде, термичке обраде у раствору праћене вештачким старењем, а не од хладне обраде. Та разлика је комерцијално важна: чврстоћа се одређује термичком обрадом у млину, тако да купујете чврстоћу уместо да је машински обрађујете.

Три практична својства држе 6061 на врху спецификације:

• Обрадљивост. Слободно сече при великим брзинама уклањања материјала, што је оно што тело коморе захтева. Смањење плоче од 200 мм до зида од 60 мм је груба операција, а не завршна.
• Доступност у дебелим плочама. Тела комора се често машински израђују из једног монолитног блока, а 6061 се налази на лагеру у великим дебљинама – тело од 1,5 тона не захтева ливење или заваривање.
• Заварљивост. За разлику од 2024 или 7075, 6061 заварује без пуцања, што је важно за прирубнице, избочине и уметке за канале за хлађење.

6061-Т6 Хемијски састав

Обратите пажњу на распон бакра. То је намерно додавање легуре, ито је такође и најчешћиРазлог због којег купац полупроводника одбија 6061 због површине изложене процесу, видети доле.

6061-T6 Механичка и физичка својства

За дизајн коморе, топлотна проводљивост око 152 W/(m·K) је број који покреће већину одлука: довољно висок да 6061 буде одржив за активно хлађена тела и плоче за ношење постоља, довољно низак да се термички градијенти преко великог тела и даље морају моделирати.

Четири некретнине које заправо одлучују о изградњи коморе

1. Димензионална стабилност након обраде

Заостали напон у ваљаној плочи се ослобађа како се материјал уклања, тако да ће се тело грубо обрађено у једном пролазу, а затим завршно обрађивано, померати. Стандардно ублажавање је Т651: термичка обрада раствором, ослобађање од напона истезањем, а затим вештачко старење. Т651 има у суштини иста механичка својства као Т6, али далеко бољу димензионалну предвидљивост након великог уклањања материјала.

За свако тело где је дебљина завршеног зида мања од око половине дебљине почетне плоче, наведите T651 и планирајте пролаз за ублажавање напона или полузавршну обраду између грубе и завршне обраде.

2. Компатибилност са вакуумом и површинска обрада

Алуминијум сам по себи је разуман материјал за вакуум, голи алуминијум има релативно ниско сопствено испуштање гасова, а 6061 се дуго користи у изградњи комора за ултра-висок вакуум. Међутим, анодирање ради против вас. Порозни слој анодног оксида задржава водену пару и значајно повећава њено ослобађање у комору.

Површине на страни вакуума: гол, хемијски очишћен и пасивизиран алуминијум. Не анодизујте површине које су окренуте ка процесној запремини.

Површине са стране атмосфере и површине које нису вакуумске: анодирање је у реду и корисно је за заштиту од хабања и руковања.

Ако је премаз обавезан на површини са вакуумском страном: третирајте то као одлуку о кондиционирању у комори и урачунајте додатно време испумпавања.

3. Садржај бакра на површинама изложеним процесу

6061 садржи 0,15-0,40% бакра, а бакар је контролисани загађивач у већини полупроводничких процесних окружења. Тамо где је површина окренута ка процесној запремини и контаминација металним јонима је контролисани параметар, уобичајени избор се пребацује на легуру 5000 са ниским садржајем бакра – погледајте водиче за 5083 и 5052 повезане испод. Тамо где је површина на страни атмосфере или није у процесном путу,Садржај бакра у 6061 је нормалноније проблем. Ово је питање о изложености површине, на које се одговара део по део, а не легура по легура.

4. Заваривање и снага коју заправо добијате

6061 се добро заварује ТИГ или МИГ методом са пунилом 4043 или 5356. Зона под утицајем топлоте тада губи већи део свог очвршћавања преципитацијом и понаша се отприлике као Т4 материјал, са губитком чврстоће од око 40%. Осим ако се склоп поново не обради резолуцијом и не старе (ретко практично на великим коморама), дозвољени додатак за заваривање који препоручује Приручник за пројектовање алуминијума је 165 MPa (24 ksi) поред завара, а не 240 MPa.

Стога, челик 6061 пуне чврстоће спада у машински обрађене делове склопа, а заварени елементи треба да буду димензионисани у односу на 165 MPa. Тамо где заварени спој мора да носи примарно оптерећење, размотрите да ли се може заменити конфигурацијом са вијцима, заптивком О-прстеном или заваривањем електронским снопом.

Где се 6061-Т6 користи у полупроводничкој опреми

Тела, поклопци и завршни поклопци вакуумских комора

Основне плоче, монтажне плоче и плоче за алате које захтевају равност и крутост

Структурне компоненте за утоварне браве и преносне коморе

Разводници за довод гаса, блокови вентила и тела за монтажу MFC-а

Оквири комора, носачи и радови на подконструкцији

Заштитне плоче и хардвер електрода који није изложен процесу

Компоненте коморе за ултра-високи вакуум, где је наведен голи (неанодизирани) материјал

Добијте понуду

Пошаљите цртеж или 3Д модел, легуру и стање, као и дебљину плоче коју разматрате. MIANDI METAL GROUP испоручује 6061-T6 и T651 са залиха и даје понуду за материјал са првом операцијом грубе обраде као једну ставку.