A félvezető vákuumkamrák maggal lezárt hordozóként működnek a maratás, a PVD-leválasztás és az ionimplantációs eljárások során, a nem megfelelő ötvözetválasztás nagyfokú gázkiáramlást, szerkezeti alakváltozást vagy vákuumszivárgást okoz, ami közvetlenül csökkenti a wafer gyártási hozamát. Mind az 5052 H32, mind az 5083 H321 a nem hőkezelhető Al-Mg ötvözetekhez tartozik.kovácsolt alumínium minőségek,mégis eltérő magnézium- és mangánösszetételek alapvetően megosztják az alkalmazható félvezető üreg-forgatókönyveiket.

A kémia határozza meg a teljesítmény határát. Az 5052 2,2~2,8 tömeg% magnéziumot tartalmaz, a marginális mangántartalom 0,1% alatt van, míg az 5083 4,0~4,9%-ra növeli a magnéziumtartalmat, plusz 0,4~1,0% mangánt a szemcsefinomítás és a szilárd oldatban történő szilárdítás érdekében. Ez az összetételi különbség 38~42%-kal nagyobb szakítószilárdságot biztosít az 5083-nak (310~320 MPa az 5052 215~230 MPa-jával szemben), ami az első alkalmazási vízválasztó a félvezető házak tervezésében.

Az 5052-es ötvözet uralja a kompakt, komplex profilú átviteli kamrákat és a kis terhelészáras házakat a középkategóriás félvezető berendezésekben. Kiváló hidegalakíthatóságának és képlékenységének köszönhetően leegyszerűsíti a többtengelyes CNC mélyzseb-megmunkálást, a bonyolult hűtőcsatorna-marást és a vékony perem integrált alakítását visszarugózási deformáció nélkül. Az ötvözet szabályozott, alacsony gázkibocsátási sebességgel rendelkezik, 10⁻⁸ Torr·L/(s·cm²) alatt a precíziós elektropolírozás után, megfelelve az ultra nagy vákuumú (UHV) alapvető tömítési szabványoknak a kötegelt típusú kis volumenű folyamatüregekhez. A költséghatékonyság egy másik kiemelkedő tényező: az 5052-es ötvözet nyersanyagfelhasználása 12~15%-kal csökken az 5083-ashoz képest, ami ideális OEM tömeggyártású szabványos félvezető periféria házakhoz és segédérzékelők rögzítőüregeihez. Üzemünk nagy volumenű kivágásokat és...5052 lemez megmunkálása, tömör rudak és varrat nélküli alumíniumcsövek ±0,003 mm-es mérettűréssel, öttengelyes CNC megmunkálóközpontokon keresztül.

A nagy teherbírású fő folyamatkamrákra való átállással az 5083 pótolhatatlanná válik. Megnövelt mechanikai merevsége ellenáll a ciklikus vákuumdifferenciálnyomás-deformációnak és az ismétlődő hőciklusos kúszásnak magas-alacsony hőmérsékletű váltakozó munkakörülmények között a lerakó üregekben. A H321-gyel edzett 5083 optimalizált feszültségkorróziós repedésállósággal (SCC) rendelkezik a halogén alapú korrozív folyamatgázzal szemben, ami kritikus fontosságú a fluortartalmú plazmaatmoszférának kitett fejlett maróberendezések számára. A kiváló kriogén szívósság továbbá illeszkedik a mínusz hőmérsékleten működő alacsony hőmérsékletű félvezető folyamatkamrákhoz, elkerülve a rideg repedéses meghibásodást hősokk esetén.

Saját gyártási kapacitásunk mindkét ötvözet esetében lehetővé teszi az egyedi megmunkálást. 10 000-es osztályú tisztaműhellyel, hélium tömegspektrométeres szivárgásérzékelővel és automatikus ultrahangos tisztítósorral felszereltünk, így mindent egy helyen biztosítunk az alumíniumlemez vágásától, a precíziós CNC megmunkáláson, az inert gázos TIG hegesztésen át a félvezető üreges alkatrészek ultrafinom felületkezeléséig. Havi termelésünk meghaladja a 35 tonna kész 5052/5083 megmunkált alkatrészt, beleértve az egyedi alumíniumlemez, tömör alumíniumrúd és üreges alumíniumcső alapanyag ellátását a kész kamrák gyártása mellett.

Azoknak az ügyfeleknek, akik tanácstalanok a minőségválasztással kapcsolatban:Könnyű súlyért válaszd az 5052-t, költségérzékeny, komplex, kis üregek. Válassza az 5083-as acélt nagy méretű, nagy terhelésű, korrozív környezetű folyamatkamrákhoz. Mérnöki csapatunk ingyenes végeselem-elemzési szerkezeti szimulációt és anyagválasztási tanácsadást biztosít félvezető burkolatának beszerzési költségvetésének és a berendezések hosszú távú stabilitásának optimalizálása érdekében.