Puslaidininkių gamybai reikalingas ypatingas tikslumas, o kamera – svarbios įrangos, tokios kaip CVD reaktoriai ir ėsdinimo mašinos, širdis – atlieka lemiamą vaidmenį. Šiame vadove nagrinėjami kamerų projektavimo pagrindai ir kaip didelio grynumo aliuminio lydiniai išsprendžia pagrindinius pramonės iššūkius.

5 svarbiausi veiksniai, lemiantys kameros našumą (ir kaip aliuminis pasižymi išskirtinumu)

1. Suderinamumas su itin aukštu vakuumu (UHV) ir nuotėkių prevencija

Problema: mikroskopiniai nuotėkiai sugadina proceso vientisumą.

Aliuminio pranašumas:Besiūliai CNC apdirbti korpusaiIš aliuminio ruošinių pašalinamos suvirinimo vietos. Mūsų 6061-T6 lydinys pasiekia < 10⁻⁹ mbar·L/sek. helio nuotėkio greitį.

2. Šiluminis valdymas: stabilumas ekstremalių važiavimų dviračiu metu

Problema: Dėl terminio deformavimosi susidaro dalelių užterštumas.

Sprendimas: Aliuminio geresnis šilumos laidumas (≈150 W/m·K) lenkia nerūdijantį plieną. Mūsų pagal užsakymą pagamintos aliuminio plokštės integruoja aušinimo kanalus, užtikrinančius ±0,5 °C vienodumą.

3. Atsparumas plazminei korozijai atšiauriomis sąlygomis

Duomenų taškas: Anoduotas aliuminis (25 μm+ storio) atlaiko 10 kartų ilgesnį CF₄/O₂ plazmos poveikį, palyginti su neapdorotais paviršiais.

4. Magnetinis pralaidumas: RF/plazminio proceso vientisumas

Kodėl aliuminis? Beveik nulinis magnetinis pralaidumas apsaugo nuo lauko iškraipymo ėsdintuvuose / implantatoriuose.

5. Sąnaudų ir našumo optimizavimas

Atvejo analizė: nerūdijančio plieno pakeitimas frezuotu plienukameros su aliuminiusumažina medžiagų sąnaudas 40 %, o apdirbimo laiką – 35 % (remiantis 2024 m. pramonės lyginamosios analizės duomenimis).

Mūsų aliuminio sprendimai tikslioms kameroms

Kamerų korpusai ir dangčiai

Medžiaga: 5083/6061 aliuminio plokštės (iki 150 mm storio)

Procesas: Vakuume suderinamas CNC apdirbimas su Ra ≤ 0,8 μm paviršiaus apdaila

Pagrindinės specifikacijos: AMS 2772 terminis apdorojimas, 100 % ultragarsinis bandymas

Dujų paskirstymo komponentai

Produktai: Tikslūs aliuminio vamzdžiai (išorinis skersmuo 3–200 mm) su vidinėmis mikroangomis

Technika: Giliųjų skylių gręžimas (ilgio ir skersmens santykis 30:1), elektropoliravimas

Konstrukcinės atramos ir tvirtinimo detalės

Medžiaga: 7075-T651 aliuminio strypai (didelis stiprumo ir svorio santykis)

Atitiktis: SEMI F72 standartai dujų išmetimo kontrolei

Kodėl verta bendradarbiauti su mumis įgyvendinant jūsų puslaidininkių kameros projektą?

1. Specialus apdirbimas švarioje patalpoje: 1000 klasės įrenginys apsaugo nuo užteršimo dalelėmis.

2. Medžiagų atsekamumas: malūno bandymų ataskaitos, skirtoskiekviena aliuminio plokštė/strypas/vamzdelis.

3. Plazma optimizuota apdaila: patentuota pasyvacija atsparumui korozijai.

4. Greitas prototipų kūrimas: sudėtingų kamerų geometrijų gamybos laikas – 15 dienų.