Yarimo'tkazgichli vakuum kameralari o'yib ishlov berish, PVD cho'ktirish va ion implantatsiyasi protseduralari uchun yadroli muhrlangan tashuvchilar vazifasini bajaradi, qotishmani noto'g'ri tanlash yuqori gaz chiqishiga, strukturaviy deflyatsiyaga yoki vakuum oqishiga olib keladi, bu esa plastinka ishlab chiqarish samaradorligini bevosita pasaytiradi. 5052 H32 va 5083 H321 ikkalasi ham issiqlik bilan ishlov berilmaydigan Al-Mg ga tegishli.ishlangan alyuminiy navlari,ammo magniy va marganets tarkibi ularning qo'llaniladigan yarimo'tkazgich bo'shliq stsenariylarini tubdan ajratib turadi.

Kimyo ishlash chegarasini belgilaydi. 5052 tarkibida 2,2 ~ 2,8% Mg, chekka Mn elementi esa 0,1% dan past, 5083 tarkibida esa donni tozalash va qattiq eritmani mustahkamlash uchun Mg miqdori 4,0 ~ 4,9% gacha va 0,4 ~ 1,0% marganets qo'shiladi. Ushbu tarkibiy farq 5083 ga nisbatan 38 ~ 42% yuqori cho'zilish kuchini ta'minlaydi (5052 ning 215 ~ 230MPa ga nisbatan 310 ~ 320MPa), bu ularning yarimo'tkazgich korpus dizayni uchun birinchi qo'llanilish havzasini tashkil qiladi.

5052 o'rta darajadagi yarimo'tkazgich uskunalarida ixcham, murakkab profilli uzatish kameralari va kichik yuk qulflash korpuslarida ustunlik qiladi. Uning yuqori sovuq shakllanishi va egiluvchanligi ko'p o'qli CNC chuqur cho'ntak ishlov berishni, murakkab sovutish kanali frezalashni va prujinali deformatsiyasiz yupqa flanesli integratsiyalashgan shakllantirishni soddalashtiradi. Qotishma aniq elektropolishdan keyin 10⁻⁸ Torr·L/(s·cm²) dan past bo'lgan past gaz chiqarish tezligiga ega bo'lib, partiyaviy turdagi kichik hajmli jarayon bo'shliqlari uchun ultra yuqori vakuumli (UHV) asosiy muhrlash standartlariga mos keladi. Xarajat samaradorligi yana bir jihati: 5052 ning xom ashyo sarfi 5083 ga nisbatan 12~15% ga kamayadi, bu OEM ommaviy ishlab chiqarilgan standart yarimo'tkazgich periferik korpuslari va yordamchi sensor o'rnatish bo'shliqlari uchun ideal. Bizning fabrikamiz yuqori hajmli bo'shatishni amalga oshiradi va5052 varaqni yakuniy ishlov berish, besh o'qli CNC ishlov berish markazlari orqali ±0,003 mm o'lchovli bardoshlik bilan qattiq panjaralar va choksiz alyuminiy naychalar.

Og'ir ishlaydigan asosiy ishlov berish kameralariga o'tish bilan 5083 almashtirib bo'lmaydigan holga keladi. Uning yuqori mexanik qattiqligi cho'kma bo'shliqlari ichidagi yuqori-past haroratli o'zgaruvchan ish sharoitlarida tsiklik vakuum differentsial bosim deformatsiyasiga va takroriy termal tsikl siljishiga qarshi turadi. H321 temperlangan 5083 galogen asosidagi korroziyali jarayon gaziga qarshi optimallashtirilgan stressli korroziya yorilishiga (SCC) chidamlilikka ega, bu ftor o'z ichiga olgan plazma atmosferasiga ta'sir qiluvchi ilg'or aşındırma uskunalari uchun juda muhimdir. Yuqori kriogen chidamlilik noldan past ish muhitida ishlaydigan past haroratli yarimo'tkazgichli ishlov berish kameralariga qo'shimcha ravishda mos keladi va termal zarba ostida mo'rt yoriqlarning yorilishiga yo'l qo'ymaydi.

Bizning ichki ishlab chiqarish quvvatimiz ikkala qotishma uchun ham maxsus ishlov berishni qo'llab-quvvatlaydi. 10,000-sinf tozalash ustaxonasi, geliy massa spektrometri oqish detektori va avtomatik ultratovushli tozalash liniyasi bilan jihozlangan biz alyuminiy plitalarni kesish, aniq CNC ishlov berish, inert gazli TIG payvandlashdan tortib, yarimo'tkazgich bo'shliq komponentlari uchun ultra nozik sirtni pardozlashgacha bo'lgan bir martalik xizmatni taqdim etamiz. Oylik ishlab chiqarish hajmi 35 tonnadan ortiq tayyor 5052/5083 ishlov berilgan qismlarni tashkil etadi, bu esa maxsus alyuminiy plastinka, qattiq alyuminiy novda va ichi bo'sh alyuminiy naycha xom ashyosini yetkazib berish bilan birga tayyor kamerani ishlab chiqarishni ham qamrab oladi.

Baholarni tanlashda adashgan mijozlar uchun:Yengil vazn uchun 5052 ni tanlang, xarajatlarga sezgir murakkab kichik bo'shliqlar. Katta o'lchamli, yuqori yuklangan, korroziyali muhitga ega yadroli jarayon kameralari uchun 5083 ni tanlang. Bizning muhandislik guruhimiz yarimo'tkazgich korpusini sotib olish byudjetini va uzoq muddatli uskunaning barqarorligini optimallashtirish uchun bepul FEA strukturaviy simulyatsiyasi va material tanlash bo'yicha maslahatlarni taqdim etadi.