5052 vs 5083 ál: Kjarnamunur á notkun fyrir framleiðslu á tómarúmsklefa hálfleiðara

Lofttæmishólf í hálfleiðurum virka sem kjarnaþéttir burðarefni fyrir etsun, PVD-útfellingu og jónaígræðslu. Óviðeigandi val á málmblöndu veldur mikilli útgasun, sveigju í byggingarbyggingu eða leka í lofttæmi, sem lækkar beint framleiðslugetu skífna. Bæði 5052 H32 og 5083 H321 tilheyra flokki Al-Mg sem ekki er hitameðhöndlanlegt.smíðað ál, flokkar,Samt sem áður skipta mismunandi magnesíum- og mangansamsetningar grundvallaratriðum í milli þeirra sem nota má í hálfleiðaraholum.

Efnafræðin setur mörkin fyrir afköstin. 5052 inniheldur 2,2~2,8% af Mg með jaðarmagni af Mn frumefni undir 0,1%, en 5083 hækkar Mg innihaldið í 4,0~4,9% auk 0,4~1,0% mangan fyrir kornhreinsun og styrkingu í föstu formi. Þessi munur í samsetningu skilar 38~42% hærri endanlega togstyrk 5083 (310~320MPa samanborið við 215~230MPa fyrir 5052), sem myndar fyrsta notkunarsvið þeirra fyrir hönnun hálfleiðarahúsa.

5052 er ríkjandi í þéttum, flóknum flutningshólfum og litlum læsingarhylkjum í miðlungsstórum hálfleiðarabúnaði. Framúrskarandi köldmótunarhæfni og teygjanleiki einfalda djúpa vasavinnslu með fjölása CNC, flókna kælirásarfræsingu og þunna flansmótun án fjöðrunaraflögunar. Málmblandan státar af stýrðum lágum útblásturshraða undir 10⁻⁸ Torr·L/(s·cm²) eftir nákvæma rafpólun, sem uppfyllir grunnþéttistaðla fyrir öfgahá lofttæmi (UHV) fyrir framleiðslurými í litlum framleiðslulotum. Hagkvæmni er annar hápunktur: hráefnisnotkun 5052 minnkar um 12~15% samanborið við 5083, sem er tilvalið fyrir fjöldaframleiddar hefðbundnar hálfleiðarahylki og festingarrými fyrir aukaskynjara. Verksmiðja okkar framkvæmir mikið magn af þéttingu og ...Lokvinnslu á 5052 blöðum, heilar stangir og samfelldar álrör með ±0,003 mm víddarþoli í gegnum fimm ása CNC vinnslumiðstöðvar.

Skiptið yfir í þungar aðalvinnsluklefa og 5083 verður óbætanlegur. Aukinn vélrænn stífleiki þess stendst aflögun í lofttæmisþrýstingi og endurtekna hitabreytingu við víxlhita í vinnuskilyrðum milli hás og lágs hitastigs inni í útfellingarholum. H321 hert 5083 býður upp á bjartsýni gegn spennutæringu (SCC) gegn tærandi ferlisgasi sem inniheldur halógen, sem er mikilvægt fyrir háþróaðan etsbúnað sem verður fyrir flúorinnihaldandi plasmaandrúmslofti. Yfirburða lágþolinn styrkur hentar enn fremur fyrir lághita hálfleiðaravinnsluklefa sem starfa við lægri hita og kemur í veg fyrir sprungur vegna hitaáfalls.

Framleiðslugeta okkar á staðnum styður við sérsniðna vinnslu fyrir báðar málmblöndurnar. Við erum búin 10.000 flokks hreinlætisverkstæði, lekagreiningartæki fyrir helíummassagreiningu og sjálfvirkri ómskoðunarhreinsunarlínu og bjóðum upp á heildarþjónustu, allt frá skurði á álplötum, nákvæmri CNC vinnslu, TIG suðu með óvirku gasi til fínni yfirborðsfrágangar fyrir hálfleiðarahluti. Mánaðarleg framleiðsla nær yfir 35 tonnum af fullunnum 5052/5083 vélrænum hlutum, þar á meðal sérsmíðuðum álplötum, álstöngum og holum álrörum, ásamt fullunninni smíði á hólfum.

Fyrir viðskiptavini sem eru ráðvilltir varðandi val á einkunn:Veldu 5052 fyrir léttvigt, kostnaðarnæm flókin lítil holrými. Veldu 5083 fyrir stór, mikið álagsmikil og tærandi kjarnaferla. Verkfræðiteymi okkar býður upp á ókeypis FEA byggingarhermun og ráðgjöf um efnisval til að hámarka fjárhagsáætlun fyrir innkaup á hálfleiðarahylkjum og langtímastöðugleika búnaðar.

https://www.aviationaluminum.com/


Birtingartími: 12. júní 2026
WhatsApp spjall á netinu!