Polovodičové vakuové komory fungují jako nosiče s utěsněným jádrem pro leptání, PVD depozici a iontovou implantaci. Nesprávný výběr slitiny způsobuje vysoké odplyňování, strukturální deformaci nebo vakuový únik, což přímo snižuje výtěžnost výroby destiček. Jak 5052 H32, tak 5083 H321 patří do skupiny tepelně nezpracovatelných Al-Mg slitin.tvářené hliníkové třídy,Přesto odlišné složení hořčíku a manganu zásadně rozděluje jejich použitelné scénáře polovodičových dutin.

Chemie stanovuje hranice výkonu. Slitina 5052 obsahuje 2,2~2,8 hmotnostních % Mg s okrajovým obsahem prvku Mn pod 0,1 %, zatímco slitina 5083 zvyšuje obsah Mg na 4,0~4,9 % plus 0,4~1,0 % manganu pro zjemnění zrna a zpevnění v pevném roztoku. Tento rozdíl ve složení přináší slitině 5083 o 38~42 % vyšší mez pevnosti v tahu (310~320 MPa vs. 215~230 MPa u slitiny 5052), což tvoří jejich první aplikační zlom pro návrh polovodičových pouzder.

Slitina 5052 dominuje kompaktním, komplexně profilovaným přenosovým komorám a malým krytům s uzávěrem zatížení ve střední třídě polovodičových zařízení. Její vynikající tvárnost za studena a tažnost zjednodušují víceosé CNC obrábění hlubokých kapes, frézování složitých chladicích kanálů a tváření tenkých přírub integrovaných do materiálu bez pružné deformace. Slitina se pyšní kontrolovanou nízkou rychlostí odplyňování pod 10⁻⁸ Torr·L/(s·cm²) po přesném elektrolytickém leštění, což splňuje základní standardy těsnění pro ultravysoké vakuum (UHV) pro dávkové procesní dutiny malého objemu. Dalším kladem je cenová efektivita: spotřeba surovin u slitiny 5052 se snižuje o 12~15 % oproti 5083, což je ideální pro sériově vyráběné standardní polovodičové periferní pouzdra a dutiny pro montáž pomocných senzorů dle originálních zařízení. Naše továrna realizuje velkoobjemové stříhání adokončovací obrábění 5052 plechů, plné tyče a bezešvé hliníkové trubky s rozměrovou tolerancí ±0,003 mm pomocí pětiosých CNC obráběcích center.

Přechodem na vysoce odolné hlavní procesní komory se ocel 5083 stává nenahraditelnou. Její zvýšená mechanická tuhost odolává cyklické deformaci vakuovým rozdílem tlaku a opakovanému tepelnému cyklickému tečení za střídavých pracovních podmínek s vysokou a nízkou teplotou uvnitř depozičních dutin. Popuštěná ocel 5083 s technologií H321 se vyznačuje optimalizovanou odolností proti koroznímu praskání pod napětím (SCC) v korozivním procesním plynu na bázi halogenů, což je klíčové pro pokročilá leptací zařízení vystavená plazmové atmosféře obsahující fluor. Vynikající kryogenní houževnatost se dále hodí pro nízkoteplotní polovodičové procesní komory pracující v prostředí pod bodem mrazu, čímž se zabrání křehkému praskání v důsledku tepelného šoku.

Naše vlastní výrobní síla podporuje zakázkové obrábění obou slitin. Vybaveni čistou dílnou třídy 10 000, detektorem úniků s hmotnostním spektrometrem s heliem a automatickou ultrazvukovou čisticí linkou, poskytujeme komplexní služby od řezání hliníkových bram, přesného CNC obrábění, TIG svařování v inertním plynu až po ultrajemné povrchové úpravy polovodičových dutinových součástek. Měsíční produkce dosahuje více než 35 tun hotových obráběných dílů 5052/5083, včetně dodávek zakázkových hliníkových plechů, plných hliníkových tyčí a dutých hliníkových trubek, stejně jako výroby hotových komor.

Pro klienty, kteří si nejsou jisti výběrem stupně kvality:pro lehkou konstrukci zvolte 5052, cenově dostupné komplexní malé dutiny. Pro velké procesní komory s vysokým zatížením a korozivním prostředím zvolte 5083. Náš technický tým poskytuje bezplatnou strukturální simulaci metodou konečných prvků a konzultace ohledně výběru materiálů pro optimalizaci rozpočtu na pořízení polovodičového krytu a dlouhodobou stabilitu zařízení.