সেমিকন্ডাক্টর চেম্বারগুলির চূড়ান্ত নির্দেশিকা: কেন অ্যালুমিনিয়াম পছন্দের উপাদান

সেমিকন্ডাক্টর উৎপাদনের জন্য অত্যন্ত নির্ভুলতার প্রয়োজন হয় এবং চেম্বার - সিভিডি রিঅ্যাক্টর এবং এচিং মেশিনের মতো গুরুত্বপূর্ণ সরঞ্জামের প্রাণকেন্দ্র - একটি গুরুত্বপূর্ণ ভূমিকা পালন করে। এই নির্দেশিকাটি চেম্বারের নকশার প্রয়োজনীয়তা এবং উচ্চ-বিশুদ্ধতা অ্যালুমিনিয়াম অ্যালয় কীভাবে শিল্পের মূল চ্যালেঞ্জগুলি সমাধান করে তা অন্বেষণ করে।

চেম্বারের কর্মক্ষমতা (এবং অ্যালুমিনিয়াম কীভাবে উৎকর্ষ লাভ করে) চালিকাশক্তির ৫টি গুরুত্বপূর্ণ বিষয়

১. অতি-উচ্চ ভ্যাকুয়াম (UHV) সামঞ্জস্যতা এবং লিক প্রতিরোধ

সমস্যা: মাইক্রোস্কোপিক লিক প্রক্রিয়ার অখণ্ডতা নষ্ট করে।

অ্যালুমিনিয়াম সুবিধা:সিমলেস সিএনসি-মেশিনযুক্ত বডিঅ্যালুমিনিয়াম বিলেট থেকে ওয়েল্ড পয়েন্ট দূর হয়। আমাদের 6061-T6 অ্যালয় < 10⁻⁹ mbar·L/sec হিলিয়াম লিক হার অর্জন করে।

2. তাপীয় ব্যবস্থাপনা: চরম সাইক্লিংয়ের অধীনে স্থিতিশীলতা

সমস্যা: তাপীয় warping কণা দূষণের কারণ হয়।

সমাধান: অ্যালুমিনিয়ামের উচ্চতর তাপ পরিবাহিতা (≈১৫০ ওয়াট/মি·কে) স্টেইনলেস স্টিলের চেয়ে ভালো। আমাদের কাস্টম-ফ্যাব্রিকেটেড অ্যালুমিনিয়াম প্লেটগুলি ±০.৫°C অভিন্নতার জন্য কুলিং চ্যানেলগুলিকে একীভূত করে।

৩. কঠোর পরিবেশে প্লাজমা ক্ষয় প্রতিরোধ ক্ষমতা

তথ্য বিন্দু: অ্যানোডাইজড অ্যালুমিনিয়াম (২৫μm+ পুরুত্ব) অপরিশোধিত পৃষ্ঠের তুলনায় ১০ গুণ বেশি CF₄/O₂ প্লাজমা এক্সপোজার সহ্য করতে পারে।

৪. চৌম্বকীয় ব্যাপ্তিযোগ্যতা: আরএফ/প্লাজমা প্রক্রিয়ার অখণ্ডতা

অ্যালুমিনিয়াম কেন? প্রায় শূন্য চৌম্বকীয় ব্যাপ্তিযোগ্যতা এচার/ইমপ্লান্টারগুলিতে ক্ষেত্রের বিকৃতি রোধ করে।

৫. খরচ বনাম কর্মক্ষমতা অপ্টিমাইজেশন

কেস স্টাডি: মেশিনযুক্ত স্টেইনলেস প্রতিস্থাপনঅ্যালুমিনিয়াম সহ চেম্বারউপাদান খরচ ৪০% এবং মেশিনিং সময় ৩৫% কমায় (২০২৪ সালের শিল্প মানদণ্ডের উপর ভিত্তি করে)।

প্রিসিশন চেম্বারের জন্য আমাদের অ্যালুমিনিয়াম সমাধান

চেম্বার বডি এবং ঢাকনা

উপাদান: ৫০৮৩/৬০৬১ অ্যালুমিনিয়াম প্লেট (১৫০ মিমি পর্যন্ত পুরু)

প্রক্রিয়া: ভ্যাকুয়াম-সামঞ্জস্যপূর্ণ সিএনসি মেশিনিং যার সারফেস ফিনিশ Ra ≤ 0.8μm এর সমান

মূল বৈশিষ্ট্য: AMS 2772 তাপ চিকিত্সা, 100% অতিস্বনক পরীক্ষা

গ্যাস বিতরণ উপাদান

পণ্য: অভ্যন্তরীণ মাইক্রো-বোর সহ যথার্থ অ্যালুমিনিয়াম টিউব (OD 3mm-200mm)

প্রযুক্তি: গভীর গর্ত খনন (L/D অনুপাত 30:1), ইলেকট্রোপলিশিং

কাঠামোগত সহায়তা এবং ফাস্টেনার

উপাদান: 7075-T651 অ্যালুমিনিয়াম রড (উচ্চ শক্তি-থেকে-ওজন অনুপাত)

সম্মতি: গ্যাস নিঃসরণ নিয়ন্ত্রণের জন্য SEMI F72 মান

আপনার সেমিকন্ডাক্টর চেম্বার প্রকল্পের জন্য কেন আমাদের সাথে অংশীদার হবেন?