Puolijohteiden tyhjiökammiot toimivat ydinsinetöityinä kantajina etsauksessa, PVD-pinnoituksessa ja ionien istutuksessa. Väärä seosvalinta aiheuttaa voimakasta kaasunmuodostusta, rakenteellista taipumista tai tyhjiövuotoa, mikä alentaa suoraan kiekkojen tuotantosaantoa. Sekä 5052 H32 että 5083 H321 kuuluvat lämpökäsittelemättömään Al-Mg-seokseen.taotut alumiinilaadut,kuitenkin erilaiset magnesiumin ja mangaanin koostumukset jakavat sovellettavat puolijohdeonteloskenaariot perusteellisesti.

Kemia asettaa suorituskyvyn rajat. 5052 sisältää 2,2–2,8 painoprosenttia magnesiumia, ja Mn-marginaalipitoisuus on alle 0,1 %, kun taas 5083 nostaa Mg-pitoisuuden 4,0–4,9 prosenttiin ja lisää 0,4–1,0 prosenttia mangaania raekoon hienontamiseksi ja kiinteän liuoksen lujittamiseksi. Tämä koostumusero parantaa 5083:n vetolujuutta 38–42 % (310–320 MPa vs. 5052:n 215–230 MPa), mikä muodostaa heidän ensimmäisen sovellusalueensa puolijohdekoteloiden suunnittelussa.

5052 hallitsee kompakteja, monimutkaisia ​​profiileja omaavia siirtokammioita ja pieniä kuormalukkokoteloita keskitason puolijohdelaitteissa. Sen erinomainen kylmämuovattavuus ja venyvyys yksinkertaistavat moniakselista CNC-syvien taskujen koneistusta, monimutkaista jäähdytyskanavien jyrsintää ja ohuiden laippojen integroitua muovausta ilman jousituksen takaisinjännitteistä muodonmuutosta. Seoksella on hallittu alhainen kaasunmuodostusnopeus, alle 10⁻⁸ Torr·L/(s·cm²) tarkkuuskiillotuksen jälkeen, mikä vastaa erittäin korkean tyhjiön (UHV) perustiivistysstandardeja erätyyppisille pienimuotoisille prosessionteloille. Kustannustehokkuus on toinen kohokohta: 5052:n raaka-ainekulutus laskee 12–15 % verrattuna 5083:een, mikä on ihanteellinen OEM-massatuotetuille standardipuolijohdeoheiskoteloille ja apuanturien asennusonteloille. Tehtaamme toteuttaa suurten volyymien meikkaus- ja...5052 levyn viimeistelykoneistus, umpitankoja ja saumattomia alumiiniputkia ±0,003 mm:n mittatoleranssilla viisiakselisilla CNC-työstökeskuksilla.

Siirtyminen raskaaseen käyttöön tarkoitetuille pääprosessikammioille ja 5083:sta tulee korvaamaton. Sen korkea mekaaninen jäykkyys kestää syklistä tyhjiöpaine-eroa ja toistuvaa lämpösyklistä virumista vaihtelevissa korkean ja matalan lämpötilan työolosuhteissa pinnoitusonteloiden sisällä. H321-karkaistulla 5083:lla on optimoitu jännityskorroosiomurtuman (SCC) kestävyys halogeenipohjaisia ​​syövyttäviä prosessikaasuja vastaan, mikä on kriittistä edistyneille etsauslaitteille, jotka altistuvat fluoria sisältävälle plasmaatmosfäärille. Erinomainen kryogeeninen sitkeys sopii lisäksi matalan lämpötilan puolijohdeprosessikammioihin, joita käytetään miinuspisteessä, estäen hauraan halkeamisen lämpöshokin aikana.

Oma tuotantovahvuutemme tukee molempien seosten räätälöityä koneistusta. Varustettuna Class 10,000 -puhdasverstaalla, heliummassaspektrometrin vuodonilmaisimella ja automaattisella ultraäänipuhdistuslinjalla, tarjoamme kokonaisvaltaista palvelua alumiinilevyjen leikkauksesta, tarkkuus-CNC-koneistuksesta ja inerttikaasu-TIG-hitsauksesta puolijohdeontelokomponenttien erittäin hienoon pintakäsittelyyn. Kuukausittainen tuotanto on yli 35 tonnia valmiita 5052/5083-koneistettuja osia, jotka kattavat räätälöityjen alumiinilevyjen, umpinaisten alumiinitankojen ja onttojen alumiiniputkien raaka-aineen sekä valmiiden kammioiden valmistuksen.

Asiakkaille, jotka ovat hämmentyneitä laadun valinnasta:valitse 5052 kevyemmäksi, kustannusherkät monimutkaiset pienet ontelot. Valitse 5083 suurikokoisiin, korkean kuormituksen ja syövyttävien olosuhteiden ydinprosessikammioihin. Suunnittelutiimimme tarjoaa ilmaisen FEA-rakennesimuloinnin ja materiaalivalintakonsultoinnin puolijohdekoteloiden hankintabudjetin ja laitteistosi pitkän aikavälin vakauden optimoimiseksi.