सेमीकंडक्टर व्हॅक्यूम चेंबर्स एचिंग, PVD डिपॉझिशन आणि आयन इम्प्लांटेशन प्रक्रियांसाठी कोअर सील्ड कॅरिअर्स म्हणून काम करतात, अयोग्य मिश्रधातूच्या निवडीमुळे उच्च आउटगॅसिंग, स्ट्रक्चरल डिफ्लेक्शन किंवा व्हॅक्यूम लीकेज होते, ज्यामुळे वेफर उत्पादनाचे उत्पन्न थेट कमी होते. 5052 H32 आणि 5083 H321 हे दोन्ही उष्णता-उपचार न करता येणाऱ्या Al-Mg मिश्रधातूंच्या प्रकारात मोडतात.घडवलेल्या ॲल्युमिनियमचे ग्रेड,तरीही मॅग्नेशियम आणि मॅंगनीजच्या भिन्न रचनांमुळे त्यांच्या लागू होणाऱ्या सेमीकंडक्टर कॅव्हिटीच्या परिस्थितींमध्ये मूलभूतपणे विभागणी होते.
रसायनशास्त्र कार्यक्षमतेची मर्यादा निश्चित करते. 5052 मध्ये 2.2~2.8 wt% Mg (मॅग्नेशियम) असून 0.1% पेक्षा कमी मॅंगनीज (Mn) आहे, तर 5083 मध्ये Mg चे प्रमाण 4.0~4.9% पर्यंत वाढवले आहे, तसेच ग्रेन रिफायनमेंट (कण सूक्ष्मता) आणि सॉलिड-सोल्यूशन स्ट्रेंग्थनिंगसाठी 0.4~1.0% मॅंगनीजचा समावेश आहे. या रचनेतील फरकामुळे 5083 मध्ये 38~42% जास्त अल्टिमेट टेन्साइल स्ट्रेंथ (अंतिम तन्य शक्ती) मिळते (310~320 MPa विरुद्ध 5052 ची 215~230 MPa), ज्यामुळे सेमीकंडक्टर हाउसिंग डिझाइनसाठी त्यांच्या वापराचा पहिला महत्त्वपूर्ण टप्पा गाठला जातो.
मिड-एंड सेमीकंडक्टर उपकरणांमध्ये 5052 चा वापर कॉम्पॅक्ट, कॉम्प्लेक्स-प्रोफाइल ट्रान्सफर चेंबर्स आणि लहान लोड-लॉक एन्क्लोजर्समध्ये प्रामुख्याने केला जातो. त्याची उत्कृष्ट कोल्ड फॉर्मेबिलिटी आणि डक्टिलिटी मल्टी-ॲक्सिस सीएनसी डीप पॉकेट मशीनिंग, क्लिष्ट कूलिंग चॅनल मिलिंग आणि स्प्रिंगबॅक डिफॉर्मेशनशिवाय पातळ फ्लेंज इंटिग्रेटेड फॉर्मिंग सोपे करते. अचूक इलेक्ट्रोपॉलिशिंगनंतर, या मिश्रधातूचा नियंत्रित आउटगॅसिंग दर 10⁻⁸ Torr·L/(s·cm²) पेक्षा कमी असतो, जो बॅच प्रकारच्या लहान व्हॉल्यूम प्रोसेस कॅव्हिटीजसाठी अल्ट्रा हाय व्हॅक्यूम (UHV) च्या मूलभूत सीलिंग मानकांशी जुळतो. खर्च-कार्यक्षमता हे आणखी एक वैशिष्ट्य आहे: 5083 च्या तुलनेत 5052 चा कच्च्या मालावरील खर्च 12~15% कमी होतो, जो OEM द्वारे मोठ्या प्रमाणात उत्पादित स्टँडर्ड सेमीकंडक्टर पेरिफेरल केसिंग्ज आणि ऑक्झिलरी सेन्सर माउंटिंग कॅव्हिटीजसाठी आदर्श आहे. आमचा कारखाना मोठ्या प्रमाणात ब्लँकिंग आणि५०५२ शीटचे अंतिम मशीनिंगपाच-अक्षीय सीएनसी मशीनिंग केंद्रांद्वारे ±0.003 मिमी आयामी सहनशीलतेसह घन बार आणि सीमलेस ॲल्युमिनियम ट्यूब.
हेवी ड्युटी मुख्य प्रक्रिया कक्षांमध्ये बदल केल्यास, ५०८३ अपरिहार्य ठरते. त्याची उच्च यांत्रिक दृढता डिपॉझिशन कॅव्हिटीजमधील उच्च-कमी तापमानाच्या बदलत्या कार्यस्थितीत चक्रीय व्हॅक्यूम डिफरेंशियल प्रेशर डिफॉर्मेशन आणि वारंवार होणाऱ्या थर्मल सायकलिंग क्रीपला प्रतिकार करते. H321 टेम्पर केलेल्या ५०८३ मध्ये हॅलोजन-आधारित क्षरणकारी प्रक्रिया वायूच्या विरोधात ऑप्टिमाइझ्ड स्ट्रेस कॉरोझन क्रॅकिंग (SCC) प्रतिकारशक्ती आहे, जी फ्लोरीनयुक्त प्लाझ्मा वातावरणाच्या संपर्कात येणाऱ्या प्रगत एच उपकरणांसाठी महत्त्वपूर्ण आहे. उत्कृष्ट क्रायोजेनिक कणखरता शून्य अंशाखालील कार्य वातावरणात चालणाऱ्या कमी तापमानाच्या सेमीकंडक्टर प्रक्रिया कक्षांसाठी अधिक योग्य ठरते, ज्यामुळे थर्मल शॉकमुळे होणारे ठिसूळ तडे जाण्याचे अपयश टाळता येते.
आमची अंतर्गत उत्पादन क्षमता दोन्ही मिश्रधातूंच्या सानुकूलित मशिनिंगला आधार देते. क्लास 10,000 स्वच्छ कार्यशाळा, हेलियम मास स्पेक्ट्रोमीटर लीक डिटेक्टर आणि स्वयंचलित अल्ट्रासोनिक क्लीनिंग लाइनने सुसज्ज असल्यामुळे, आम्ही ॲल्युमिनियम स्लॅब कटिंग, प्रिसिजन सीएनसी मशिनिंग, इनर्ट-गॅस टीआयजी वेल्डिंगपासून ते सेमीकंडक्टर कॅव्हिटी घटकांसाठी अल्ट्रा फाइन सरफेस फिनिशिंगपर्यंतची वन-स्टॉप सेवा पुरवतो. आमचे मासिक उत्पादन 35 टनांपेक्षा जास्त तयार 5052/5083 मशिन केलेल्या भागांचे असते, ज्यामध्ये तयार चेंबर फॅब्रिकेशनसोबतच सानुकूलित ॲल्युमिनियम प्लेट, सॉलिड ॲल्युमिनियम बार आणि हॉलो ॲल्युमिनियम ट्यूबच्या कच्च्या मालाचा पुरवठा समाविष्ट आहे.
ग्रेड निवडण्याबाबत संभ्रमात असलेल्या ग्राहकांसाठी:हलक्या वजनासाठी ५०५२ निवडाखर्चाच्या दृष्टीने संवेदनशील, गुंतागुंतीच्या आणि लहान कॅव्हिटीजसाठी, मोठ्या आकाराच्या, उच्च भाराच्या आणि क्षरणकारी वातावरणातील कोअर प्रोसेस चेंबर्ससाठी 5083 ची निवड करा. तुमच्या सेमीकंडक्टर एन्क्लोजर खरेदीचे बजेट आणि उपकरणांची दीर्घकालीन स्थिरता ऑप्टिमाइझ करण्यासाठी, आमची अभियांत्रिकी टीम मोफत FEA स्ट्रक्चरल सिम्युलेशन आणि मटेरियल निवडीसाठी सल्ला प्रदान करते.
पोस्ट करण्याची वेळ: १२ जून २०२६
