Buồng chân không bán dẫn đóng vai trò là vật mang kín lõi cho các quy trình khắc, lắng đọng PVD và cấy ion; việc lựa chọn hợp kim không phù hợp sẽ gây ra hiện tượng thoát khí cao, biến dạng cấu trúc hoặc rò rỉ chân không, làm giảm trực tiếp năng suất sản xuất wafer. Cả 5052 H32 và 5083 H321 đều thuộc loại hợp kim Al-Mg không thể xử lý nhiệt.các loại nhôm rèn,Tuy nhiên, thành phần magiê và mangan khác nhau đã chia tách chúng thành các kịch bản khoang bán dẫn áp dụng khác nhau một cách cơ bản.

Thành phần hóa học quyết định giới hạn hiệu năng. Hợp kim 5052 chứa 2,2~2,8% Mg theo trọng lượng với hàm lượng Mn rất thấp, dưới 0,1%, trong khi hợp kim 5083 nâng hàm lượng Mg lên 4,0~4,9% cộng thêm 0,4~1,0% mangan để tinh luyện hạt và tăng cường độ bền dung dịch rắn. Sự khác biệt về thành phần này mang lại độ bền kéo tối đa cao hơn 38~42% cho hợp kim 5083 (310~320MPa so với 215~230MPa của 5052), tạo nên bước ngoặt ứng dụng đầu tiên của chúng trong thiết kế vỏ bán dẫn.

Hợp kim 5052 chiếm ưu thế trong các buồng truyền tải nhỏ gọn, có cấu hình phức tạp và các vỏ khóa tải nhỏ trong thiết bị bán dẫn tầm trung. Khả năng tạo hình nguội và độ dẻo vượt trội của nó giúp đơn giản hóa việc gia công hốc sâu CNC đa trục, phay kênh làm mát phức tạp và tạo hình tích hợp mặt bích mỏng mà không bị biến dạng đàn hồi. Hợp kim này có tốc độ thoát khí thấp được kiểm soát dưới 10⁻⁸ Torr·L/(s·cm²) sau khi đánh bóng điện hóa chính xác, đáp ứng các tiêu chuẩn niêm phong cơ bản chân không cực cao (UHV) cho các khoang xử lý thể tích nhỏ theo lô. Hiệu quả chi phí là một điểm nổi bật khác: chi phí nguyên vật liệu của 5052 giảm 12~15% so với 5083, lý tưởng cho việc sản xuất hàng loạt vỏ thiết bị ngoại vi bán dẫn tiêu chuẩn và các khoang gắn cảm biến phụ trợ của OEM. Nhà máy của chúng tôi thực hiện dập cắt khối lượng lớn vàGia công hoàn thiện các tấm 5052Các thanh đặc và ống nhôm liền mạch với dung sai kích thước ±0,003mm được gia công bằng máy CNC năm trục.

Khi chuyển sang các buồng xử lý chính chịu tải nặng, vật liệu 5083 trở nên không thể thay thế. Độ cứng cơ học cao của nó giúp chống lại biến dạng do áp suất chênh lệch chân không theo chu kỳ và hiện tượng rão do chu kỳ nhiệt lặp đi lặp lại trong điều kiện làm việc luân phiên nhiệt độ cao-thấp bên trong các khoang lắng đọng. Vật liệu 5083 được tôi luyện bằng H321 có khả năng chống nứt ăn mòn do ứng suất (SCC) tối ưu đối với khí xử lý ăn mòn gốc halogen, rất quan trọng đối với các thiết bị khắc tiên tiến tiếp xúc với môi trường plasma chứa flo. Độ bền ở nhiệt độ cực thấp vượt trội càng phù hợp hơn với các buồng xử lý bán dẫn nhiệt độ thấp hoạt động trong môi trường dưới 0 độ C, tránh được hiện tượng nứt giòn do sốc nhiệt.

Năng lực sản xuất nội bộ của chúng tôi hỗ trợ gia công tùy chỉnh cho cả hai loại hợp kim. Được trang bị xưởng sạch cấp 10.000, máy dò rò rỉ quang phổ khối heli và dây chuyền làm sạch siêu âm tự động, chúng tôi cung cấp dịch vụ trọn gói từ cắt tấm nhôm, gia công CNC chính xác, hàn TIG khí trơ đến hoàn thiện bề mặt siêu mịn cho các linh kiện khoang bán dẫn. Sản lượng hàng tháng đạt hơn 35 tấn chi tiết gia công hoàn thiện 5052/5083, bao gồm cung cấp nguyên liệu thô dạng tấm nhôm, thanh nhôm đặc và ống nhôm rỗng tùy chỉnh cùng với việc chế tạo buồng hoàn chỉnh.

Dành cho khách hàng đang phân vân về việc chọn loại sản phẩm:Chọn 5052 để có trọng lượng nhẹ.Đối với các khoang nhỏ phức tạp, nhạy cảm về chi phí, hãy chọn 5083. Hãy chọn loại này cho các buồng xử lý lõi kích thước lớn, tải trọng cao, môi trường ăn mòn. Đội ngũ kỹ sư của chúng tôi cung cấp dịch vụ mô phỏng cấu trúc FEA và tư vấn lựa chọn vật liệu miễn phí để tối ưu hóa ngân sách mua sắm vỏ bán dẫn và độ ổn định lâu dài của thiết bị.