Poluvodičke vakuumske komore djeluju kao zatvoreni nosači jezgre za postupke jetkanja, PVD taloženja i ionske implantacije, a nepravilan odabir legure uzrokuje veliko ispuštanje plinova, strukturni otklon ili curenje vakuuma, što izravno smanjuje prinos proizvodnje pločice. I 5052 H32 i 5083 H321 pripadaju Al-Mg materijalima koji se ne mogu toplinski obrađivati.vrste kovanog aluminija,ipak, različiti sastavi magnezija i mangana temeljno dijele njihove primjenjive scenarije poluvodičkih šupljina.

Kemija postavlja granice performansi. 5052 sadrži 2,2~2,8 težinskih % Mg s graničnim udjelom Mn ispod 0,1 %, dok 5083 povećava sadržaj Mg na 4,0~4,9 % plus 0,4~1,0 % mangana za pročišćavanje zrna i ojačanje u čvrstoj otopini. Ovaj jaz u sastavu daje 38~42 % veću vlačnu čvrstoću na 5083 (310~320 MPa u odnosu na 215~230 MPa kod 5052), tvoreći njihovu prvu primjenu u dizajnu kućišta poluvodiča.

5052 dominira kompaktnim, složenoprofilnim prijenosnim komorama i malim kućištima za zaključavanje opterećenja u poluvodičkoj opremi srednje klase. Njegova vrhunska hladna oblikovnost i duktilnost pojednostavljuju višeosnu CNC obradu dubokih džepova, glodanje zamršenih rashladnih kanala i oblikovanje tankih prirubnica integrirano bez deformacije opružnim povratom. Legura se može pohvaliti kontroliranom niskom stopom ispuštanja plinova ispod 10⁻⁸ Torr·L/(s·cm²) nakon preciznog elektropoliranja, što odgovara osnovnim standardima brtvljenja ultra visokog vakuuma (UHV) za procesne šupljine malog volumena serijskog tipa. Isplativost je još jedna značajka: potrošnja sirovina za 5052 smanjuje se za 12~15% u odnosu na 5083, idealno za masovno proizvedena standardna poluvodička periferna kućišta i šupljine za montažu pomoćnih senzora od strane proizvođača originalne opreme. Naša tvornica ostvaruje velikoobimno izrezivanje izavršna obrada 5052 lima, pune šipke i bešavne aluminijske cijevi s dimenzijskom tolerancijom ±0,003 mm putem petosnih CNC obradnih centara.

Prijelazom na teške glavne procesne komore, 5083 postaje nezamjenjiv. Njegova povećana mehanička krutost otporna je na cikličku deformaciju uslijed diferencijalnog tlaka u vakuumu i ponovljeno toplinsko cikličko puzanje pod izmjeničnim radnim uvjetima visokih i niskih temperatura unutar šupljina za taloženje. H321 kaljeni 5083 ima optimiziranu otpornost na korozijsko pucanje pod naponom (SCC) u korozivnom procesnom plinu na bazi halogena, što je ključno za naprednu opremu za jetkanje izloženu plazma atmosferi koja sadrži fluor. Vrhunska kriogena žilavost dodatno odgovara niskotemperaturnim procesnim komorama za poluvodiče koje rade u okruženju ispod nule, izbjegavajući lom zbog krhkih pukotina pod toplinskim udarom.

Naša vlastita proizvodna snaga podržava prilagođenu strojnu obradu za obje legure. Opremljeni čistom radionicom klase 10.000, detektorom curenja masenim spektrometrom s helijem i automatskom ultrazvučnom linijom za čišćenje, pružamo sveobuhvatnu uslugu od rezanja aluminijskih ploča, precizne CNC obrade, TIG zavarivanja inertnim plinom do ultra fine površinske obrade za komponente s poluvodičkim šupljinama. Mjesečna proizvodnja doseže preko 35 tona gotovih strojno obrađenih dijelova 5052/5083, što obuhvaća isporuku prilagođenih aluminijskih ploča, punih aluminijskih šipki i šupljih aluminijskih cijevi, kao i izradu gotovih komora.

Za klijente koji su zbunjeni oko odabira ocjene:odaberite 5052 za ​​laganu težinu, cjenovno osjetljive složene male šupljine. Odaberite 5083 za velike procesne komore s visokim opterećenjem i korozivnim okruženjem. Naš inženjerski tim nudi besplatne FEA strukturne simulacije i konzultacije o odabiru materijala kako bi optimizirao vaš proračun za nabavu poluvodičkog kućišta i dugoročnu stabilnost opreme.