Pusvadītāju vakuuma kameras darbojas kā kodolā noslēgti nesēji kodināšanai, PVD nogulsnēšanai un jonu implantācijas procedūrām; nepareiza sakausējuma izvēle izraisa lielu gāzu izdalīšanos, strukturālu deformāciju vai vakuuma noplūdi, tieši samazinot vafeļu ražošanas ražu. Gan 5052 H32, gan 5083 H321 pieder pie termiski neapstrādājamiem Al-Mg sakausējumiem.kaltas alumīnija markas,tomēr atšķirīgie magnija un mangāna sastāvi būtiski sadala piemērojamos pusvadītāju dobumu scenārijus.

Ķīmija nosaka veiktspējas robežu. 5052 satur 2,2–2,8 svara % Mg ar nelielu Mn elementa daudzumu zem 0,1 %, savukārt 5083 palielina Mg saturu līdz 4,0–4,9 %, kā arī 0,4–1,0 % mangāna graudu smalkumam un cietā šķīduma stiprināšanai. Šī sastāva atšķirība nodrošina par 38–42 % lielāku 5083 galīgo stiepes izturību (310–320 MPa salīdzinājumā ar 215–230 MPa, kas ir 5052), veidojot to pirmo pielietojuma pavērsiena punktu pusvadītāju korpusu dizainā.

5052 dominē kompaktajās, sarežģīta profila pārneses kamerās un mazos slodzes bloķēšanas korpusos vidējas klases pusvadītāju iekārtās. Tā izcilā aukstā formējamība un elastība vienkāršo daudzu asu CNC dziļo kabatu apstrādi, sarežģītu dzesēšanas kanālu frēzēšanu un plānu atloku integrētu formēšanu bez atsperes deformācijas. Sakausējumam ir kontrolēti zems gāzu izdalīšanās ātrums zem 10⁻⁸ Torr·L/(s·cm²) pēc precīzas elektropulēšanas, kas atbilst īpaši augsta vakuuma (UHV) pamata blīvēšanas standartiem partiju tipa maza apjoma procesa dobumiem. Vēl viens svarīgs aspekts ir izmaksu efektivitāte: 5052 izejvielu patēriņš samazinās par 12–15% salīdzinājumā ar 5083, kas ir ideāli piemērots OEM masveidā ražotiem standarta pusvadītāju perifērijas korpusiem un palīgsensoru montāžas dobumiem. Mūsu rūpnīca realizē liela apjoma blīvēšanas un...5052 loksņu apdares apstrāde, cietie stieņi un bezšuvju alumīnija caurules ar ±0,003 mm izmēru pielaidi, izmantojot piecu asu CNC apstrādes centrus.

Pārejot uz īpaši izturīgām galvenajām procesa kamerām, 5083 kļūst neaizstājama. Tā paaugstinātā mehāniskā stingrība pretojas cikliskai vakuuma diferenciālā spiediena deformācijai un atkārtotai termiskai cikliskai šļūdei mainīgos augstas un zemas temperatūras darba apstākļos nogulsnēšanas dobumos. H321 rūdītajam 5083 ir optimizēta izturība pret sprieguma korozijas plaisāšanu (SCC) pret halogēnu bāzes korozīvu procesa gāzi, kas ir kritiski svarīgi progresīvām kodināšanas iekārtām, kas pakļautas fluoru saturošas plazmas atmosfēras iedarbībai. Izcila kriogēnā izturība turklāt ir piemērota zemas temperatūras pusvadītāju procesa kamerām, kas darbojas zem nulles temperatūras, novēršot trauslu plaisāšanu termiskā šoka ietekmē.

Mūsu iekšējās ražošanas jauda nodrošina abu sakausējumu pielāgotu apstrādi. Aprīkoti ar 10 000. klases tīrības darbnīcu, hēlija masas spektrometra noplūdes detektoru un automātisko ultraskaņas tīrīšanas līniju, mēs piedāvājam pilna servisa pakalpojumus, sākot no alumīnija plātņu griešanas, precīzas CNC apstrādes, inertās gāzes TIG metināšanas līdz īpaši smalkai virsmas apdarei pusvadītāju dobumu komponentiem. Mēneša produkcija pārsniedz 35 tonnas gatavu 5052/5083 apstrādātu detaļu, aptverot pielāgotu alumīnija plākšņu, cietu alumīnija stieņu un dobu alumīnija cauruļu izejvielu piegādi, kā arī gatavu kameru izgatavošanu.

Klientiem, kuri ir apjukuši par pakāpes izvēli:Vieglam svaram izvēlieties 5052, izmaksu ziņā jutīgas sarežģītas mazas dobuma iekārtas. Izvēlieties 5083 lielizmēra, lielas slodzes, korozīvas vides kodolu procesa kamerām. Mūsu inženieru komanda nodrošina bezmaksas FEA strukturālo simulāciju un materiālu izvēles konsultācijas, lai optimizētu jūsu pusvadītāju korpusu iepirkuma budžetu un iekārtu ilgtermiņa stabilitāti.