Паўправадніковыя вакуумныя камеры дзейнічаюць як герметычныя носьбіты для працэдур травлення, PVD-асаджэння і іённай імплантацыі, няправільны выбар сплаву прыводзіць да высокага газааддзялення, структурнага адхілення або ўцечкі вакууму, што непасрэдна зніжае выхад вытворчасці пласцін. Як 5052 H32, так і 5083 H321 адносяцца да непаддаючыхся тэрмічнай апрацоўцы Al-Mg.каваныя алюмініевыя гатункі,аднак розныя склады магнію і марганцу прынцыпова падзяляюць адпаведныя сцэнарыі паўправадніковых рэзанатараў.

Хімія задае мяжу прадукцыйнасці. 5052 утрымлівае 2,2~2,8% па вазе Mg з мінімальным утрыманнем элемента Mn менш за 0,1%, у той час як 5083 павышае ўтрыманне Mg да 4,0~4,9% плюс 0,4~1,0% марганцу для драбнення зерня і ўмацавання цвёрдага раствора. Гэтае адрозненне ў складзе забяспечвае на 38~42% большую мяжу трываласці на расцяжэнне для 5083 (310~320 МПа супраць 215~230 МПа ў 5052), што складае іх першы прымяняльны вадазбор для распрацоўкі паўправадніковых корпусаў.

Сплав 5052 дамінуе ў кампактных перадатчыках са складаным профілем і невялікіх корпусах з фіксаванай нагрузкай у паўправадніковым абсталяванні сярэдняга класа. Яго выдатная здольнасць да халоднага фармавання і пластычнасць спрашчаюць шматвосевую апрацоўку глыбокіх кішэняў на станках з ЧПУ, фрэзераванне складаных каналаў астуджэння і інтэграванае фармаванне тонкіх фланцаў без спружыннай дэфармацыі. Гэты сплаў мае кантраляваную нізкую хуткасць дэгазацыі ніжэй за 10⁻⁸ тор·л/(с·см²) пасля дакладнай электрапаліроўкі, што адпавядае асноўным стандартам герметызацыі звышвысокага вакууму (UHV) для невялікіх па аб'ёме паражнін серыйнага тыпу. Эканамічнасць - яшчэ адзін важны фактар: выдаткі сыравіны на 5052 скарачаюцца на 12-15% у параўнанні з 5083, што ідэальна падыходзіць для серыйнай вытворчасці стандартных паўправадніковых перыферыйных корпусаў і паражнін для мацавання дапаможных датчыкаў. Наш завод рэалізуе вялікія аб'ёмы высечкі ічыставую апрацоўку 5052 лістоў, суцэльныя пруткі і бясшвовыя алюмініевыя трубы з дапушчальным адхіленнем ад памераў ±0,003 мм з дапамогай пяцівосевых апрацоўчых цэнтраў з ЧПУ.

Пераход на асноўныя працэсныя камеры высокай трываласці, і 5083 становіцца незаменным. Яго падвышаная механічная калянасць супраціўляецца цыклічнай дэфармацыі ад перападу ціску ў вакууме і паўторнаму цыклічнаму паўзучасці пры пераменных тэмпературах у паражнінах для нанясення адкладаў. Загартаваны 5083 з H321 мае аптымізаваную ўстойлівасць да каразійнага расколіны пад напружаннем (SCC) у каразійным працэсным газе на аснове галагенаў, што вельмі важна для сучаснага абсталявання для травлення, якое падвяргаецца ўздзеянню плазменнай атмасферы, якая змяшчае фтор. Высокая крыягенная трываласць дадаткова падыходзіць для нізкатэмпературных працэсных камер паўправаднікоў, якія працуюць у асяроддзі мінусовай эксплуатацыі, пазбягаючы далікатнага расколіны пры цеплавым удары.

Нашы ўласныя вытворчыя магутнасці забяспечваюць індывідуальную апрацоўку абодвух сплаваў. Мы абсталяваны чыстым цэхам класа 10 000, геліевым мас-спектрометрам, дэтэктарам уцечак і аўтаматычнай лініяй ультрагукавой ачысткі, і прапануем комплексныя паслугі, пачынаючы ад рэзкі алюмініевых пліт, дакладнай апрацоўкі на станках з ЧПУ і зваркі TIG у інэртным газе і заканчваючы ультратонкай апрацоўкай паверхняў паўправадніковых кампанентаў. Штомесячны аб'ём вытворчасці перавышае 35 тон гатовых дэталяў тыпу 5052/5083, уключаючы пастаўку алюмініевых пліт на заказ, суцэльных алюмініевых пруткоў і полых алюмініевых труб, а таксама выраб гатовых камер.

Для кліентаў, якія разгубіліся пры выбары гатунку:выбірайце 5052 для лёгкай канструкцыі, эканамічна залежныя складаныя невялікія паражніны. Выбірайце 5083 для працэсных камер вялікага памеру, высокай нагрузкі, агрэсіўнага асяроддзя. Наша інжынерная каманда прадастаўляе бясплатнае мадэляванне канструкцый метадам канчатковых элементаў і кансультацыі па выбары матэрыялаў, каб аптымізаваць бюджэт на закупку паўправадніковых корпусаў і доўгатэрміновую стабільнасць абсталявання.