Ang 6061-T6 mao ang default nga aluminum alloy para sa mga semiconductor vacuum chamber bodies, base plates, ug structural frames. Kini naghiusa sa heat treated strength nga 290~310 MPa ultimate tensile strength uban sa maayo kaayong machinability ug matag-an nga dimensional behavior human sa stress relief. Kini nga giya naglatid sa kemikal nga komposisyon, mekanikal ug pisikal nga mga kabtangan niini, ang upat ka mga kabtangan nga aktuwal nga nagdesisyon sa pagtukod sa usa ka chamber, ug ang kagamitan diin kini gigamit, aron ang alloy masusi batok sa imong kaugalingong espesipikasyon.

Ngano nga ang 6061-T6 Nahimong Default Chamber Alloy

Ang 6061 usa ka pamaagi sa pagpatig-a sa ulanaluminum-magnesium-silicon nga haluang metalAng kusog niini gikan sa mga precipitate sa Mg₂Si nga naporma atol sa T6 treatment, solution heat treatment gisundan sa artipisyal nga pagkatigulang dili gikan sa cold work. Kana nga kalainan importante sa komersyo: ang kusog gitino sa heat treatment sa galingan, busa imong paliton ang kusog imbes nga gamiton kini sa makina.

Tulo ka praktikal nga kabtangan ang nagpabilin sa 6061 sa ibabaw sa specification sheet:

• Pagkamahimo sa makina. Kini gawasnon nga moputol sa taas nga gikusgon sa pagtangtang, nga mao ang gikinahanglan sa usa ka chamber body. Ang paghigot sa usa ka 200 mm nga plato paubos ngadto sa usa ka 60 mm nga bungbong usa ka operasyon sa pag-rough, dili usa ka finishing.
• Anaa sa bug-at nga plato. Ang mga lawas sa chamber kasagarang gimakina gikan sa usa ka monolithic block, ug ang 6061 gitipig sa dagkong gibag-on – ang 1.5-toneladang lawas dili kinahanglan og casting o weldment.
• Pagka-mahimo sa pagwelding. Dili sama sa 2024 o 7075, ang 6061 mowelding nga walay liki, nga importante para sa mga flanges, bosses ug cooling-channel inserts.

6061-T6 Kemikal nga Komposisyon

Matikdi ang han-ay sa tumbaga. Kini usa ka tinuyo nga pagdugang sa haluang metal, ugkini usab ang labing komon nganganong gisalikway sa usa ka kustomer sa semiconductor ang 6061 tungod sa usa ka process-exposed surface, tan-awa sa ubos.

6061-T6 Mekanikal ug Pisikal nga mga Kabtangan

Para sa disenyo sa chamber, ang thermal conductivity nga mga 152 W/(m·K) mao ang numero nga nagduso sa kadaghanan sa mga desisyon: igo nga taas aron mahimo ang 6061 nga magamit para sa mga aktibong gipabugnaw nga lawas ug mga pedestal backing plate, igo nga ubos aron kinahanglan pa nga i-modelo ang thermal gradients sa usa ka dako nga lawas.

Ang Upat ka Kabtangan nga Aktuwal nga Nagdesisyon sa Pagtukod og Chamber

1. Kalig-on sa dimensyon human sa pag-machining

Ang nahibiling stress sa giligid nga plato mogawas samtang ang materyal gikuha, busa ang usa ka lawas nga gi-rough-machine sa usa ka agi ug dayon nahuman molihok. Ang standard nga mitigation mao ang T651: ang solusyon gi-heat treatment, gi-stress-relieved pinaagi sa stretching, dayon artipisyal nga gipa-age. Ang T651 adunay halos parehas nga mekanikal nga mga kabtangan sa T6 apan mas maayo nga dimensional predictable human sa bug-at nga pagtangtang sa stock.

Alang sa bisan unsang lawas diin ang gibag-on sa nahuman nga bungbong ubos sa katunga sa gibag-on sa starting plate, ipiho ang T651 ug pagplano og stress-relief o semi-finish pass tali sa roughing ug finishing.

2. Pagkaangay sa vacuum ug pagtambal sa nawong

Ang aluminum mismo usa ka barato nga vacuum material, ang bare aluminum adunay gamay nga intrinsic outgassing, ug ang 6061 dugay nang gigamit sa ultra-high vacuum chamber construction. Apan, ang anodising dili maayo para nimo. Ang porous anodic oxide layer modakop sa alisngaw sa tubig ug mopadako sa pagpagawas niini ngadto sa chamber.

Mga nawong nga gigamit sa vacuum: hubo, gilimpyohan sa kemikal ug gipasa nga aluminum. Ayaw i-anodise ang mga nawong nga nag-atubang sa gidak-on sa proseso.

Mga nawong nga nahimutang sa atmospera ug dili-vacuum nga mga nawong: maayo ang anodising, ug mapuslanon alang sa proteksyon sa pagkaguba ug pagdumala.

Kon gikinahanglan ang usa ka coating sa usa ka vacuum-side surface: isipa kini isip usa ka desisyon sa chamber conditioning ug badyeta ang dugang nga oras sa pump-down.

3. Sulod sa tumbaga sa mga nawong nga naladlad sa proseso

Ang 6061 adunay sulod nga 0.15-0.40% nga tumbaga, ug ang tumbaga usa ka kontroladong kontaminante sa kadaghanan sa mga palibot sa proseso sa semiconductor. Kung ang usa ka nawong nag-atubang sa gidaghanon sa proseso ug ang kontaminasyon sa metal-ion usa ka kontroladong parameter, ang naandan nga pagpili mobalhin ngadto sa usa ka low-copper 5000 alloy – tan-awa ang mga giya sa 5083 ug 5052 nga nalambigit sa ubos. Kung ang nawong naa sa kilid sa atmospera, o wala sa agianan sa proseso,Ang sulod sa tumbaga sa 6061 kasagarandili isyu. Kini usa ka pangutana bahin sa pagkaladlad sa nawong, gitubag matag bahin imbes nga matag haluang.

4. Pagwelding, ug ang kusog nga imong makuha

Ang 6061 maayo nga ma-weld gamit ang TIG o MIG nga adunay 4043 o 5356 filler. Ang heat affected zone mawad-an sa kadaghanan sa precipitation hardening niini ug molihok nga halos sama sa T4 nga materyal, usa ka pagkawala sa kusog nga mga 40%. Gawas kung ang assembly gi-re-solution treatment ug gipa-edad (talagsa ra praktikal sa usa ka dako nga chamber body), ang as-welded design allowance nga girekomenda sa Aluminium Design Manual kay 165 MPa (24 ksi) nga tupad sa weld, dili 240 MPa.

Busa, ang full-strength 6061 angayan sa mga parte sa makina sa usa ka assembly, ug ang mga welded features kinahanglan nga i-sukod batok sa 165 MPa. Kon ang usa ka welded joint kinahanglan nga mopas-an sa pangunang karga, hunahunaa kon mahimo ba kini pulihan sa usa ka bolted, O-ring-sealed o electron-beam-welded configuration.

Asa Gigamit ang 6061-T6 sa Kagamitan sa Semiconductor

Mga lawas sa vacuum chamber, mga taklob ug mga tabon sa tumoy

Mga base plate, mounting plate ug tooling plate nga nanginahanglan og pagkapatag ug pagkagahi

Mga sangkap sa istruktura nga load-lock ug transfer-chamber

Mga manifold sa paghatud sa gas, mga bloke sa balbula ug mga lawas sa pag-mount sa MFC

Mga bayanan sa kamara, mga bracket ug mga trabaho sa istruktura nga sub-fab

Mga backing plate ug mga hardware sa elektrod nga wala maladlad sa proseso

Mga sangkap sa ultra-high vacuum chamber, diin ang hubo (wala gi-anod) nga materyal gitino

Pagkuha og Kwotasyon

Ipadala ang drowing o 3D model, ang alloy ug temper, ug ang gibag-on sa plate nga imong gikonsiderar. Ang MIANDI METAL GROUP nagsuplay sa 6061-T6 ug T651 gikan sa stock ug nagkutlo sa materyal nga adunay first operation rough machining isip usa ka single line item.