Жарым өткөргүчтүү вакуумдук камералар оюу, PVD чөктүрүү жана ион имплантациялоо процедуралары үчүн өзөктүк герметикалык алып жүрүүчүлөр катары иштейт, эритмени туура эмес тандоо газдын көп бөлүнүп чыгышына, структуралык деформацияга же вакуумдук агып чыгууга алып келет, бул пластинанын өндүрүштүк өндүрүмдүүлүгүн түздөн-түз төмөндөтөт. 5052 H32 жана 5083 H321 экөө тең жылуулук менен иштетилбеген Al-Mgге таандык.иштетилген алюминий маркалары,бирок магний менен марганецтин ар кандай курамдары алардын колдонулуучу жарым өткөргүч көңдөйүнүн сценарийлерин түп-тамырынан бери бөлүп турат.

Химия иштин натыйжалуулугунун чегин аныктайт. 5052 курамында 2,2~2,8% салмактык магний бар, ал эми маржалык Mn элементи 0,1% дан төмөн, ал эми 5083 данды тазалоо жана катуу эритмени бекемдөө үчүн Mg курамын 4,0~4,9% га чейин жана 0,4~1,0% марганецке чейин жогорулатат. Бул курамдык ажырым 5083түн максималдуу созулууга туруктуулугун 38~42% жогорулатат (5052нин 215~230MPa каршы 310~320MPa), бул алардын жарым өткөргүч корпусту долбоорлоодо биринчи колдонуу бурчун түзөт.

5052 ортоңку жарым өткөргүч жабдууларында компакттуу, татаал профилдеги которуу камераларында жана кичинекей жүк бекитүүчү корпустарда үстөмдүк кылат. Анын жогорку муздак формага келүүсү жана ийкемдүүлүгү көп октуу CNC терең чөнтөктүү иштетүүнү, татаал муздатуу каналын фрезерлөөнү жана пружиналык деформациясыз жука фланецтүү интеграцияланган форманы жөнөкөйлөтөт. Эритме так электрожылоодон кийин 10⁻⁸ Torr·L/(s·cm²) төмөн көзөмөлдөнгөн төмөнкү газ бөлүп чыгаруу ылдамдыгына ээ, бул партиялык типтеги кичинекей көлөмдөгү процесстик көңдөйлөр үчүн ультра жогорку вакуумдук (UHV) негизги пломбалоо стандарттарына дал келет. Чыгымдардын натыйжалуулугу дагы бир өзгөчөлүк: 5052 чийки заттын чыгымы 5083кө салыштырмалуу 12~15% га кыскартат, бул OEM массалык түрдө өндүрүлгөн стандарттуу жарым өткөргүч перифериялык корпустар жана кошумча сенсордук орнотуу көңдөйлөрү үчүн идеалдуу. Биздин завод жогорку көлөмдөгү бланктоону жана...5052 барактарды акыркы иштетүү, беш октуу CNC иштетүү борборлору аркылуу ±0,003 мм өлчөмдүү толеранттуулукка ээ катуу тилкелер жана бирикпеген алюминий түтүктөр.

Оор жүк ташуучу негизги процесстик камераларга өтүү менен 5083 алмаштырылгыс болуп калат. Анын жогорку механикалык катуулук циклдик вакуумдук дифференциалдык басымдын деформациясына жана чөкмө көңдөйлөрүнүн ичиндеги жогорку-төмөн температурадагы кезектешип иштөө шарттарында кайталанган термикалык циклдик жылышууга туруштук берет. H321 чыңалган 5083 галоген негизиндеги коррозиялык процесстик газга каршы оптималдаштырылган стресстик коррозиялык жаракага (SCC) туруктуулукка ээ, бул фтор камтыган плазма атмосферасына дуушар болгон өнүккөн оюу жабдуулары үчүн абдан маанилүү. Жогорку криогендик катуулук нөлдөн төмөн иштөө чөйрөсүндө иштеген төмөнкү температурадагы жарым өткөргүч процесстик камераларга андан ары туура келет, бул термикалык шок учурунда морт жаракалардын бузулушунан сактайт.

Биздин ички өндүрүш күчүбүз эки эритме үчүн тең жекече иштетүүнү колдойт. 10 000-класстагы тазалоочу цех, гелий массалык спектрометринин агып кетүү детектору жана автоматтык ультраүн тазалоо линиясы менен жабдылган, биз алюминий плиталарын кесүүдөн, так CNC иштетүүдөн, инерттүү газ менен TIG ширетүүдөн баштап, жарым өткөргүч көңдөй компоненттери үчүн ультра майда беттик жасалгалоого чейин бирдиктүү кызмат көрсөтөбүз. Ай сайын өндүрүмдүүлүк 35 тоннадан ашык 5052/5083 иштетилген тетиктерди түзөт, анын ичинде жекече алюминий плитасын, катуу алюминий тилкесин жана көңдөй алюминий түтүкчөсүнүн чийки запасын даяр камера жасоо менен бирге камтыйт.

Баалоо тандоодо түшүнүгү жок кардарлар үчүн:жеңил салмак үчүн 5052 тандаңыз, баасына сезгич татаал кичинекей көңдөйлөр. Чоң өлчөмдөгү, жогорку жүктөмдүү, коррозияга туруктуу чөйрөдөгү өзөктүк процесс камералары үчүн 5083 тандаңыз. Биздин инженердик командабыз жарым өткөргүч корпусту сатып алуу бюджетиңизди жана жабдуулардын узак мөөнөттүү туруктуулугун оптималдаштыруу үчүн акысыз FEA структуралык симуляциясын жана материалдарды тандоо боюнча консультацияларды берет.