Жартылай өткізгіш вакуумдық камералар ою, PVD тұндыру және ион имплантациялау процедуралары үшін өзекшелік тығыздалған тасымалдаушылар ретінде қызмет етеді, қорытпаны дұрыс таңдамау жоғары газдануды, құрылымдық ауытқуды немесе вакуумдық ағып кетуді тудырады, бұл пластина өндірісінің өнімділігін тікелей төмендетеді. 5052 H32 және 5083 H321 екеуі де термиялық өңдеуге жатпайтын Al-Mg-ге жатады.соғылған алюминий маркалары,дегенмен, магний мен марганецтің әртүрлі құрамдары қолданылатын жартылай өткізгіш қуыс сценарийлерін түбегейлі бөледі.

Химия өнімділік шегін белгілейді. 5052 құрамында 2,2 ~ 2,8% Mg бар, ал шекті Mn элементі 0,1%-дан төмен, ал 5083 дәнді тазарту және қатты ерітіндіні нығайту үшін Mg мөлшерін 4,0 ~ 4,9%-ға дейін және 0,4 ~ 1,0% марганецке дейін арттырады. Бұл құрамдық алшақтық 5083-тің созылу беріктігінің 38 ~ 42%-ға жоғарылауын қамтамасыз етеді (5052-нің 215 ~ 230 МПа-ға қарсы 310 ~ 320 МПа), бұл олардың жартылай өткізгіш корпусты жобалаудағы алғашқы қолданылу ауқымын құрайды.

5052 орта деңгейлі жартылай өткізгіш жабдықтарда ықшам, күрделі профильді тасымалдау камералары мен шағын жүктеме құлыптау қораптарында басым. Оның жоғары суық пішінделуі мен икемділігі көп осьті CNC терең қалталы өңдеуді, күрделі салқындату арнасын фрезерлеуді және серіппелі деформациясыз жұқа фланецті интеграцияланған пішіндеуді жеңілдетеді. Қорытпа дәл электрожылтыратудан кейін 10⁻⁸ Torr·L/(s·cm²) төмен бақыланатын төмен газдану жылдамдығымен мақтана алады, бұл партиялық типтегі шағын көлемді өңдеу қуыстары үшін ультра жоғары вакуумдық (UHV) негізгі тығыздау стандарттарына сәйкес келеді. Шығындардың тиімділігі тағы бір артықшылығы: 5052 шикізат шығыны 5083-пен салыстырғанда 12~15%-ға қысқарады, бұл OEM жаппай өндірілетін стандартты жартылай өткізгіш перифериялық корпустар мен қосалқы сенсорды бекіту қуыстары үшін өте қолайлы. Біздің зауыт жоғары көлемді бос және5052 парақты өңдеуді аяқтау, бес осьті CNC өңдеу орталықтары арқылы ±0,003 мм өлшемді төзімділігі бар қатты шыбықтар және жіксіз алюминий түтіктер.

Ауыр жүктемелі негізгі өңдеу камераларына ауысқанда, 5083 алмастырылмайтын болады. Оның жоғары механикалық қаттылығы шөгінді қуыстарының ішіндегі жоғары-төмен температуралық ауыспалы жұмыс жағдайларында циклдік вакуумдық дифференциалды қысым деформациясына және қайталанатын термиялық циклдік сырғымаға төзімді. H321 шынықтырылған 5083 галоген негізіндегі коррозиялық өңдеу газына қарсы оңтайландырылған кернеу коррозиясының крекингіне (SCC) төзімділікке ие, бұл фтор бар плазмалық атмосфераға ұшырайтын озық өңдеу жабдықтары үшін өте маңызды. Жоғары криогендік беріктік нөлден төмен жұмыс ортасында жұмыс істейтін төмен температуралы жартылай өткізгіш өңдеу камераларына қосымша сәйкес келеді, бұл термиялық соққы кезінде сынғыш жарықтардың бұзылуын болдырмайды.

Біздің ішкі өндіріс қуатымыз екі қорытпа үшін де арнайы өңдеуді қолдайды. 10 000 класты тазалау шеберханасымен, гелий масс-спектрометрінің ағып кету детекторымен және автоматты ультрадыбыстық тазалау желісімен жабдықталған біз алюминий плиталарын кесуден, дәл CNC өңдеуден, инертті газбен TIG дәнекерлеуден бастап жартылай өткізгіш қуыс компоненттері үшін ультра жұқа беттік өңдеуге дейін бір терезелік қызмет көрсетеміз. Ай сайынғы өндіріс 35 тоннадан астам дайын 5052/5083 өңделген бөлшектерді құрайды, бұл арнайы алюминий плиталарын, қатты алюминий шыбықтарын және қуыс алюминий түтіктерін шикізатпен қамтамасыз етуді, сондай-ақ дайын камераны жасауды қамтиды.

Бағалауды таңдауда шатасқан клиенттер үшін:жеңіл салмақ үшін 5052 таңдаңыз, құнына сезімтал күрделі шағын қуыстар. Үлкен өлшемді, жоғары жүктемелі, коррозиялық ортадағы негізгі өңдеу камералары үшін 5083 таңдаңыз. Біздің инженерлік командамыз жартылай өткізгіш корпусты сатып алу бюджетін және ұзақ мерзімді жабдықтың тұрақтылығын оңтайландыру үшін FEA құрылымдық модельдеуін және материалды таңдау бойынша тегін кеңес береді.