محفظههای خلاء نیمههادی به عنوان حاملهای آببندی شده هسته برای اچینگ، رسوب PVD و روشهای کاشت یون عمل میکنند، انتخاب نامناسب آلیاژ باعث خروج گاز زیاد، انحراف ساختاری یا نشت خلاء میشود و مستقیماً بازده تولید ویفر را کاهش میدهد. هر دو آلیاژ 5052 H32 و 5083 H321 متعلق به آلیاژهای Al-Mg غیرقابل عملیات حرارتی هستند.گریدهای آلومینیوم فرفورژه،با این حال، ترکیبات متفاوت منیزیم و منگنز، سناریوهای حفره نیمههادی کاربردی آنها را اساساً از هم جدا میکند.
شیمی مرز عملکرد را تعیین میکند. 5052 حاوی 2.2 تا 2.8 درصد وزنی منیزیم با عنصر منگنز حاشیهای کمتر از 0.1 درصد است، در حالی که 5083 محتوای منیزیم را به 4.0 تا 4.9 درصد به علاوه 0.4 تا 1.0 درصد منگنز برای اصلاح دانه و تقویت محلول جامد ارتقا میدهد. این شکاف ترکیبی، استحکام کششی نهایی 5083 را 38 تا 42 درصد بالاتر میبرد (310 تا 320 مگاپاسکال در مقابل 215 تا 230 مگاپاسکال 5052)، که اولین نقطه عطف کاربرد آنها برای طراحی محفظه نیمههادی را تشکیل میدهد.
آلیاژ ۵۰۵۲ در محفظههای انتقال فشرده و پیچیده و محفظههای قفل بار کوچک در تجهیزات نیمههادی میانرده، حرف اول را میزند. شکلپذیری سرد و انعطافپذیری برتر آن، ماشینکاری حفرههای عمیق CNC چند محوره، فرزکاری کانال خنککننده پیچیده و شکلدهی یکپارچه فلنج نازک بدون تغییر شکل برگشت فنری را ساده میکند. این آلیاژ پس از الکتروپولیش دقیق، نرخ گاززدایی کنترلشده پایین زیر ۱۰⁻⁸ Torr·L/(s·cm²) را ارائه میدهد که با استانداردهای آببندی اولیه خلاء فوق بالا (UHV) برای حفرههای فرآیند حجم کوچک از نوع دستهای مطابقت دارد. بهرهوری هزینه یکی دیگر از نکات برجسته است: هزینه مواد اولیه ۵۰۵۲ در مقایسه با ۵۰۸۳، ۱۲ تا ۱۵ درصد کاهش مییابد که برای پوششهای جانبی نیمههادی استاندارد تولید انبوه OEM و حفرههای نصب حسگر کمکی ایدهآل است. کارخانه ما پوششدهی و قالبگیری با حجم بالا را انجام میدهد.ماشینکاری نهایی ورق 5052، میلههای توپر و لولههای آلومینیومی بدون درز با تلرانس ابعادی ±0.003 میلیمتر از طریق مراکز ماشینکاری CNC پنج محوره.
با تغییر به محفظههای اصلی فرآیند سنگین، 5083 غیرقابل جایگزین میشود. استحکام مکانیکی بالای آن در برابر تغییر شکل فشار دیفرانسیل خلاء چرخهای و خزش چرخه حرارتی مکرر تحت شرایط کاری متناوب دمای بالا-پایین در داخل حفرههای رسوب مقاومت میکند. 5083 تمپر شده H321 دارای مقاومت بهینه در برابر ترک خوردگی ناشی از خوردگی تنشی (SCC) در برابر گاز فرآیند خورنده مبتنی بر هالوژن است که برای تجهیزات پیشرفته حکاکی در معرض جو پلاسما حاوی فلوئور بسیار مهم است. چقرمگی برودتی عالی، محفظههای فرآیند نیمههادی دمای پایین را که در محیط عملیاتی زیر صفر کار میکنند، بیشتر مناسب میکند و از شکست ترد ترک در اثر شوک حرارتی جلوگیری میکند.
قدرت تولید داخلی ما، ماشینکاری سفارشی برای هر دو آلیاژ را پشتیبانی میکند. ما با مجهز بودن به کارگاه تمیزکاری کلاس 10000، آشکارساز نشتی طیفسنج جرمی هلیوم و خط تمیزکاری اولتراسونیک خودکار، خدمات یک مرحلهای را از برش اسلب آلومینیوم، ماشینکاری CNC دقیق، جوشکاری TIG با گاز بیاثر گرفته تا پرداخت سطحی فوقالعاده ظریف برای قطعات حفره نیمههادی ارائه میدهیم. خروجی ماهانه بیش از 35 تن قطعات ماشینکاری شده 5052/5083 نهایی است که شامل صفحه آلومینیومی سفارشی، میله آلومینیومی توپر و لوله آلومینیومی توخالی، تامین مواد اولیه و همچنین ساخت محفظه نهایی میشود.
برای مشتریانی که در انتخاب درجه گیج شدهاند:برای وزن سبک، 5052 را انتخاب کنید، حفرههای کوچک پیچیده و حساس به هزینه. برای محفظههای فرآیند هسته با اندازه بزرگ، بار زیاد و محیط خورنده، مدل ۵۰۸۳ را انتخاب کنید. تیم مهندسی ما شبیهسازی ساختاری FEA و مشاوره انتخاب مواد را به صورت رایگان ارائه میدهد تا بودجه خرید محفظه نیمههادی شما و پایداری تجهیزات در درازمدت بهینه شود.
زمان ارسال: ۱۲ ژوئن ۲۰۲۶