૫૦૫૨ વિ ૫૦૮૩ એલ્યુમિનિયમ: સેમિકન્ડક્ટર વેક્યુમ ચેમ્બર મેન્યુફેક્ચરિંગ માટે મુખ્ય એપ્લિકેશન તફાવતો

સેમિકન્ડક્ટર વેક્યુમ ચેમ્બર એચિંગ, પીવીડી ડિપોઝિશન અને આયન ઇમ્પ્લાન્ટેશન પ્રક્રિયાઓ માટે કોર સીલબંધ કેરિયર્સ તરીકે કાર્ય કરે છે, અયોગ્ય એલોય પસંદગી ઉચ્ચ આઉટગેસિંગ, સ્ટ્રક્ચરલ ડિફ્લેક્શન અથવા વેક્યુમ લિકેજને ઉત્તેજિત કરે છે, જે વેફર ઉત્પાદન ઉપજને સીધી રીતે ઘટાડે છે. 5052 H32 અને 5083 H321 બંને નોન-હીટ-ટ્રીટેબલ Al-Mg ના છે.ઘડાયેલા એલ્યુમિનિયમ ગ્રેડ,છતાં વિવિધ મેગ્નેશિયમ અને મેંગેનીઝ રચનાઓ તેમના લાગુ પડતા સેમિકન્ડક્ટર કેવિટી દૃશ્યોને મૂળભૂત રીતે વિભાજિત કરે છે.

રસાયણશાસ્ત્ર કામગીરીની સીમા નક્કી કરે છે. 5052 માં 2.2~2.8 wt% Mg છે જેમાં સીમાંત Mn તત્વ 0.1% થી નીચે છે, જ્યારે 5083 અનાજ શુદ્ધિકરણ અને ઘન-દ્રાવણ મજબૂતીકરણ માટે Mg સામગ્રીને 4.0~4.9% વત્તા 0.4~1.0% મેંગેનીઝમાં અપગ્રેડ કરે છે. આ રચનાત્મક અંતર 5083 પર 38~42% ઉચ્ચ અંતિમ તાણ શક્તિ પ્રદાન કરે છે (310~320MPa વિરુદ્ધ 5052 ના 215~230MPa), જે સેમિકન્ડક્ટર હાઉસિંગ ડિઝાઇન માટે તેમનો પ્રથમ એપ્લિકેશન વોટરશેડ બનાવે છે.

૫૦૫૨ મિડ-એન્ડ સેમિકન્ડક્ટર સાધનોમાં કોમ્પેક્ટ, જટિલ-પ્રોફાઇલ ટ્રાન્સફર ચેમ્બર અને નાના લોડ-લોક એન્ક્લોઝર પર પ્રભુત્વ ધરાવે છે. તેની શ્રેષ્ઠ કોલ્ડ ફોર્મેબિલિટી અને ડ્યુક્ટિલિટી મલ્ટિ-એક્સિસ CNC ડીપ પોકેટ મશીનિંગ, જટિલ કૂલિંગ ચેનલ મિલિંગ અને સ્પ્રિંગબેક ડિફોર્મેશન વિના પાતળા ફ્લેંજ ઇન્ટિગ્રેટેડ ફોર્મિંગને સરળ બનાવે છે. એલોય ચોકસાઇ ઇલેક્ટ્રોપોલિશિંગ પછી ૧૦⁻⁸ ટોર·એલ/(સે·સેમી²) ની નીચે નિયંત્રિત નીચા આઉટગેસિંગ રેટ ધરાવે છે, જે બેચ પ્રકારના નાના વોલ્યુમ પ્રક્રિયા પોલાણ માટે અલ્ટ્રા હાઇ વેક્યુમ (UHV) મૂળભૂત સીલિંગ ધોરણો સાથે મેળ ખાય છે. ખર્ચ કાર્યક્ષમતા એ બીજી હાઇલાઇટ છે: ૫૦૫૨ ના કાચા માલનો ખર્ચ ૫૦૮૩ ની વિરુદ્ધ ૧૨~૧૫% કાપે છે, જે OEM માસ ઉત્પાદિત પ્રમાણભૂત સેમિકન્ડક્ટર પેરિફેરલ કેસીંગ અને સહાયક સેન્સર માઉન્ટિંગ પોલાણ માટે આદર્શ છે. અમારી ફેક્ટરી ઉચ્ચ-વોલ્યુમ બ્લેન્કિંગને અનુભવે છે અને૫૦૫૨ શીટ્સનું મશીનિંગ પૂર્ણ કરો, સોલિડ બાર અને સીમલેસ એલ્યુમિનિયમ ટ્યુબ જેમાં પાંચ-અક્ષ CNC મશીનિંગ કેન્દ્રો દ્વારા ±0.003mm પરિમાણીય સહિષ્ણુતા છે.

હેવી ડ્યુટી મુખ્ય પ્રક્રિયા ચેમ્બરમાં શિફ્ટ કરો, અને 5083 બદલી ન શકાય તેવું બની જાય છે. તેની વધેલી યાંત્રિક કઠોરતા ડિપોઝિશન પોલાણની અંદર ઉચ્ચ-નીચા તાપમાને વૈકલ્પિક કાર્યકારી પરિસ્થિતિઓ હેઠળ ચક્રીય વેક્યુમ ડિફરન્શિયલ પ્રેશર વિકૃતિ અને વારંવાર થર્મલ સાયકલિંગ ક્રીપનો પ્રતિકાર કરે છે. H321 ટેમ્પર્ડ 5083 માં હેલોજન-આધારિત કાટવાળું પ્રક્રિયા ગેસ સામે ઑપ્ટિમાઇઝ્ડ સ્ટ્રેસ કોરોઝન ક્રેકીંગ (SCC) પ્રતિકાર છે, જે ફ્લોરિન ધરાવતા પ્લાઝ્મા વાતાવરણના સંપર્કમાં આવતા અદ્યતન ઇચ સાધનો માટે મહત્વપૂર્ણ છે. સુપિરિયર ક્રાયોજેનિક કઠિનતા સબ-ઝીરો ઓપરેશનલ વાતાવરણમાં ચાલતા નીચા તાપમાન સેમિકન્ડક્ટર પ્રક્રિયા ચેમ્બરમાં વધુ ફિટ થાય છે, થર્મલ શોક હેઠળ બરડ ક્રેક નિષ્ફળતાને ટાળે છે.

અમારી ઇન-હાઉસ ઉત્પાદન શક્તિ બંને એલોય માટે કસ્ટમાઇઝ્ડ મશીનિંગને ટેકો આપે છે. ક્લાસ 10,000 ક્લીન વર્કશોપ, હિલીયમ માસ સ્પેક્ટ્રોમીટર લીક ડિટેક્ટર અને ઓટોમેટિક અલ્ટ્રાસોનિક ક્લિનિંગ લાઇનથી સજ્જ, અમે એલ્યુમિનિયમ સ્લેબ કટીંગ, પ્રિસિઝન CNC મશીનિંગ, ઇનર્ટ-ગેસ TIG વેલ્ડીંગથી લઈને સેમિકન્ડક્ટર કેવિટી ઘટકો માટે અલ્ટ્રા ફાઇન સરફેસ ફિનિશિંગ સુધીની વન-સ્ટોપ સેવા પૂરી કરીએ છીએ. માસિક આઉટપુટ 35 ટનથી વધુ ફિનિશ્ડ 5052/5083 મશીન્ડ ભાગોને હિટ કરે છે, જેમાં કસ્ટમ એલ્યુમિનિયમ પ્લેટ, સોલિડ એલ્યુમિનિયમ બાર અને હોલો એલ્યુમિનિયમ ટ્યુબ કાચા સ્ટોક સપ્લાય સાથે ફિનિશ્ડ ચેમ્બર ફેબ્રિકેશનનો સમાવેશ થાય છે.

ગ્રેડ ચૂંટવા અંગે મૂંઝવણમાં મુકાયેલા ગ્રાહકો માટે:હળવા વજન માટે 5052 પસંદ કરો, ખર્ચ સંવેદનશીલ જટિલ નાના પોલાણ. મોટા કદ, ઉચ્ચ ભાર, કાટ લાગતા પર્યાવરણ કોર પ્રક્રિયા ચેમ્બર માટે 5083 પસંદ કરો. અમારી એન્જિનિયરિંગ ટીમ તમારા સેમિકન્ડક્ટર એન્ક્લોઝર પ્રાપ્તિ બજેટ અને લાંબા ગાળાના સાધનોની સ્થિરતાને શ્રેષ્ઠ બનાવવા માટે મફત FEA માળખાકીય સિમ્યુલેશન અને સામગ્રી પસંદગી પરામર્શ પ્રદાન કરે છે.

https://www.aviationaluminum.com/


પોસ્ટ સમય: જૂન-૧૨-૨૦૨૬
વોટ્સએપ ઓનલાઈન ચેટ!