5052 ба 5083 хөнгөн цагаан: Хагас дамжуулагч вакуум камер үйлдвэрлэхэд гол хэрэглээний ялгаа

Хагас дамжуулагч вакуум камерууд нь сийлбэр, PVD тунадасжуулалт болон ион суулгах процедурт гол битүүмжилсэн тээвэрлэгчийн үүрэг гүйцэтгэдэг бөгөөд хайлшийг буруу сонгох нь өндөр хий ялгаруулах, бүтцийн хазайлт эсвэл вакуум алдагдал үүсгэдэг бөгөөд энэ нь хавтангийн үйлдвэрлэлийн гарцыг шууд бууруулдаг. 5052 H32 болон 5083 H321 хоёулаа дулааны боловсруулалтанд ордоггүй Al-Mg-д хамаарна.хөнгөн цагааны зэрэглэлийн давирхай,Гэсэн хэдий ч магни ба манганы найрлага нь тэдгээрийн холбогдох хагас дамжуулагчийн хөндийн хувилбаруудыг үндсэндээ хуваадаг.

Хими нь гүйцэтгэлийн хил хязгаарыг тогтоодог. 5052 нь 2.2~2.8 жингийн% Mg агуулдаг бөгөөд Mn элементийн хязгаар нь 0.1%-иас бага байдаг бол 5083 нь үр тариаг цэвэршүүлэх, хатуу уусмалыг бэхжүүлэх зорилгоор Mg-ийн агууламжийг 4.0~4.9% болон 0.4~1.0% манган болгон сайжруулдаг. Энэхүү найрлагын зөрүү нь 5083-ын суналтын бат бэхийг 38~42%-иар нэмэгдүүлдэг (5052-ын 215~230MPa-тай харьцуулахад 310~320MPa) бөгөөд энэ нь хагас дамжуулагчийн орон сууцны дизайны анхны хэрэглээний цэгийг бүрдүүлдэг.

5052 нь дунд зэргийн хагас дамжуулагч тоног төхөөрөмжид авсаархан, нарийн төвөгтэй профильтай дамжуулах камер болон жижиг ачааллын түгжээний хаалтуудыг давамгайлдаг. Түүний дээд зэргийн хүйтэн хэлбэржүүлэх чадвар болон уян хатан чанар нь олон тэнхлэгтэй CNC гүн халаасны боловсруулалт, нарийн төвөгтэй хөргөлтийн сувгийн тээрэмдэх, пүршний деформацигүйгээр нимгэн фланцын интеграцчилагдсан хэлбэржүүлэлтийг хялбарчилдаг. Хайлш нь нарийн электро өнгөлгөөний дараа 10⁻⁸ Torr·L/(s·cm²)-ээс доош бага хий ялгаруулах хурдыг хянаж, багц хэлбэрийн жижиг эзэлхүүнтэй процессын хөндийд зориулсан хэт өндөр вакуум (UHV) үндсэн битүүмжлэлийн стандартыг хангадаг. Зардлын хэмнэлт нь бас нэг онцлох зүйл юм: 5052-ийн түүхий эдийн зарцуулалт нь 5083-тай харьцуулахад 12~15% буурдаг бөгөөд энэ нь OEM массаар үйлдвэрлэсэн стандарт хагас дамжуулагч захын бүрхүүл болон туслах мэдрэгч суурилуулах хөндийд тохиромжтой. Манай үйлдвэр өндөр эзэлхүүнтэй хоосон зай гаргах болон...5052 хуудасны эцсийн боловсруулалт, таван тэнхлэгтэй CNC боловсруулах төвүүдээр дамжуулан ±0.003мм хэмжээст хүлцэл бүхий хатуу баар болон оёдолгүй хөнгөн цагаан хоолойнууд.

Хүнд даацын үндсэн процессын камер руу шилжсэнээр 5083 нь орлуулшгүй зүйл болно. Түүний өндөр механик хатуулаг нь тунадасны хөндий доторх өндөр-бага температурын ээлжлэн ажиллах нөхцөлд циклийн вакуум дифференциал даралтын деформаци болон давтагдсан дулааны мөчлөгийн мөлхөлтийг тэсвэрлэдэг. H321 хатууруулсан 5083 нь галоген дээр суурилсан зэврэлттэй процессын хийн эсрэг оновчтой стресс зэврэлт хагарал (SCC) эсэргүүцэлтэй бөгөөд энэ нь фтор агуулсан плазмын агаар мандалд өртсөн дэвшилтэт сийлбэрийн тоног төхөөрөмжид чухал ач холбогдолтой юм. Дээд зэргийн криоген бат бөх чанар нь тэгээс доош ажиллах орчинд ажилладаг бага температурт хагас дамжуулагч процессын камеруудад илүү тохиромжтой бөгөөд дулааны цочролын дор хэврэг хагарал үүсэхээс сэргийлдэг.

Манай дотоод үйлдвэрлэлийн бат бөх чанар нь хоёр хайлшийн аль алинд нь захиалгат боловсруулалт хийх боломжийг олгодог. 10,000 ангиллын цэвэрлэгээний цех, гелийн масс спектрометрийн алдагдал илрүүлэгч, автомат хэт авианы цэвэрлэгээний шугамаар тоноглогдсон бид хөнгөн цагаан хавтанг огтлох, нарийн CNC боловсруулалт, инертийн хийн TIG гагнуураас эхлээд хагас дамжуулагч хөндий эд ангиудын хэт нарийн гадаргуугийн өнгөлгөө хүртэл нэг цэгийн үйлчилгээг үзүүлдэг. Сарын үйлдвэрлэл нь 35 тонноос дээш бэлэн болсон 5052/5083 эд ангиудыг үйлдвэрлэдэг бөгөөд захиалгат хөнгөн цагаан хавтан, хатуу хөнгөн цагаан саваа, хөндий хөнгөн цагаан хоолойн түүхий эдийг нийлүүлэхээс гадна бэлэн камер үйлдвэрлэх ажлыг гүйцэтгэдэг.

Үнэлгээ сонгох тал дээр төөрөлдсөн үйлчлүүлэгчдэд зориулав:Хөнгөн жингийн хувьд 5052-г сонгоно уу, өртөг мэдрэмтгий нарийн төвөгтэй жижиг хөндий. Том хэмжээтэй, өндөр ачаалалтай, идэмхий орчинтой цөмийн процессын камеруудад 5083-г сонгоорой. Манай инженерийн баг нь таны хагас дамжуулагч бүрхүүлийн худалдан авалтын төсөв болон урт хугацааны тоног төхөөрөмжийн тогтвортой байдлыг оновчтой болгохын тулд FEA бүтцийн симуляци болон материалын сонголтын үнэгүй зөвлөгөө өгдөг.

https://www.aviationaluminum.com/


Нийтэлсэн цаг: 2026 оны 6-р сарын 12
WhatsApp онлайн чат!