6061-T6 د سیمیکمډکټر ویکیوم چیمبر بدنونو، بیس پلیټونو او ساختماني چوکاټونو لپاره ډیفالټ المونیم الیاژ دی. دا د تودوخې درملنې وړ ځواک 290 ~ 310 MPa حتمي تناسلي ځواک سره د غوره ماشین وړتیا او د فشار راحت وروسته د وړاندوینې وړ ابعادي چلند سره یوځای کوي. دا لارښود د هغې کیمیاوي جوړښت، میخانیکي او فزیکي ملکیتونه، څلور ملکیتونه چې په حقیقت کې د چیمبر جوړښت ټاکي، او هغه تجهیزات چې کارول کیږي ټاکي، نو الیاژ ستاسو د خپل مشخصاتو سره سم چیک کیدی شي.
ولې 6061-T6 د ډیفالټ چیمبر الیاژ شو؟
۶۰۶۱ د اورښت سختونکی دیالمونیم-مګنیزیم-سیلیکون الیاژ. د دې قوت د Mg₂Si precipitates څخه راځي چې د T6 درملنې په جریان کې رامینځته کیږي، د محلول تودوخې درملنه وروسته مصنوعي عمر ورکول کیږي نه د سړې کار څخه. دا توپیر په سوداګریزه توګه مهم دی: قوت د مل د تودوخې درملنې لخوا ټاکل کیږي، نو تاسو قوت د ماشین کولو پرځای اخلئ.
درې عملي ځانګړتیاوې 6061 د مشخصاتو پاڼې په سر کې ساتي:
- د ماشین کولو وړتیا. دا په لوړه کچه په آزاده توګه پرې کوي، کوم چې د چیمبر بدن غوښتنه کوي. د 200 ملي میتر پلیټ د 60 ملي میتر دیوال ته ښکته کول یو سخت عملیات دی، نه د پای ته رسولو.
- په درانه پلیټ کې شتون. د چیمبر باډي ډیری وختونه د یو واحد واحد بلاک څخه ماشین کیږي، او 6061 په لوی ضخامت کې ذخیره کیږي - د 1.5 ټنه بدن کاسټینګ یا ویلډمینټ ته اړتیا نلري.
- د ویلډ کولو وړتیا. د ۲۰۲۴ یا ۷۰۷۵ برعکس، ۶۰۶۱ ویلډونه پرته له درزونو، کوم چې د فلانجونو، باسونو او د یخولو چینل داخلولو لپاره مهم دي.
6061-T6 کیمیاوي جوړښت
| عنصر | لږ تر لږه (واټ٪) | اعظمي (د وزن٪)) |
| المونیم | ۹۵.۸۵ | ۹۸.۵۶ |
| مګنیزیم | ۰.۸۰ | ۱.۲۰ |
| سیلیکون | ۰.۴۰ | ۰.۸۰ |
| اوسپنه | - | ۰.۷۰ |
| مسو | ۰.۱۵ | ۰.۴۰ |
| کرومیم | - | ۰.۳۵ |
| زنک | - | ۰.۲۵ |
| ټایټانیوم | - | ۰.۱۵ |
| منګنیز | - | ۰.۱۵ |
د مسو لړۍ ته پام وکړئ. دا په قصدي ډول د الیاژ اضافه کول دي، اودا هم یوازینی تر ټولو عام دیولې یو سیمیکمډکټر پیرودونکی د پروسې سره مخ شوي سطحې لپاره 6061 ردوي لاندې وګورئ.
۶۰۶۱-T۶ میخانیکي او فزیکي ځانګړتیاوې
| ملکیت | ارزښت | یادښتونه |
| د کشش وروستۍ ځواک | 290 MPa دقیقه / 310 MPa عادي (42 / 45 ksi) | د T6 مزاج |
| د کشش حاصل ورکولو ځواک | 240 MPa دقیقه / 270 MPa عادي (35 / 39 ksi) | د T6 مزاج |
| اوږدوالی | ۸٪ (≤۶.۳۵ ملي متره) / ۱۰٪ (ډېر غټه برخه) | غټ پلیټ په کشش کې ډیر انعطاف منونکی دی |
| د ځوان ماډول | ۶۸~۶۹ جي پي اې | په مؤثره توګه له مزاجه خپلواک |
| کثافت | ۲.۷۰ ګرامه/سانتي متره | |
| د تودوخې چالکتیا | په ۲۵ درجو سانتي ګراد کې ≈۱۵۲ W/(m·K) | د خالص المونیم په پرتله نږدې دوه پر دریمه برخه |
| د حرارتي انبساط ضريب | ۲۳.۲ × ۱۰⁻⁶ /کلومیټره | د فلانج څخه تر فلانج پورې ودې لپاره اړونده |
| سختۍ | ≈۹۳ هیپټایټس |
د چیمبر ډیزاین لپاره، د 152 W/(m·K) شاوخوا حرارتي چالکتیا هغه شمیره ده چې ډیری پریکړې پرمخ وړي: دومره لوړ چې د فعال یخ شوي بدنونو او پیډسټل بیکینګ پلیټونو لپاره 6061 د اعتبار وړ کړي، دومره ټیټ چې د لوی بدن په اوږدو کې د تودوخې تدریجي لاهم ماډل کولو ته اړتیا لري.
څلور ملکیتونه چې په حقیقت کې د خونې جوړولو پریکړه کوي
۱. د ماشین کولو وروسته ابعادي ثبات
په رول شوي پلیټ کې پاتې فشار د موادو لرې کولو سره خوشې کیږي، نو یو بدن چې په یوه پاس کې خام ماشین شوی او بیا پای ته رسیږي حرکت کوي. معیاري کمولو T651 دی: د محلول تودوخه درملنه کیږي، د غځولو له لارې فشار کم شوی، بیا په مصنوعي ډول عمر لري. T651 په اصل کې د T6 په څیر ورته میخانیکي ځانګړتیاوې لري مګر د درنو سټاک لرې کولو وروسته خورا ښه ابعادي وړاندوینې وړتیا لري.
د هر هغه بدن لپاره چې د بشپړ شوي دیوال ضخامت د پیل شوي پلیټ ضخامت له نیمایي څخه کم وي، T651 مشخص کړئ او د فشار کمولو یا نیمه پای ته رسیدو ترمنځ د خړپړتیا او پای ته رسیدو پلان جوړ کړئ.
2. د ویکیوم مطابقت او د سطحې درملنه
المونیم پخپله یو مناسب ویکیوم مواد دی، خالي المونیم نسبتا ټیټ داخلي ګاز لري، او 6061 د اوږدې مودې راهیسې د الټرا لوړ ویکیوم چیمبر جوړولو کې کارول کیږي. په هرصورت، انودیز کول ستاسو په وړاندې کار کوي. د سوري انوډیک آکسایډ طبقه د اوبو بخار بندوي او په چیمبر کې د هغې خوشې کول د پام وړ زیاتوي.
د ویکیوم اړخ سطحې: خالي، کیمیاوي پاک شوي او غیر فعال المونیم. هغه سطحې مه انودیز کوئ چې د پروسې حجم سره مخ دي.
د اتموسفیر اړخ او غیر خلا سطحې: انودیز کول ښه دي، او د اغوستلو او سمبالولو ساتنې لپاره ګټور دي.
که چیرې یو پوښ د ویکیوم اړخ سطحې باندې اړین وي: دا د چیمبر کنډیشن کولو پریکړې په توګه وګڼئ او د پمپ کولو اضافي وخت بودیجه کړئ.
۳. د پروسس سره مخ شوي سطحو کې د مسو مینځپانګه
۶۰۶۱ کې ۰.۱۵-۰.۴۰٪ مس شامل دي، او مس په ډیری سیمیکمډکټر پروسې چاپیریالونو کې یو کنټرول شوی ککړونکی دی. چیرې چې سطحه د پروسې حجم سره مخ کیږي او د فلزي-ایون ککړتیا یو کنټرول شوی پیرامیټر وي، معمول انتخاب د ټیټ مسو ۵۰۰۰ الیاژ ته بدلیږي - لاندې لینک شوي ۵۰۸۳ او ۵۰۵۲ لارښودونه وګورئ. چیرې چې سطحه د اتموسفیر اړخ کې وي، یا د پروسې په لاره کې نه وي،د 6061 مسو مقدار په نورمال ډول دیدا یوه غیر مسله ده. دا د سطحې سره د مخامخ کیدو پوښتنه ده، چې د الیاژ په الیاژ پرځای یې په جزوي ډول ځواب ورکړل شوی دی.
۴. ویلډینګ، او هغه ځواک چې تاسو یې په حقیقت کې ترلاسه کوئ
۶۰۶۱ د ۴۰۴۳ یا ۵۳۵۶ فلر سره د TIG یا MIG په واسطه ښه ویلډ کیږي. د تودوخې اغیزمن شوی زون بیا د باران ډیری سختیدل له لاسه ورکوي او تقریبا د T4 موادو په څیر چلند کوي، د ځواک ضایع شاوخوا ۴۰٪. پرته لدې چې اسمبلۍ بیا محلول درملنه او عمر نه وي (په ندرت سره په لوی چیمبر باډي کې عملي وي)، د المونیم ډیزاین لارښود لخوا وړاندیز شوی د ویلډ شوي ډیزاین الاؤنس ۱۶۵ MPa (۲۴ ksi) دی چې د ویلډ سره نږدې دی، نه ۲۴۰ MPa.
له همدې امله بشپړ ځواک 6061 د اسمبلۍ په ماشین شوي برخو کې دی، او ویلډ شوي ځانګړتیاوې باید د 165 MPa په مقابل کې اندازه شي. چیرې چې ویلډ شوی جوڑ باید لومړني بار ولري، په پام کې ونیسئ چې ایا دا د بولټ شوي، O-ring-sealed یا الکترون-بیم-welded ترتیب سره بدلیدلی شي.
چیرته چې 6061-T6 په سیمیکمډکټر تجهیزاتو کې کارول کیږي
د ویکیوم چیمبر بدنونه، پوښونه او پای پوښونه
د اساس پلیټونه، نصب کونکي پلیټونه او د وسایلو پلیټونه چې فلیټ او سختۍ ته اړتیا لري
د بار بندولو او لیږد خونې ساختماني برخې
د ګاز رسولو مینفولډونه، والو بلاکونه او د MFC نصب کولو باډي
د چیمبر چوکاټونه، قوسونه او فرعي فابریکه ساختماني کار
د ملاتړ پلیټونه او غیر پروسس شوي الکترود هارډویر
د الټرا لوړ ویکیوم چیمبر اجزا، چیرې چې خالي (غیر انودیز شوي) مواد مشخص شوي دي
نرخ ترلاسه کړئ
انځور یا درې بعدي ماډل، الیاژ او تودوخه، او د پلیټ ضخامت چې تاسو یې په پام کې لرئ واستوئ. MIANDI METAL GROUP د سټاک څخه 6061-T6 او T651 چمتو کوي او د لومړي عملیاتي رف ماشینینګ سره د واحد لاین توکي په توګه مواد نقلوي.
د پوسټ وخت: سپتمبر-۱۵-۲۰۲۶