Pooljuhtide vaakumkambrid toimivad söövitamise, PVD-sadestamise ja ioonide implanteerimise protseduuride jaoks suletud südamikuga kandjatena; vale sulami valik põhjustab suure gaaside eraldumise, struktuuri läbipainde või vaakumlekke, mis vähendab otseselt kiipide tootmissaagist. Nii 5052 H32 kui ka 5083 H321 kuuluvad mittekuumtöödeldava Al-Mg hulka.sepistatud alumiiniumi klassid,Kuid erinevad magneesiumi ja mangaani koostised jagavad oma rakendatavad pooljuhtõõnsuste stsenaariumid põhimõtteliselt.

Keemia seab jõudluspiirid. 5052 sisaldab 2,2–2,8 massiprotsenti magneesiumi, mille marginaalne Mn sisaldus on alla 0,1%, samas kui 5083 suurendab magneesiumisisaldust 4,0–4,9%-ni, millele lisandub 0,4–1,0% mangaani terade peenemaks muutmiseks ja tahke lahuse tugevdamiseks. See koostiseline erinevus annab 5083-le 38–42% suurema tõmbetugevuse (310–320 MPa vs 5052 215–230 MPa), moodustades nende esimese pooljuhtide korpuste disaini rakenduse veekogu.

5052 domineerib kompaktsete, keeruka profiiliga ülekandekambrite ja väikeste koormuslukkudega korpuste puhul keskmise klassi pooljuhtseadmetes. Selle suurepärane külmvormitavus ja venivus lihtsustavad mitmeteljelist CNC-sügavate taskute töötlemist, keerukat jahutuskanalite freesimist ja õhukese ääriku integreeritud vormimist ilma vedrudeformatsioonita. Sulamil on kontrollitud madal gaasieralduskiirus pärast täppis-elektropoleerimist alla 10⁻⁸ Torr·L/(s·cm²), mis vastab ülikõrge vaakumi (UHV) põhilistele tihendusstandarditele partiitüüpi väikesemahuliste protsessiõõnsuste jaoks. Kulutõhusus on veel üks oluline punkt: 5052 toorainekulu väheneb 12–15% võrreldes 5083-ga, mis sobib ideaalselt OEM-i masstootmises toodetud standardsete pooljuhtide väliskestade ja abiandurite kinnitusõõnsuste jaoks. Meie tehas teostab suuremahulisi tühjendus- ja...5052 lehe viimistlustöötlus, massiivvardad ja õmblusteta alumiiniumtorud ±0,003 mm mõõtmete tolerantsiga viieteljeliste CNC-töötluskeskuste abil.

Üleminek vastupidavatele põhiprotsessikambritele muudab 5083 asendamatuks. Selle suurenenud mehaaniline jäikus peab vastu tsüklilisele vaakumrõhu diferentsiaaldeformatsioonile ja korduvale termilisele roomele vahelduvates kõrge-madala temperatuuri tingimustes sadestusõõnsuste sees. H321 karastatud 5083-l on optimeeritud pingekorrosioonikindlus (SCC) halogeenipõhise söövitava protsessigaasi suhtes, mis on kriitilise tähtsusega täiustatud söövitusseadmete jaoks, mis puutuvad kokku fluori sisaldava plasmaatmosfääriga. Suurem krüogeenne vastupidavus sobib lisaks madala temperatuuriga pooljuhtide protsessikambritele, mis töötavad alla nulli temperatuuriga töökeskkonnas, vältides hapruse purunemist termilise löögi korral.

Meie ettevõttesisene tootmisjõud toetab mõlema sulami kohandatud töötlemist. Varustatud 10 000 klassi puhastustöökoja, heeliumi massispektromeetri lekkedetektori ja automaatse ultraheli puhastusliiniga, pakume universaalteenust alates alumiiniumplaatide lõikamisest, täppis-CNC-töötlusest, inertgaasis TIG-keevitusest kuni pooljuhtide õõnsuskomponentide ülipeenpinna viimistluseni. Kuutoodang ulatub üle 35 tonni valmis 5052/5083 töödeldud osi, hõlmates kohandatud alumiiniumplaatide, täisalumiiniumlattide ja õõnesalumiiniumtorude toormaterjali tarnimist koos valmis kambrite valmistamisega.

Klientidele, kes on klassi valiku osas segaduses:Kerge kaalu korral vali 5052, kulutundlikud keerukad väikesed õõnsused. Suuremõõtmeliste, suure koormusega ja korrosiivse keskkonnaga südamiku protsessikambrite jaoks valige 5083. Meie insenerimeeskond pakub tasuta FEA struktuurisimulatsiooni ja materjalivaliku konsultatsiooni, et optimeerida teie pooljuhtide korpuste hanke eelarvet ja seadmete pikaajalist stabiilsust.