Puslaidininkių vakuuminės kameros veikia kaip sandarūs nešėjai ėsdinimo, PVD nusodinimo ir jonų implantavimo procedūroms, o netinkamas lydinio pasirinkimas sukelia didelį dujų išsiskyrimą, konstrukcijos deformaciją arba vakuuminį nuotėkį, o tai tiesiogiai sumažina plokštelių gamybos našumą. Tiek 5052 H32, tiek 5083 H321 priklauso termiškai neapdorojamiems Al-Mg lydiniams.kaltinio aliuminio rūšys,tačiau skirtingos magnio ir mangano kompozicijos iš esmės padalija savo taikomus puslaidininkių ertmių scenarijus.

Chemija nustato našumo ribas. 5052 sudėtyje yra 2,2–2,8 % masės Mg, o ribinis Mn elemento kiekis yra mažesnis nei 0,1 %, o 5083 padidina Mg kiekį iki 4,0–4,9 % ir prideda 0,4–1,0 % mangano, kad būtų galima smulkinti grūdelius ir sustiprinti kietojo tirpalo būseną. Šis sudėties skirtumas užtikrina 38–42 % didesnį 5083 maksimalų tempiamąjį stiprumą (310–320 MPa, palyginti su 215–230 MPa, kaip 5052), ir tai yra pirmasis jų pritaikymo etapas puslaidininkių korpusų konstrukcijoje.

5052 dominuoja kompaktiškų, sudėtingo profilio perdavimo kamerų ir mažų krovinių užraktų korpusų srityje vidutinės klasės puslaidininkinėje įrangoje. Dėl puikaus šaltojo formavimo ir tąsumo supaprastinamas daugiaašis CNC gilių kišenių apdirbimas, sudėtingas aušinimo kanalų frezavimas ir plonų flanšų integruotas formavimas be spyruoklinės deformacijos. Lydinys pasižymi kontroliuojamu mažu dujų išsiskyrimo greičiu, mažesniu nei 10⁻⁸ Torr·L/(s·cm²) po tikslaus elektropoliravimo, atitinkančiu itin aukšto vakuumo (UHV) pagrindinius sandarinimo standartus, skirtus partijos tipo mažo tūrio procesų ertmėms. Dar vienas svarbus aspektas yra sąnaudų efektyvumas: 5052 žaliavų sąnaudos sumažėja 12–15 %, palyginti su 5083, todėl idealiai tinka OEM masinės gamybos standartiniams puslaidininkių periferiniams korpusams ir pagalbinių jutiklių tvirtinimo ertmėms. Mūsų gamykla įgyvendina didelio tūrio tuščiavidurius ir...5052 lakštų apdailos apdirbimas, vientisi strypai ir besiūliai aliuminio vamzdžiai su ±0,003 mm matmenų tolerancija, naudojant penkių ašių CNC apdirbimo centrus.

Perėjus prie itin tvirtų pagrindinių proceso kamerų, 5083 tampa nepakeičiamu. Padidintas mechaninis tvirtumas atlaiko ciklinę vakuuminio slėgio skirtumo deformaciją ir pasikartojantį terminį ciklinį šliaužimą esant kintamoms aukštos ir žemos temperatūros darbo sąlygoms nusodinimo ertmėse. H321 grūdintas 5083 pasižymi optimizuotu atsparumu įtempio korozijos įtrūkimams (SCC) halogenų pagrindu sukeltoms korozinėms proceso dujoms, o tai labai svarbu pažangiai ėsdinimo įrangai, veikiamai fluoro turinčios plazmos atmosferos. Didesnis kriogeninis atsparumas taip pat tinka žemos temperatūros puslaidininkių proceso kameroms, veikiančioms esant minusinei darbinei aplinkai, išvengiant trapių įtrūkimų dėl terminio šoko.

Mūsų gamybos pajėgumai užtikrina individualų abiejų lydinių apdirbimą. Įrengtos 10 000 klasės švarios dirbtuvės, helio masės spektrometro nuotėkio detektorius ir automatinė ultragarsinė valymo linija, teikiame visapusiškas paslaugas nuo aliuminio plokščių pjovimo, tikslaus CNC apdirbimo, inertinių dujų TIG suvirinimo iki itin smulkaus paviršiaus apdailos puslaidininkių ertmių komponentams. Mėnesinė produkcija siekia daugiau nei 35 tonas gatavų 5052/5083 apdirbtų detalių, įskaitant nestandartinių aliuminio plokščių, vientisų aliuminio strypų ir tuščiavidurių aliuminio vamzdžių žaliavų tiekimą, taip pat gatavų kamerų gamybą.

Klientams, kurie nesupranta, kaip pasirinkti klasę:rinkitės 5052, jei norite lengvo svorio, sąnaudoms jautrios sudėtingos mažos ertmės. Didelio dydžio, didelės apkrovos, korozinei aplinkai rinkitės 5083. Mūsų inžinierių komanda teikia nemokamas baigtinių elementų analizės (BEA) konstrukcinio modeliavimo ir medžiagų parinkimo konsultacijas, kad optimizuotų jūsų puslaidininkių korpusų pirkimo biudžetą ir ilgalaikį įrangos stabilumą.